一种洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座制造技术

技术编号:40697904 阅读:25 留言:0更新日期:2024-03-18 20:24
本技术涉及高温烤炉领域,尤其涉及一种洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座。包括与烤架可拆卸连接的底座,所述底座上连接有可拆卸的顶针,并在所述顶针周边设置磨屑承接槽。本技术将顶针通锁入底座,且底座周围设置磨屑承接槽,用以承接少量磨屑,并将此结构通过夹持方式与现行烤架做结合。减少顶针磨屑在高温区扬尘对产品造成的影响,同时不用拆卸烤架即可更换顶针,提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及高温烤炉领域,尤其涉及一种洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座


技术介绍

1、lcd彩膜工艺流程为:洗净→涂布→曝光→显影→硬烤。在硬烤区,使用高温的烤炉(oven)烘烤基板,烘烤的目的是:将经过显影后的光阻,由热能蒸发将光阻内残留的溶剂降至最低状态,以形成彩膜。

2、目前常用的烤炉为棚架式结构,炉体的内部设置有多层烤架(rack),烤架上设置有数个耐高温不导电材质的顶针,玻璃基板放置于顶针上方。由于炉体内采用烤架(rack)支撑顶针(pin)的方式,烤架的分布非常密集,人员无法进入炉体内进行作业。

3、因烤架为金属材质,经加热后产生热胀冷缩作用,导致金属硬力将plavis-c材质顶针挤压磨屑甚至断裂。一方面磨屑掉落在玻璃基板上,有可能引起产品不良。另一方面若炉体内发生顶针断裂,工作人员必须拆掉部分烤架后进入炉体内更换顶针。由于炉体内为高温环境,完成的作业流程包括:降温、拆掉烤架、进入炉体内作业、重新安装烤架、升温,上述过程花费时间较多,影响产线产能。且烤架经常拆卸也容易导致形变,进而影响其上承载的玻璃基板的产品质量。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座,其特征在于:包括与烤架可拆卸连接的底座,所述底座上连接有可拆卸的顶针,并在所述顶针周边设置磨屑承接槽;

2.如权利要求1所述的洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座,其特征在于:所述底座的底部在四个边角设有角块,形成匹配烤架的安装工位。

3.如权利要求1所述的洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座,其特征在于:所述夹持机构包括设置于所述底座侧边的固定轴、与所述固定轴铰接的两个耳扣,两个耳扣的底部通过连接杆固定连接且之间设有套装于所述固定轴外的扭转弹簧;所述连接杆位于所述底座下方,使得所述扭转弹簧的两端分别固定于所述底座、所...

【技术特征摘要】

1.一种洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座,其特征在于:包括与烤架可拆卸连接的底座,所述底座上连接有可拆卸的顶针,并在所述顶针周边设置磨屑承接槽;

2.如权利要求1所述的洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座,其特征在于:所述底座的底部在四个边角设有角块,形成匹配烤架的安装工位。

3.如权利要求1所述的洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座,其特征在于:所述夹持机构包括设置于所述底座侧边的固定轴、与所述固定轴铰接的两个耳扣,两个耳扣的底部通过连接杆固定连接且之间设有套装于所述固定轴外的扭转弹簧;所述连接杆位于所述底座下方,使得所述扭转弹簧的两端分别固定于所述底座、所述连接杆。

4.如权利要求3所述的洁净室设备高温炉区除尘及可拆卸顶针座,其特征在于:所述耳扣呈s型。

5....

【专利技术属性】
技术研发人员:张建民苏志仁刘志祥吴俊德许敬钱林志维
申请(专利权)人:福建华佳彩有限公司
类型:新型
国别省市:

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