【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种槽式清洗机的自动槽盖和槽式清洗机。
技术介绍
1、半导体器件在制作过程中，需要进行多次清洗工作。在使用槽式清洗机清洗芯片时，需要将槽盖打开，放入待清洗的芯片后关闭槽盖，再进行清洗工作。打开盖板需要先冲洗整个槽体与环境，但仍会有残留的化学品与结晶，造成人员碰到化学品，产生安全问题，降低产率。且在日常保养或是机台宕机时，需要手动动制板控制开合，并打开槽盖，调整手动调整阀，容易与其他管路碰撞造成零件损坏，提高额外零件成本。同时，开合超出设定会造成机台宕机，使产品生产中断，降低产品良率和产率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种槽式清洗机的自动槽盖和槽式清洗机，能够自动调整槽盖的开合的状态，有效提高槽式清洗机操作的安全性，提高产品良率及产率。
2、本技术提供一种槽式清洗机的自动槽盖，至少包括，
3、盖板，所述盖板的一侧设置有盖板连接轴，且所述盖板连接轴与槽式清洗机的侧边连接；
4、动力单元，与所述盖板连接轴的一端连接，且通过所述盖板连接轴带动所述盖板转动，且所述动力单元上设置有阀门，所述阀门控制所述盖板开启或关闭的速度和状态；
5、感应单元，设置在所述动力单元上，用于监测所述盖板开启或关闭的状态；以及
6、控制单元，与所述感应单元和所述阀门电连接，用于调整所述阀门的开气开度。
7、在本技术的一实施例中，所述盖板绕所述槽式清洗机的侧边转动，且转动范围为0°～180°。
...【技术保护点】
1.一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，至少包括，
2.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述盖板绕所述槽式清洗机的侧边转动，且转动范围为0°～180°。
3.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述盖板连接轴和所述槽式清洗机的侧边的连接方式为套设连接或铰连接中的一种。
4.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述盖板连接轴远离所述盖板的一端设置有盖板轴承。
5.根据权利要求4所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述动力单元的一端设置有动力轴承，所述动力轴承和所述盖板轴承连接。
6.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述阀门为马达开度控制阀、蝶自动控制阀或节流自动控制阀。
7.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述感应单元包括第一感应器，所述第一感应器设置在所述动力单元靠近所述盖板的一端。
8.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述感应单元包括第二感
9.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述控制单元设置在所述槽式清洗机的外侧机体上。
10.一种槽式清洗机，其特征在于，至少包括，
...【技术特征摘要】
1.一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，至少包括，
2.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述盖板绕所述槽式清洗机的侧边转动，且转动范围为0°～180°。
3.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述盖板连接轴和所述槽式清洗机的侧边的连接方式为套设连接或铰连接中的一种。
4.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述盖板连接轴远离所述盖板的一端设置有盖板轴承。
5.根据权利要求4所述的一种槽式清洗机的自动槽盖，其特征在于，所述动力单元的一端设置有动力轴承，所述动力轴承和所述盖板轴承连接。
...【专利技术属性】
技术研发人员：许忠晖，郑鹏，程膘，马赛虎，张国庆，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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