【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子去胶设备，具体的，涉及等离子去胶机。
技术介绍
1、等离子去胶机是一种用于材料科学、电子与通信
的工艺试验仪器，600w射频，采用氧等离子轰击样品表面，去除表面残胶，等离子去胶机有以下优点：可去除微米级别的污染，可去除残留污染表面，在减少手工操作方面有明显的时间和成本优势，清洗过程不需要使用溶剂溶液，更加环保，因此不会引起二次污染及消耗大量的资源，可以对多种不同物质进行去胶，具有广泛适用性，在集成电路制造、光电子工业及液晶显示器行业的特殊清洁要求下得到了广泛的应用；
2、而现有技术中的等离子去胶机在使用过程中，通过高能粒子去除圆片表面的胶后，形成的残胶胶屑落到去胶机内，给清理去胶机的过程增加困难，并且高能粒子电离过程中产生的有害气体也没有有效的去除办法，可能会对人体造成一定的危害；
3、通过检索得知公开号为cn219832561u的等离子去胶机，通过导向板可以将电离后的气流摆动着流向圆片表面，导向板中的石英板可以再次消除高能活性粒子，形成左右方向活动的气流，利于将圆片表面去胶产生的粉屑吹掉，而这种技术存在着以下缺陷：当气流将原片表面去胶产生的粉屑吹掉后，粉屑掉落在去胶机内难以收集和清理，并且对于高能活性粒子击打原片表面的胶后产生的有害气体也没有过滤措施，结合上述现有技术在实际操作过程中产生的问题，我们进一步提出了具有收集残胶并过滤有害气体功能的等离子去胶机。
技术实现思路
1、本专利技术提出等离子去胶机，解决了相关技术中的等离子去胶
2、本专利技术的技术方案如下：
3、等离子去胶机，包括真空箱体，还包括电离组件、集束组件、除胶机构、毛刷、夹持机构、残胶收集机构、吸盘和过滤机构，所述电离机构设置在所述真空箱体的上层，用于电离氧等离子，所述集束组件位于所述电离组件下侧，用于助力高能粒子运动，所述除胶机构设置在所述真空箱体的下层，用于去除样品表面的残胶，所述除胶机构包括毛刷，所述夹持机构位于所述除胶机构下方，所述残胶收集机构设置在所述真空箱体的底部，用于排气和收集从样品去除的残胶，所述残胶收集机构包括吸盘，所述过滤机构设置在所述底部，用于过滤真空箱体内产生的有害气体。
4、进一步的，所述电离组件包括射频正极、负极和集束板，所述射频正极位于所述导流板一与所述除胶机构之间，所述负极位于所述射频正极的下侧，所述集束板位于所述负极下侧。
5、更进一步的，所述集束组件包括转动杆、扇叶和电机一，所述转动杆设有三个，三个所述转动杆等距转动设置在所述真空箱体上，所述扇叶设有多个，每四个所述扇叶设置在一个所述转动杆上，多个所述扇叶的凹面设为平缓的圆弧形，所述电机一设有三个，三个所述电机设置在所述真空箱体的外壁上，三个所述电机的输出端分别与三个所述转动杆固定连接。
6、再进一步的，所述除胶机构包括安装板一、安装槽一、螺杆一、毛刷和电机一，所述安装板一滑动设置在所述夹持机构上，所述安装板设为u形，所述安装槽一设有两个，两个所述安装槽一开设在所述夹持机构上，所述螺杆一设有两个，两个所述螺杆一转动设置在所述安装槽一内，两个所述螺杆一分别螺纹设置在所述安装板一底端的两侧，所述毛刷转动设置在所述安装板一上，所述电机一设置有两个，两个所述电机一设置在所述真空箱体的侧壁上，两个所述电机一的输出端分别与两个所述螺杆一固定连接。
7、在以上方案的基础上，所述夹持机构包括支撑板、夹板、适应块和电动缸，所述支撑板位于所述集束板的下方，所述支撑板滑动设置在所述真空箱体上，所述夹板设有四个，四个所述夹板滑动设置在所述支撑板上，所述适应块设有多个，每个所述夹板的凹面均滑动设置有多个所述适应块，所述电动缸设有四个，四个所述电动缸设置在所述支撑板底端，四个所述电动缸的输出端分别与四个所述夹板固定连接。
8、在以上方案的基础上，更进一步的，所述残胶收集机构包括安装板二、吸盘、收集仓、安装槽二、螺杆二、电机二和干燥组件，所述安装板二滑动设置在所述真空箱体的底端内壁上，所述安装板二设为u形，所述吸盘设置有多个，多个所述吸盘设置在所述安装板二上，所述收集仓可拆卸设置在所述安装板二上，所述安装槽二开设有两个，两个所述安装槽二开设在所述真空箱体底端的内壁上，所述螺杆二设置有两个，两个所述螺杆二分别转动设置在两个所述安装槽二内，所述电机二设有两个，两个所述电机二设置在所述真空箱体的外壁上，两个所述电机二的输出端与两个所述螺杆二固定连接，所述干燥组件设置在所述真空箱体的外壁上，用于干燥除胶后形成的残胶。
9、在以上方案的基础上，优选的，所述过滤机构包括：排气口、过滤筒和过滤网，所述排气口设有四个，四个所述排气口设置在所述真空箱体下层的外壁上，所述过滤筒设有四个，四个所述过滤筒分别设置在四个所述排气口内，所述过滤网设有多个，每一个所述过滤筒内均设置有两个所述过滤网，每个过滤筒内的两个所述过滤网之间形成一个空腔。
10、在以上方案的基础上，更优的，所述干燥组件包括：水箱，水管，隔板，石墨烯加热板，水泵，分液管，所述水箱设有两个，两个所述水箱设置在所述真空箱体的两侧，两个所述水箱之间通过水管连通，所述水管设置在所述真空箱体的内壁中，所述隔板设置在其中一个所述水箱内，将所述水箱分为热水腔和冷水腔，所述石墨烯加热板设置在设有所述隔板的所述水箱的侧壁上，用于加热水箱的热水腔内的水，所述水泵设置在内部设有所述隔板的所述水箱上，所述水泵的输入端与设有所述隔板的水箱连通，所述分液管设有两个，其中一个所述分液管与所述水箱的热水腔连通，另一个所述分液管与所述水箱的冷水腔连通，两个所述分液管均与所述水泵的输入端连通。
11、本专利技术的工作原理及有益效果为：
12、1、本专利技术中通过除胶机构与残胶收集机构将圆片上的胶有效的清除并收集，首先电离组件将氧等离子电离成高能活性粒子，高能活性粒子经过集束组件，被集束组件带动扑打到夹持机构上，对夹持机构夹持的圆片进行去胶，去除的残胶被去胶机构扫落到真空箱体底层，由残胶收集机构干燥处理并吸进收集仓内，最后过滤机构将去胶机内的空气吸出并过滤；
13、2、本专利技术中除胶机构随着高能粒子除胶的过程将除下的残胶扫落到真空箱体底部的残胶收集机构中，将残胶集中处理，增加了工作效率，保持除胶机内的整洁，残胶收集机构将除胶机构扫落的残胶加热干燥处理，使吸盘能更轻易的将残胶吸除，时刻保持真空箱体内没有残胶，过滤机构内形成的空腔内放置活性炭或分子筛，除胶完成后通过抽风机将真空箱体内的有害气体通过活性炭或分子筛过滤净换入新的空气，防止电离形成的有害气体逸出对操作人员身体造成伤害。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.等离子去胶机，包括真空箱体（1），其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的等离子去胶机，其特征在于，所述电离组件（2）包括：
3.根据权利要求2所述的等离子去胶机，其特征在于，所述集束组件（3）包括：
4.根据权利要求3所述的等离子去胶机，其特征在于，所述除胶机构（4）包括：
5.根据权利要求4所述的等离子去胶机，其特征在于，所述夹持机构（6）包括：
6.根据权利要求5所述的等离子去胶机，其特征在于，所述残胶收集机构（7）包括：
7.根据权利要求6所述的等离子去胶机，其特征在于，所述过滤机构（9）包括：
8.根据权利要求7所述的等离子去胶机，其特征在于，所述干燥组件（76）包括：
【技术特征摘要】
1.等离子去胶机，包括真空箱体（1），其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的等离子去胶机，其特征在于，所述电离组件（2）包括：
3.根据权利要求2所述的等离子去胶机，其特征在于，所述集束组件（3）包括：
4.根据权利要求3所述的等离子去胶机，其特征在于，所述除胶机构（4）包括：
5....
【专利技术属性】
技术研发人员：孙建文，李冠男，陈丽敏，
申请(专利权)人：赛奥仪器承德有限公司，
类型：发明
国别省市：
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