一种晶圆级封装芯片测试夹具制造技术

技术编号:40730656 阅读:32 留言:0更新日期:2024-03-22 13:10
本技术涉及芯片测试技术领域,且公开了一种晶圆级封装芯片测试夹具,包括夹持机构和可拆卸连接在测试盖板上的预设机构;所述夹持机构包括多个弹性升降机构和挤压机构,多个所述弹性升降机构均与预设机构可拆卸连接,且均匀分布在预设机构的底部;所述挤压机构安装在所述弹性升降机构的底部,且所述弹性升降机构用于对挤压机构施加作用力推动其延测试盖板向测试底座方向移动。该一种晶圆级封装芯片测试夹具通过多个弹性升降机构分别对多个挤压机构施加的作用力,可以使多个挤压机构根据芯片上不同的贴片厚度进行单独升降调整,保证在测试过程中受测芯片保持位置稳定,同时配合弹性升降机构可以升降避免压力过大使受测芯片受损。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片测试,具体涉及一种晶圆级封装芯片测试夹具


技术介绍

1、在传统晶圆封装中,是将成品晶圆切割成单个芯片,然后再进行黏合封装。不同于传统封装工艺,晶圆级封装是在芯片还在晶圆上的时候就对芯片进行封装,保护层可以黏接在晶圆的顶部或底部,然后连接电路,再将晶圆切成单个芯片。

2、随着电子产品不断升级换代,智能手机、5g、ai等新兴市场对封装技术提出了更高要求,使得封装技术朝着高度集成、三维、超细节距互连等方向发展,晶圆级封装技术可以减小芯片尺寸、布线长度、焊球间距等,因此可以提高集成电路的集成度、处理器的速度等,降低功耗,提高可靠性,顺应了电子产品日益轻薄短小、低成本的发展要需求。

3、目前在对受测芯片夹持测试时,将受测芯片放置在测试底座上,通过盖上测试盖板使其与测试底座配合对受测芯片夹持测试,由于芯片封装为晶圆级封装,产品本身特性决定了这种类型的芯片很脆弱、易损,目前测试夹具在夹持过程中夹持力不好控制容易导致受测芯片测试过程中开裂损坏,并且受测芯片上有不同厚度的贴片,测试夹具夹持过程中与受测芯片表面贴合度差,当有面积小的贴片本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆级封装芯片测试夹具,其特征在于:包括夹持机构和可拆卸连接在测试盖板上的预设机构;

2.根据权利要求1所述的一种晶圆级封装芯片测试夹具,其特征在于:所述预设机构包括承载板(3)和螺纹筒(4),所述承载板(3)的两个表面均固定连接有肋条(5),所述螺纹筒(4)固定安装在肋条(5)朝向测试盖板的表面。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆级封装芯片测试夹具,其特征在于:所述弹性升降机构包括安装板(6)、拼接螺栓(7)和复位弹簧(8),所述拼接螺栓(7)焊接在安装板(6)的表面,所述复位弹簧(8)的端部固定安装在安装板(6)远离拼接螺栓(7)的表面。

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆级封装芯片测试夹具,其特征在于:包括夹持机构和可拆卸连接在测试盖板上的预设机构;

2.根据权利要求1所述的一种晶圆级封装芯片测试夹具,其特征在于:所述预设机构包括承载板(3)和螺纹筒(4),所述承载板(3)的两个表面均固定连接有肋条(5),所述螺纹筒(4)固定安装在肋条(5)朝向测试盖板的表面。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆级封装芯片测试夹具,其特征在于:所述弹性升降机构包括安装板(6)、拼接螺栓(7)和复位弹簧(8),所述拼接螺栓(7)焊接在安装板(6)的表面,所述复位弹簧(8)的端部固定安装在安装板(6)远离拼接螺栓(7)的表面。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆级封装芯片测试夹具,其特征在于:所述承载板(3)的表面通过开设的通孔与拼接螺栓(7)滑动连接,所述拼接螺栓(7)穿出承载板(3)的表面螺纹连接有拼接螺母(9),所述拼接...

【专利技术属性】
技术研发人员:彭杰豪冯毅
申请(专利权)人:深圳中科系统集成技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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