【技术实现步骤摘要】
本技术涉及检测，特别是涉及一种感测单元阵列装置。
技术介绍
1、气体传感器可用于空气质量监测、化工生产以及家居安全等领域。目前商用的气体传感器以陶瓷管式和陶瓷片式为主，体积较大，难以集成。
2、近年来，结合mems技术的mems气体传感器被广泛研究，其具有体积小、功耗低以及易与cmos电路集成等优势。
3、mems气体传感器通常设置有多个气体感测单元，每个气体感测单元通常包括于隔热腔上形成的加热器、气体检测电极和气敏材料层。所述加热电极用于将所述气敏材料层加热至工作温度，所述气体检测电极用于检测工作温度下的气敏材料层的电阻值，利用所述气敏材料层的电阻值与其接触的气体物质相关的特性，可以检测出特定的气体成分。
4、但是，现有的mems气体传感器的集成技术仍然不够成熟，由于各气体感测单元中的加热器和气体检测电极的端子需分别通过引线(trace)连接至相应的连接垫(pad)以对各加热器和各气体检测电极施加电信号，导致器件内的引线复杂，连接垫数量多，制作成本高。
技术实现思路>
1、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种感测单元阵列装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的感测单元阵列装置，其特征在于，至少两个所述气体感测单元对应的所述隔热腔的横截面面积或横截面形状不同。
3.如权利要求1所述的感测单元阵列装置，其特征在于，还包括：
4.如权利要求3所述的感测单元阵列装置，其特征在于，所述温度传感器单元包括形成于所述基底上的热电阻。
5.如权利要求3所述的感测单元阵列装置，其特征在于，所述湿度传感器单元包括形成于所述基底上的湿度检测电极以及覆盖所述湿度检测电极的湿敏材料层。
6.如权利要求1所述的感测单元阵列装...
【技术特征摘要】
1.一种感测单元阵列装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的感测单元阵列装置，其特征在于，至少两个所述气体感测单元对应的所述隔热腔的横截面面积或横截面形状不同。
3.如权利要求1所述的感测单元阵列装置，其特征在于，还包括：
4.如权利要求3所述的感测单元阵列装置，其特征在于，所述温度传感器单元包括形成于所述基底上的热电阻。
5.如权利要求3所述的感测单元阵列装置，其特征在于，所述湿度传感器单元包括形成于所述基底上的湿度检测电极以及覆盖所述湿度检测电极的湿敏材料层。
6.如权利要求1所述的感测单元阵列装置，其特征在于，所述至少两个气体感测单元在所述基底上排布为m行n列，m和n为正整数；所述互连结构包括：
7.如权利要求6所述的感测单元阵列装置，其特征在于，所述互连结...
【专利技术属性】
技术研发人员：T·L·奈恩，T·O·罗彻卢，苏星，
申请(专利权)人：启思半导体杭州有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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