【技术实现步骤摘要】
本技术涉及氩气纯化，尤其涉及一种氩气纯化装置。
技术介绍
1、对于气体，纯度是衡量气体质量的标准。作为惰性气体，氩气可以用作生产单晶和多晶的保护气体。为了提高硅晶体的质量，选择高纯度的氩气非常重要，这不仅可以提高晶体的寿命，而且可以满足市场需求。
2、现有的氩气纯化装置往往通过锆铝16吸气剂高温纯化法降低氩气中的甲烷含量，从而达到纯化氩气的目的，在氩气纯化的过程中需要将锆铝16吸气剂加热至300-400℃，从而使锆铝16吸气剂表面的反应物能够扩散至内部，进而从而保持表面与新杂质的反应性，因此氩气在经过纯化后温度较高，而现有的氩气纯化装置往往没有对氩气降温功能，因此纯化后的氩气温度较高，不便于直接注入氩气瓶内，较为不便。
3、因此，有必要提供一种氩气纯化装置解决上述技术问题。
技术实现思路
1、为解决现有的氩气纯化装置往往没有对氩气降温功能的技术问题，本技术提供一种氩气纯化装置。
2、本技术提供的氩气纯化装置包括：底板；纯化罐，所述纯化罐固定安装在所述底板的顶部；第一密封盖，所述第一密封盖设置在所述纯化罐的顶部；多个第一连接杆，多个所述第一连接杆均固定安装在所述第一密封盖的底部；第一网框，所述第一网框固定安装在多个所述第一连接杆的底端；锆铝吸气剂，所述锆铝吸气剂设置在所述第一网框的内部；环形套板，所述环形套板固定套设在所述第一网框上，所述环形套板与所述纯化罐的内壁滑动连接；降温机构，所述降温机构设置在所述底板的顶部，所述降温机构用于对纯化后的氩气降
3、优选的，所述降温机构包括储液箱、冷凝箱、连接管、冷凝管和冷水机，所述储液箱固定安装在所述底板的顶部，所述冷凝箱固定安装在所述储液箱的顶部，所述连接管设置在所述纯化罐的一侧，所述连接管与所述储液箱相连通，所述冷凝管设置在所述冷凝箱的内壁上，所述冷凝管的一端延伸至所述储液箱的内部，所述冷水机设置在所述底板的顶部，所述冷水机的循环管与所述冷凝箱相连通，所述冷凝箱内设置有冷却水。
4、优选的，所述干燥机构包括干燥箱、第二网框、干燥剂、多个第二连接杆和第二密封盖，所述干燥箱固定安装在所述冷水机的顶部，所述干燥箱与所述冷凝管相连通，所述第二网框设置在所述干燥箱的内部，所述干燥剂设置在所述第二网框的内部，多个所述第二连接杆均固定安装在所述第二网框的顶部，所述第二密封盖固定安装在多个所述第二连接杆的顶端。
5、优选的，所述导气机构包括空气泵、导气管、充气管、单向阀、抽气管和两个连接头，所述空气泵固定安装在所述干燥箱的一侧，所述导气管设置在所述空气泵的进气端，所述导气管与所述干燥箱相连通，所述充气管设置在所述空气泵的排气端，所述单向阀设置在所述充气管上，所述抽气管设置在所述纯化罐上，所述充气管和所述抽气管的一端均设置有连接头。
6、优选的，所述底板上设置有第一氩气瓶和第二氩气瓶，所述第一氩气瓶和第二氩气瓶分别与两个所述连接头相连接。
7、优选的，所述加热机构包括加热线圈和红外温度传感器，所述加热线圈设置在所述第一网框的底部，所述红外温度传感器设置在所述第一密封盖的底部。
8、优选的，所述纯化罐上设置有控制器，所述控制器与所述冷水机、空气泵、加热线圈和红外温度传感器电性连接。
9、优选的，所述储液箱的底部设置有排水管，所述排水管上设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制器电性连接，所述第一密封盖和第二密封盖上均固定安装有拉手，所述第一密封盖和第二密封盖上均设置有多个蝶形螺栓，多个所述蝶形螺栓分别与所述纯化罐和干燥箱螺纹连接。
10、与相关技术相比较，本技术提供的氩气纯化装置具有如下有益效果：
11、本技术提供一种氩气纯化装置，通过锆铝吸气剂可以降低氩气内的甲烷含量，从而对氩气进行纯化，通过降温机构可以对纯化后的氩气进行降温，通过干燥机构可以对纯化并降温后的氩气进行干燥，通过导气机构可以将纯化后的氩气注入第二氩气瓶内，通过加热机构可以锆铝吸气剂进行加热，从而使锆铝吸气剂表面反应生成的杂质将从表面扩散到材料内部，从而保持表面与新杂质的反应性，通过第二氩气瓶可以收集纯化后的氩气，通过控制器可以对该装置进行操作控制，通过排水管和电磁阀可以排出储液箱的内的冷凝水，通过第一密封盖和第二密封盖可以对纯化罐和干燥箱进行密封。
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1.一种氩气纯化装置，其特征在于，包括：底板；纯化罐，所述纯化罐固定安装在所述底板的顶部；第一密封盖，所述第一密封盖设置在所述纯化罐的顶部；多个第一连接杆，多个所述第一连接杆均固定安装在所述第一密封盖的底部；第一网框，所述第一网框固定安装在多个所述第一连接杆的底端；锆铝吸气剂，所述锆铝吸气剂设置在所述第一网框的内部；环形套板，所述环形套板固定套设在所述第一网框上，所述环形套板与所述纯化罐的内壁滑动连接；降温机构，所述降温机构设置在所述底板的顶部，所述降温机构用于对纯化后的氩气降温；干燥机构，所述干燥机构设置在所述降温机构的一侧；导气机构，所述导气机构设置在所述底板的顶部；加热机构，所述加热机构设置在所述第一网框上。
2.根据权利要求1所述的氩气纯化装置，其特征在于，所述降温机构包括储液箱、冷凝箱、连接管、冷凝管和冷水机，所述储液箱固定安装在所述底板的顶部，所述冷凝箱固定安装在所述储液箱的顶部，所述连接管设置在所述纯化罐的一侧，所述连接管与所述储液箱相连通，所述冷凝管设置在所述冷凝箱的内壁上，所述冷凝管的一端延伸至所述储液箱的内部，所述冷水机设置在所述底板的顶部，所述冷
3.根据权利要求2所述的氩气纯化装置，其特征在于，所述干燥机构包括干燥箱、第二网框、干燥剂、多个第二连接杆和第二密封盖，所述干燥箱固定安装在所述冷水机的顶部，所述干燥箱与所述冷凝管相连通，所述第二网框设置在所述干燥箱的内部，所述干燥剂设置在所述第二网框的内部，多个所述第二连接杆均固定安装在所述第二网框的顶部，所述第二密封盖固定安装在多个所述第二连接杆的顶端。
4.根据权利要求3所述的氩气纯化装置，其特征在于，所述导气机构包括空气泵、导气管、充气管、单向阀、抽气管和两个连接头，所述空气泵固定安装在所述干燥箱的一侧，所述导气管设置在所述空气泵的进气端，所述导气管与所述干燥箱相连通，所述充气管设置在所述空气泵的排气端，所述单向阀设置在所述充气管上，所述抽气管设置在所述纯化罐上，所述充气管和所述抽气管的一端均设置有连接头。
5.根据权利要求4所述的氩气纯化装置，其特征在于，所述底板上设置有第一氩气瓶和第二氩气瓶，所述第一氩气瓶和第二氩气瓶分别与两个所述连接头相连接。
6.根据权利要求4所述的氩气纯化装置，其特征在于，所述加热机构包括加热线圈和红外温度传感器，所述加热线圈设置在所述第一网框的底部，所述红外温度传感器设置在所述第一密封盖的底部。
7.根据权利要求6所述的氩气纯化装置，其特征在于，所述纯化罐上设置有控制器，所述控制器与所述冷水机、空气泵、加热线圈和红外温度传感器电性连接。
8.根据权利要求7所述的氩气纯化装置，其特征在于，所述储液箱的底部设置有排水管，所述排水管上设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制器电性连接，所述第一密封盖和第二密封盖上均固定安装有拉手，所述第一密封盖和第二密封盖上均设置有多个蝶形螺栓，多个所述蝶形螺栓分别与所述纯化罐和干燥箱螺纹连接。
...【技术特征摘要】
1.一种氩气纯化装置，其特征在于，包括：底板；纯化罐，所述纯化罐固定安装在所述底板的顶部；第一密封盖，所述第一密封盖设置在所述纯化罐的顶部；多个第一连接杆，多个所述第一连接杆均固定安装在所述第一密封盖的底部；第一网框，所述第一网框固定安装在多个所述第一连接杆的底端；锆铝吸气剂，所述锆铝吸气剂设置在所述第一网框的内部；环形套板，所述环形套板固定套设在所述第一网框上，所述环形套板与所述纯化罐的内壁滑动连接；降温机构，所述降温机构设置在所述底板的顶部，所述降温机构用于对纯化后的氩气降温；干燥机构，所述干燥机构设置在所述降温机构的一侧；导气机构，所述导气机构设置在所述底板的顶部；加热机构，所述加热机构设置在所述第一网框上。
2.根据权利要求1所述的氩气纯化装置，其特征在于，所述降温机构包括储液箱、冷凝箱、连接管、冷凝管和冷水机，所述储液箱固定安装在所述底板的顶部，所述冷凝箱固定安装在所述储液箱的顶部，所述连接管设置在所述纯化罐的一侧，所述连接管与所述储液箱相连通，所述冷凝管设置在所述冷凝箱的内壁上，所述冷凝管的一端延伸至所述储液箱的内部，所述冷水机设置在所述底板的顶部，所述冷水机的循环管与所述冷凝箱相连通，所述冷凝箱内设置有冷却水。
3.根据权利要求2所述的氩气纯化装置，其特征在于，所述干燥机构包括干燥箱、第二网框、干燥剂、多个第二连接杆和第二密封盖，所述干燥箱固定安装在所述冷水机的顶部，所述干燥箱与所述冷凝管相连通，所述第二网框设置在所述干燥箱的内部，所述干燥剂设...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊旭平，朱建军，
申请(专利权)人：深圳市超纯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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