【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学透镜夹持，具体涉及一种光学透镜柔性夹持机构及设备。
技术介绍
1、光学透镜是一种用于聚焦或分散光线的光学元件，其已经被广泛应用于投影光刻物镜、光学成像、天文观测等领域。
2、为使光学透镜固定并稳定在光学系统内的理想位置，产生较小的内部应力并降低光学面形的劣化，需要使用夹持机构对光学透镜进行支撑。传统的刚性夹持机构难以满足光学透镜面形精度的要求，所以目前行业内常用柔性夹持机构对透镜进行夹持。
3、目前对于光学透镜的柔性夹持机构主要包括运动学夹持、半运动学夹持和多点柔性夹持这三种主要形式，但是由于光学透镜受制造装配误差、温度变化、气压波动或者外部振动等干扰会偏离理想位置，为确保光学透镜精确地定位在光学系统内某一理想位置，在使用过程中需要频繁进行调节，而频繁地调节和外部扰动的耦合效应会引起光学透镜柔性夹持机构的微振动，而现有夹持机构的低模态阻尼特性导致振动会持续较长时间，从而影响光学透镜的调节精度和稳态时间。因此，如何提供一种具有强模态阻尼的光学透镜柔性夹持机构是目前行业内增加光学透镜调节精度的重要改进方向之一。
技术实现思路
1、为此，本专利技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中透镜夹持机构阻尼小、易振动、调节精度低的问题，提供一种光学透镜柔性夹持机构及设备。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种光学透镜柔性夹持机构，其包括：镜框，所述镜框内部填充金属粉末颗粒阻尼；三个柔性支撑腿，三个所述柔性支撑腿均匀间隔连接于所述镜框，
3、在本专利技术的一个实施例中，所述第一转动中心线的延伸方向与所述第二转动中心线的延伸方向在水平面内相互垂直设置。
4、在本专利技术的一个实施例中，所述x向阻尼中的一个设置于所述第一活动部和所述第二活动部之间，另一个设置于所述第四活动部和所述第五活动部之间，所述y向阻尼中的一个设置于所述第二活动部和所述第三活动部之间，另一个设置于所述第三活动部和所述第四活动部之间。
5、在本专利技术的一个实施例中，所述镜框包括相互连接的连接部及安装部，其中，所述连接部内表面设有用于连接所述柔性支撑腿的三个支撑腿安装槽。
6、在本专利技术的一个实施例中，所述支撑腿安装槽为弧形槽，且所述支撑腿安装槽水平方向两侧边缘延长线的夹角为45～55°。
7、在本专利技术的一个实施例中，所述第一转动中心线设置于所述x向阻尼中心。
8、在本专利技术的一个实施例中，所述第二转动中心线设置于所述y向阻尼中心。
9、在本专利技术的一个实施例中，所述柔性支撑腿还包括固定部及支撑部，所述固定部连接于所述第一活动部与所述镜框之间，所述支撑部连接于所述第五活动部。
10、在本专利技术的一个实施例中，所述第一活动部、所述第二活动部、所述第三活动部、所述第四活动部以及所述第五活动部上均设有与所述x向阻尼和/或所述y向阻尼形状相配合的安装槽。
11、本专利技术还提供了一种强模态阻尼光学透镜柔性夹持设备，其上述光学透镜柔性夹持机构。
12、本专利技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
13、本专利技术所述的光学透镜柔性夹持机构及设备中的柔性支撑腿的结构设置能够在透镜的安装及使用过程中对透镜实现多角度的缓冲减振，同时，本夹持机构通过镜框内部的金属粉末颗粒与镜内壁的碰撞能量损耗对夹持机构整体进一步形成缓冲减振，以使其所夹持的透镜能够在高频率调节工作下保持较好的稳定性，由此使本夹持机构能够克服现有技术中透镜夹持机构阻尼小、易振动、调节精度低的问题，此外，本专利技术还将柔性支撑腿安装镶嵌于镜框内壁之中，由此既可以减小整个夹持机构所占用的空间，同时也可以将柔性支撑腿在高频率调节时对镜框上的应力进行分散，使本夹持机构整体具有更高的使用强度，故，本申请是一种具有广阔使用前景的新型光学透镜柔性夹持机构及设备。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述第一转动中心线的延伸方向与所述第二转动中心线的延伸方向在水平面内相互垂直设置。
3.根据权利要求1所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述X向阻尼中的一个设置于所述第一活动部和所述第二活动部之间，另一个设置于所述第四活动部和所述第五活动部之间，所述Y向阻尼中的一个设置于所述第二活动部和所述第三活动部之间，另一个设置于所述第三活动部和所述第四活动部之间。
4.根据权利要求1所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述镜框包括相互连接的连接部及安装部，其中，所述连接部内表面设有用于连接所述柔性支撑腿的三个支撑腿安装槽。
5.根据权利要求4所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述支撑腿安装槽为弧形槽，且所述支撑腿安装槽水平方向两侧边缘延长线的夹角为45～55°。
6.根据权利要求1所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述第一转动中心线设置于所述X向阻尼中心。
7.根据权利要求1所述的光学透镜柔
8.根据权利要求1所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述柔性支撑腿还包括固定部及支撑部，所述固定部连接于所述第一活动部与所述镜框之间，所述支撑部连接于所述第五活动部。
9.根据权利要求1所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述第一活动部、所述第二活动部、所述第三活动部、所述第四活动部以及所述第五活动部上均设有与所述X向阻尼和/或所述Y向阻尼形状相配合的安装槽。
10.一种光学透镜柔性夹持设备，其特征在于：包括权利要求1～9中任意一项所述的光学透镜柔性夹持机构。
...【技术特征摘要】
1.一种光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述第一转动中心线的延伸方向与所述第二转动中心线的延伸方向在水平面内相互垂直设置。
3.根据权利要求1所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述x向阻尼中的一个设置于所述第一活动部和所述第二活动部之间，另一个设置于所述第四活动部和所述第五活动部之间，所述y向阻尼中的一个设置于所述第二活动部和所述第三活动部之间，另一个设置于所述第三活动部和所述第四活动部之间。
4.根据权利要求1所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述镜框包括相互连接的连接部及安装部，其中，所述连接部内表面设有用于连接所述柔性支撑腿的三个支撑腿安装槽。
5.根据权利要求4所述的光学透镜柔性夹持机构，其特征在于：所述支撑腿安装槽为弧形槽，且所述支撑腿安装...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴石磊，杨铎，曹自洋，沈晔湖，蒋全胜，
申请(专利权)人：苏州科技大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。