【技术实现步骤摘要】
本公开涉及锗材料领域，更具体地涉及一种焙烧炉。
技术介绍
1、锗是重要的半导体材料，广泛地用于半导体器件和红外光学元件。二氧化锗是制备高纯锗的中间原料，二氧化锗通过氢还原来制备单质锗，单质锗再经过诸如区熔进行提纯，以制备纯度更好的锗。
2、二氧化锗的纯度对于后续的单质锗的制备有着重要的影响。作为中间原料的二氧化锗(以粉体存在)会含有水分，业界通常采用烘烤来去除水分。例如于2005年5月11日公开的专利文献cn1614049a中介绍采用烘箱烘烤来去除二氧化锗料含有的水和结晶水。
3、烘箱烘烤对于蒸发出的水并未进行任何处理，不利于生产安全和资源节约。
4、另外，烘箱烘烤仅是针对二氧化锗料进行除脱水处理，对于二氧化锗料含有的另外的渣质(例如油质)的脱除烘箱本身的构造难以适用。
5、由此，需要开发二氧化锗料处理设备，以提高二氧化锗料的纯度，适应对二氧化锗料所含的水和另外的渣质(例如油质)的处理，提高生产安全和资源节约。
6、此外，无论是烘箱还是需要开发的二氧化锗料处理设备，均需要进一步适应大规模生产，提高处理能力。
技术实现思路
1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种焙烧炉，其能提高氧化锗料的纯度。
2、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的另一目的在于提供一种焙烧炉，其能适应对氧化锗料所含的水和另外的渣质的处理。
3、由此，提供一种焙烧炉，焙烧炉包括外壳、加热套、盖体、第一出口、第二出口、第
4、本公开的有益效果如下。
5、通过第一控制阀用于设置在第一出口和渣质罐之间以控制第一出口与渣质罐的连通，实现渣质罐受控地连通于焙烧炉；通过第二控制阀用于设置在第二出口和收集模块之间以控制第二出口和收集模块之间的连通，实现收集模块受控连通于焙烧炉。
6、焙烧炉用于：将装入其内的氧化锗料在流通式真空的无氧环境下进行加热烘干以从氧化锗料中分解出并向收集模块排放水蒸气，以及将装入其内的氧化锗料在通入氮气的流通式真空的无氧环境下在氧化锗不升华的温度下加热焙烧，以从氧化锗料中分解出水蒸气并向收集模块排放水蒸气和氮气以及从氧化锗料中分解出渣质气体并向渣质罐排放渣质气体以及氮气。
7、在本公开的焙烧炉中，由于氧化锗料所含的水和另外的渣质(例如油质)的脱除，故提高了氧化锗的纯度。
8、在本公开的焙烧炉中，焙烧炉具有烘干和焙烧两种功能，也就是说，烘干和焙烧将覆盖大的温度范围，在该温度范围下，低温的烘干用于脱除氧化锗料所含的水，高温的焙烧用于进一步除去氧化锗料所含的水以及除去氧化锗料所含的另外的渣质(例如油质)，由此能够实现焙烧炉的功能多样性，即本公开的焙烧炉能适应对氧化锗料所含的水和另外的渣质(例如油质)的处理。
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1.一种焙烧炉，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的焙烧炉，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的焙烧炉，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的焙烧炉，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的焙烧炉，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的焙烧炉，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的焙烧炉，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的焙烧炉，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的焙烧炉，其特征在于，
10.根据权利要求1-9中任一项所述的焙烧炉，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种焙烧炉，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的焙烧炉，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的焙烧炉，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的焙烧炉，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的焙烧炉，其特征在于，
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：林坤盛，吴伟平，严嘉明，
申请(专利权)人：广东长信精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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