【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及移相器，具体为一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器。
技术介绍
1、干涉仪是一种基于光干涉原理的精密测量仪器，它具有精度高、稳定性好、分辨率高的优点，广泛应用于光学加工、检测领域。由于干涉仪在静态下的干涉图精度低、效率低、稳定性差，移相干涉技术便发展起来。移相器是移相干涉仪中的主要部件。实现相移干涉的方式包括波长移相和机械移相。机械移相是利用压电堆栈驱动器驱动透镜在光轴方向发生连续微动来实现实时相移，具有精度高、重复性好的优点。
2、图23所示为菲索干涉仪的工作原理图。激光器发出的单色光束通过分光镜和准直物镜扩展为平行光束，平行光在带有楔形的参考镜下表面（参考面）分开为测量光束和参考光束两部分。两路光分别经参考镜面和被测件表面反射回来，通过分光镜反射进入下方的目镜，在适当调整后看到等厚干涉条纹。移相器中压电堆栈驱动参考镜产生几分之一波长的微小位移，以改变参考光的相位；ccd摄像机在目镜后方采集到这些随相位变化产生的时间序列上的干涉图，然后传输、存储到计算机中，计算机按照移相算法求解得到被测表面各点...
【技术保护点】
1.一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器，包括固定端板（1）、连接于固定端板（1）顶部端面上的移动端板（2）、固定连接于固定端板（1）底部端面上的后盖板（3），所述固定端板（1）、移动端板（2）和后盖板（3）的中心处均开设有同轴且等直径的通孔，其特征在于：所述移动端板（2）的环形孔（202）的内壁上一体设置有可柔性变形的内环形铰链（5），所述固定端板（1）的内圆环形侧壁（101）的外壁上一体设置有可柔性变形的外环形铰链（9），所述外环形铰链（9）的顶面与内环形铰链（5）的底面之间固定连接；
2.根据权利要求1所述的一种集成高精度电容位移传感器...
【技术特征摘要】
1.一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器，包括固定端板（1）、连接于固定端板（1）顶部端面上的移动端板（2）、固定连接于固定端板（1）底部端面上的后盖板（3），所述固定端板（1）、移动端板（2）和后盖板（3）的中心处均开设有同轴且等直径的通孔，其特征在于：所述移动端板（2）的环形孔（202）的内壁上一体设置有可柔性变形的内环形铰链（5），所述固定端板（1）的内圆环形侧壁（101）的外壁上一体设置有可柔性变形的外环形铰链（9），所述外环形铰链（9）的顶面与内环形铰链（5）的底面之间固定连接；
2.根据权利要求1所述的一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器，其特征在于：所述压电堆定位套（41）与移动端板（2）相配合的一端开设有与压电堆（42）相匹配的安装孔（411），压电堆（42）位于安装孔（411）内，压电堆定位套（41）的另一端开设有与压电堆顶柱（43）相匹配的套接孔（412），压电堆顶柱（43）位于套接孔（412）内。
3.根据权利要求2所述的一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器，其特征在于：所述压电堆定位套（41）在安装孔（411）所在端的外圆面上一体设置有均匀分布的齿片状保护环（413），压电堆定位套（41）在套接孔（412）所在端的外圆面上设置有引线槽（414）。
4.根据权利要求1所述的一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器，其特征在于：所述移动端板（2）的底部端面上开设有与压...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯志华，贾志伟，许涛，陈建，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：
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