【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于氧化锌，具体涉及一种氧化锌铝靶材的制备方法。
技术介绍
1、目前制备zao粉体主要采用非均相成核法，具体步骤是在一定条件下向0.1 mol/l的硫酸锌溶液中不断搅拌滴加氨水溶液，以制得氢氧化锌晶种。接着，将硫酸锌溶液和al:硫酸铝溶于去离子水中，按一定物质的量比制成混合溶液，并将其置于恒温水浴中。然后，将zn和a1的混合溶液以及氨水溶液在搅拌下注入到晶种溶液中，这样就能使掺杂了铝的氢氧化铝在晶种上均匀地沉积和生长。沉淀物通过洗涤去离子水，去除硫酸根离子，再用无水乙醇洗涤并烘干，最后进行烧结得到zao粉体。由于氧化锌铝粉体在制备过程中具有较大的比表面积，容易形成团聚现象，导致颗粒大小不均匀，对azo靶材的性能产生较大的负面影响。许积文等人以纳米级的zno和al2o3粉体作为起始原料，通过常压固相烧结工艺制备出了azo陶瓷。然而，靶材的表面或内部偶尔会出现黑点，这些黑点不仅破坏了靶材的致密度，还导致了靶材成分的不均匀性，增强了载流子的散射，最终影响了沉积薄膜的性能。范锦鹏等人通过使用与zno粒径相仿或相近的al2o3粉体作为原料，采用无压烧结工艺，能够在靶材内部产生大量的孔隙；而当将al2o3的粒径降至纳米级时，使用相同的烧结工艺，可以得到致密度超过99.8%的高致密靶材。龙涛等人使用热等静压方法将zno和γ-al2o3复合粉体进行烧结，其中al的掺杂量为2.5%（质量分数）。在1050℃的温度下，烧结后的azo靶材晶粒显示出良好的六边形形状。这种方法在很大程度上降低了烧结温度。与zhang等人的二步烧结方法相比，制备
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供一种氧化锌铝靶材的制备方法。
2、一种氧化锌铝靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）采用喷雾烧结工艺制备混合粉末，先称量纳米氧化锌和氢氧化铝粉末，加入纯净水以及分散剂，放入分散机中进行搅拌，搅拌5~10h得到水悬浮液后进行喷雾烧结，将水悬浮液喷到热反应腔体中，微滴的形成而呈细颗粒进行烧结反应，反应器温度900~1000℃下反应0.5~1h，收集混合粉末；
3、（2）将得到的混合粉，静压成形，成形压力为150~200mpa，保压时间为10min，压制成型，得到坯块；
4、（3）将坯块装入箱式高温烧结炉，在空气气氛下烧结，以1℃~2℃/min的速度升温，升温至烧结温度1100℃~1250℃，保温12h~24h，然后再以3℃~5℃/min的速度升温至1300℃~1450℃，保温24h~32h后进行降温冷却，得到所述氧化锌铝靶材。
5、进一步的，所述降温冷却是以3℃~5℃/min的速度降温至400℃~600℃，随炉降温至室温。
6、分散剂同时是分子链较长的非离子表面活性剂，降低界面张力，可以促进氢氧化铝的分散；
7、进一步的，所述步骤（1）中，所述氢氧化铝为纳米氧化锌质量的0.69%~0.84%。
8、进一步的，所述步骤（1）中，水悬浮液固含量为25%~30%。
9、进一步的，所述步骤（3）中，分散剂的加入量为纳米氧化锌质量的0.05%~0.1%。
10、低分子量的聚丙二醇可溶于水，高分子量的聚丙二醇难溶于水，例如分子量为2000的聚丙二醇20℃时在水中溶解0.2%wt，控制分散剂的用量和分子量，能够有效促进氧化锌分散，避免团聚，并且聚丙二醇在270℃以上分解。
11、进一步的，分散剂为分子量400~600的聚丙二醇
12、进一步的，所述纳米氧化锌的粒径范围为20nm～60nm。
13、本专利技术的有益效果：
14、本专利技术公开的氧化锌铝靶材的制备方法，采用喷雾干燥烧结工艺、静压成形、烧结，制备了氧化锌铝靶材，具有能耗低、效率高、设备经济、产品性能好等优点，可以承受更高功率、长时间溅射而不开裂，可以大幅提高溅射效率，并且氧化锌铝靶材电阻率0.8×10-2ω•cm3，致密度高，结合强度高，很大程度上避免开裂，具有较高的强度,抗热冲击性能好，是一种高密度低电阻率的氧化锌铝靶材。
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1.一种氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）采用喷雾烧结工艺制备混合粉末，先称量纳米氧化锌和氢氧化铝粉末，加入纯净水以及分散剂，放入分散机中进行搅拌，搅拌5~10h得到水悬浮液后进行喷雾烧结，将水悬浮液喷到热反应腔体中，微滴的形成而呈细颗粒进行烧结反应，反应器温度900~1000℃下反应0.5~1h，收集混合粉末；
2.根据权利要求1所述的氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，所述降温冷却的参数为：以3~5℃/min的速度降温至400~600℃，随炉降温至室温。
3.根据权利要求1所述的氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，所述氢氧化铝为纳米氧化锌质量的0.69%~0.84%。
4.根据权利要求1所述的氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，水悬浮液固含量为25%~30%。
5.根据权利要求1所述的氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中，分散剂的加入量为纳米氧化锌质量的0.05%~0.1%。
6.根据权利要求1所述的氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，所述分散
7.根据权利要求1所述方法制备得到的氧化锌铝靶材，其特征在于，所述纳米氧化锌的粒径范围为20nm～60nm。
...【技术特征摘要】
1.一种氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）采用喷雾烧结工艺制备混合粉末，先称量纳米氧化锌和氢氧化铝粉末，加入纯净水以及分散剂，放入分散机中进行搅拌，搅拌5~10h得到水悬浮液后进行喷雾烧结，将水悬浮液喷到热反应腔体中，微滴的形成而呈细颗粒进行烧结反应，反应器温度900~1000℃下反应0.5~1h，收集混合粉末；
2.根据权利要求1所述的氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，所述降温冷却的参数为：以3~5℃/min的速度降温至400~600℃，随炉降温至室温。
3.根据权利要求1所述的氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，所述步...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘艺，
申请(专利权)人：安徽省含山县锦华氧化锌厂，
类型：发明
国别省市：
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