【技术实现步骤摘要】
本申请涉及视觉照明，具体而言，涉及一种照明装置、检测装置和检测、调节、光源设计方法。
技术介绍
1、暗场照明技术广泛应用于仪器视觉领域，如表面缺陷检测。暗场照明是指照明光束以极大的入射角投射到待测试的样品表面，如果样品表面存在缺陷特征，则从缺陷特征处漫反射的光线有一部分可进入物镜成像，这些缺陷特征呈明亮的像映衬在黑暗的视场内，最终可以在目镜中被观测到。环形暗场检测装置的照明装置提供均匀的照明光，用于检测样品表面的凹陷、突起、划痕等缺陷特征，因此，照明装置照明光的均匀性决定了缺陷的检测质量。
2、目前，现有暗场照明装置通过传导光纤作为光传导介质，将光源发出的光从入射端传导到出射端后射出，对样品表面进行暗场照明。由于照明装置每根光纤的能量差异较大，降低了照明装置出射光的均匀性，从而影响了缺陷检测质量。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种照明装置、检测装置和检测、调节、光源设计方法，通过设置照明分支结构，该照明分支结构包括光源、匀光腔和照明镜组等结构，其中，匀光腔由一端...
【技术保护点】
1.一种照明装置，其特征在于，所述装置包括：照明分支结构；所述照明分支结构包括：光源、匀光腔和照明镜组；
2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述照明分支结构的方位角包括：第一方位角；
3.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述装置包括：多个照明分支结构；所述匀光腔的出射光端面为矩形，所述多个照明分支结构中包括基准照明分支结构，基准照明分支结构的入射光相对于样品具有基准入射面，光斑延伸方向在基准照明分支结构的匀光腔出光端面的像具有基准延伸方向，所述匀光腔的出射光端面沿所述基准延伸方向；所述照明分支结构的方位角还包括：第二方位角
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【技术特征摘要】
1.一种照明装置，其特征在于，所述装置包括：照明分支结构；所述照明分支结构包括：光源、匀光腔和照明镜组；
2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述照明分支结构的方位角包括：第一方位角；
3.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述装置包括：多个照明分支结构；所述匀光腔的出射光端面为矩形，所述多个照明分支结构中包括基准照明分支结构，基准照明分支结构的入射光相对于样品具有基准入射面，光斑延伸方向在基准照明分支结构的匀光腔出光端面的像具有基准延伸方向，所述匀光腔的出射光端面沿所述基准延伸方向；所述照明分支结构的方位角还包括：第二方位角；
4.根据权利要求3所述的照明装置，其特征在于，所述基准入射面与光斑延伸方向重合或垂直。
5.根据权利要求1-4任一所述的照明装置，其特征在于，所述照明分支结构以所述样品为中心，环绕所述样品均匀分布设置。
6.根据权利要求5所述的照明装置，其特征在于，所述照明分支结构的方位角还包括：第三方位角；
7.根据权利要求1-4任一所述的照明装置，其特征在于，所述照明分支结构还包括：位于匀光腔与样品之间的折转镜，用于改变所述匀光腔的出射光端面出射的光线方向。
8.根据权利要求7所述的照明装置，其特征在于，所述折转镜设置在所述匀光腔的出射光端面与所述照明镜组之间；或者，设置在所述照明镜组与所述样品之间。
9.根据权利要求7所述的照明装置，其特征在于，所述照明镜组包括：第一透镜和第二透镜；所述第一透镜设置在靠近所述匀光腔的出射光端面一侧，所述第二透镜设置在靠近所述样品一侧；
10.根据权利要求1-4任一所述的照明装置，其特征在于，所述照明分支结构还包括：匀光腔调节机构，用于调节所述匀光腔的入射光端面处光线的光斑大小和方向，和/或，所述匀光腔的出射光端面处光线的光斑大小和方向。
11.根据权利要求10所述的照明装置，其特征在于，所述匀光腔调节机构设置在所述匀光腔的入射光端面外侧和/或出射光端面外侧。
12.根据权利要求10所述的照明装置，其特征在于，所述匀光腔为由反射镜拼接围成的反射腔结构，所述匀光腔调...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄鑫，郑军，
申请(专利权)人：聚时科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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