【技术实现步骤摘要】
本申请涉及气体充装纯化领域，具体是一种氟氖混合气纯化装置。
技术介绍
1、准分子激光气主要由活性气体和惰性气体组成。准分子激光气体在半导体行业中的应用非常广泛，可以提高半导体芯片的制造精度和效率，同时也可以降低生产成本。在医疗行业中的应用中，可以提高医疗诊断和治疗的精度和效率，同时也可以降低医疗成本。
2、在气体封装的过程中，对于充装系统洁净度把控尤为重要，由于现有封装的系统不涉及对于氟氖混合气纯化和充装系统的净化，如果发生初始杂质污染，将会导致终端产品的不合格，导致质量事故。
3、鉴于此，亟需提供一种气体纯化充装系统，在氟氖混合气纯化的同时，有效净化充装系统，降低终端产品的污染风险。
技术实现思路
1、针对现有技术中的氖混合气纯化系统无法对系统进行净化，无法保障气体纯净度的技术缺点，本申请提出了一种对气体纯化系统充装前后进行净化的充装系统
2、一种氟氖混合气纯化装置，其特征在于，包括给料单元、供冷单元、纯化单元、充装单元；所述给料单元、所述纯化单元、所述充装单元之间依次通过管道连接；所述供冷单元通过管道与所述纯化单元连接；所述充装单元包括净化系统、氟基混配系统、充装端口；所述净化系统、所述氟基混配系统、所述充装端口之间通过管道依次连接。
3、优选的，所述净化系统包括高压置换吹扫装置、第一低压置换吹扫装置、洗涤塔排放端、真空泵；所述高压置换吹扫装置通过第一控制阀与所述净化系统的管道总线连接；所述第一低压置换吹扫装置通过第二控制阀与所述
4、优选的，所述供冷单元包括输入管路和输出管路；所述输入管路、所述输出管路与所述纯化单元连接。
5、优选的，所述输入管路包括输入端、第一电磁阀、保温层；所述电控阀设置在所述输入端和所述纯化单元之间，用于控制所述输入管路中冷却介质的输入；所述保温层覆盖在所述输入管路的外表面。
6、优选的，所述输出管路进一步包括输出端第一输出管路和第二输出管路，所述第一输出管路和所述第二输出管路并行连接；所述第一输出管路内设置有第二电磁阀；所述第二输出管路内包括背压调节阀、电控组件、温度计；所述电控组件用于控制所述背压调节阀。
7、优选的，所述纯化单元包括低温杜瓦罐、第一加热组件、第二加热组件；所述第一加热组件设置在靠近所述供冷单元的一侧；所述第二加热组件设置在远离所述供冷单元的一侧。
8、优选的，所述低温杜瓦罐连接有抽真空装置。
9、优选的，所述给料单元包括给料端口、第六控制阀、减压阀、第七控制阀；所述给料端口、所述第六控制阀、所述减压阀、第七控制阀通过管道依次连接。
10、优选的，所述给料单元设置有第二低压置换吹扫装置，所述第二低压置换吹扫装置通过第八控制阀、管道与所述给料单元的管道总线连接。
11、优选的，所述充装端口具体包括第一充装端口和第二充装端口；所述第一充装端口和所述第二充装端口均设置有电子秤。
12、相对于现有技术的缺点，本技术方案提供了一种氟氖混合气纯化装置。本技术方案包括有给料单元、供冷单元、纯化单元、充装单元；所述给料单元、所述纯化单元、所述充装单元之间依次通过管道连接；所述供冷单元通过管道与所述纯化单元连接；所述充装单元包括净化系统、氟基混配系统、充装端口；所述净化系统、所述氟基混配系统、所述充装端口之间通过管道依次连接。其中纯化单元用于对氟氖混合气进行纯化，保证气体的纯净度。充装单元中的净化系统对充装端口进行净化，为气体的充装提供高洁净度的环境，进一步保障了气体在运输的过程中不被污染。本技术方案从原料纯化和充装系统的净化两个角度来保障气体的纯净度，有效避免气体污染，显著提高了气体充装过程中的纯净度。
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1.一种氟氖混合气纯化装置，其特征在于，包括给料单元(100)、供冷单元(200)、纯化单元(300)、充装单元(400)；
2.根据权利要求1所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
6.根据权利要求2或4或5所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
10.根据权利要求9所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种氟氖混合气纯化装置，其特征在于，包括给料单元(100)、供冷单元(200)、纯化单元(300)、充装单元(400)；
2.根据权利要求1所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的氟氖混合气纯化装置，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的氟氖混合气...
【专利技术属性】
技术研发人员：周臻，胡新明，
申请(专利权)人：岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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