一种薄膜制备设备制造技术

本申请涉及薄膜制备领域，公开了一种薄膜制备设备，包括：箱体，箱体的底部设有进料孔；薄膜承载板，薄膜承载板设于箱体内，且与箱体的内壁之间留有间隙；支撑体，支撑体的第一端与薄膜承载板连接，并将薄膜承载板固定在箱体内；雾化器，雾化器的出口与进料孔连接，将雾化液体输入箱体中，使雾化液体在薄膜承载板的第一表面和第二表面沉积形成薄膜；第一表面和第二表面相背。该设备通过雾化器制备雾化液体，雾化液体通过进料孔进入箱体内，在薄膜承载板与进料孔相对的表面上以及薄膜承载板与进料孔相背的表面上沉积出薄膜。本申请中使用简单的雾化，可以制作出两张厚度不同的薄膜，制作方式简单，不需专业器材和专业人员，降低薄膜制作成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及薄膜制备领域，特别是涉及一种薄膜制备设备。

技术介绍

1、石墨烯是一种由碳原子构成的单层片状结构的材料，具有非同寻常的导电性、强度和化学稳定性，在微纳电子器件、光子传感器、隧穿势垒材料等领域。

2、目前在制备石墨烯薄膜时，通常采用化学气相沉积等沉积方式进行制备，沉积设备十分昂贵，加工步骤繁杂，并且需要专业的技术人员操作沉积设备，人力成本增加，进而导致制膜成本增加。

3、因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种薄膜制备设备，以简化薄膜制备工艺，降低制备成本。

2、为解决上述技术问题，本申请提供一种薄膜制备设备，包括：

3、箱体，所述箱体的底部设有进料孔；

4、薄膜承载板，所述薄膜承载板设于所述箱体内，且与所述箱体的内壁之间留有间隙；

5、支撑体，所述支撑体的第一端与所述薄膜承载板连接，并将所述薄膜承载板固定在所述箱体内；

6、雾化器，所述雾化器的出口与所述进料孔本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种薄膜制备设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的薄膜制备设备，其特征在于，所述支撑体的第二端与所述箱体的底部连接。

3.如权利要求1所述的薄膜制备设备，其特征在于，所述箱体包括本体和盖板，所述本体顶部具有开口，所述开口的尺寸小于或等于所述盖板的尺寸；所述支撑体的第二端与所述盖板连接。

4.如权利要求3所述的薄膜制备设备，其特征在于，所述支撑体包括螺杆和螺母，所述盖板和所述薄膜承载板上设有第一通孔，所述螺杆穿过所述第一通孔与所述螺母旋合。

5.如权利要求4所述的薄膜制备设备，其特征在于，所述第一通孔在所述盖板和所述薄膜承载板上...

【技术特征摘要】

1.一种薄膜制备设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的薄膜制备设备，其特征在于，所述支撑体的第二端与所述箱体的底部连接。

3.如权利要求1所述的薄膜制备设备，其特征在于，所述箱体包括本体和盖板，所述本体顶部具有开口，所述开口的尺寸小于或等于所述盖板的尺寸；所述支撑体的第二端与所述盖板连接。

4.如权利要求3所述的薄膜制备设备，其特征在于，所述支撑体包括螺杆和螺母，所述盖板和所述薄膜承载板上设有第一通孔，所述螺杆穿过所述第一通孔与所述螺母旋合。

5.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：于富鹏，刘兆平，
申请(专利权)人：宁波石墨烯创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：