一种光敏二极管的制造方法技术

本发明专利技术提供一种光敏二极管的制造方法,涉及光敏二极管制造技术领域。包括步骤S1：在片源表面形成氧化硅层，以作为后续步骤的阻挡层；步骤S2：形成P型掺杂区；步骤S3：形成N型掺杂区；步骤S4：蚀刻掉氧化硅层；步骤S5：沉积减反射膜层；步骤S6：制作N电极；步骤S7：制作P电极；其中，执行步骤S6和步骤S7时，先在常温环境下对片源表面进行电极金属蒸镀，后续再使用熔合机台对蒸镀有电极金属的片源进行熔合，以使电极金属与片源之间形成欧姆接触。本发明专利技术解决了现有的光敏二极管制造方法中，由于需要使用在高温环境下对片源进行电极金属蒸镀，使得会造成时间损耗，从而导致整个光敏二极管的制造时间变长的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光敏二极管制造，具体为一种光敏二极管的制造方法。

技术介绍

1、光敏二极管是一种光电器件，也叫光电二极管；光敏二极管与半导体二极管在结构上相类似，其管芯是一个具有光敏特性的pn结，具有单向导电性，在工作时需要加上反向电压。无光照时，光敏二极管中有很小的饱和反向漏电流，即暗电流，此时光敏二极管截止；当受到光照时，饱和反向漏电流大大增加，形成光电流，光电流的大小随入射光强度的变化而变化。当光线照射光敏二极管中的pn结时，可以使pn结中产生电子-空穴对，以使少数载流子的密度增加；这些载流子在反向电压下漂移，可使反向电流增加，因此能够利用光照强弱来改变电路中的电流。

2、基于上述特性，光敏二极管在电子、通信、工程等领域均得到了广泛的应用。随着市场需求的不断增加，对光敏二极管提出了制造耗时更短的要求。

3、然而，现有的光敏二极管制造方法中，需要使用蒸镀机在高温环境下对片源进行电极金属蒸镀，在沉积电极金属的同时，使电极金属与片源之间形成欧姆接触，之后再使用剥离或蚀刻的方式制作出电极图形。例如公开号为cn109148664a的中国专本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光敏二极管的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光敏二极管的制造方法，其特征在于，所述步骤S6具体包括如下子步骤：

3.根据权利要求2所述的一种光敏二极管的制造方法，其特征在于：所述步骤S6-3中，N电极金属的厚度为30000±3000A。

4.根据权利要求2所述的一种光敏二极管的制造方法，其特征在于：所述步骤S6-6中，当熔合机台采用炉管时,熔合温度为450±5℃，熔合时间为20±1min；当熔合机台采用退火炉时,熔合温度为470±10℃，熔合时间为40±5s。

5.根据权利要求2所述的一种光敏二极管...

【技术特征摘要】

1.一种光敏二极管的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光敏二极管的制造方法，其特征在于，所述步骤s6具体包括如下子步骤：

3.根据权利要求2所述的一种光敏二极管的制造方法，其特征在于：所述步骤s6-3中，n电极金属的厚度为30000±3000a。

4.根据权利要求2所述的一种光敏二极管的制造方法，其特征在于：所述步骤s6-6中，当熔合机台采用炉管时,熔合温度为450±5℃，熔合时间为20±1min；当熔合机台采用退火炉时,熔合温度为470±10℃，熔合时间为40±5s。

5.根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱帅，朱合意，
申请(专利权)人：湖南蓝芯微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：