掩膜板、阵列基板及其制备方法、显示面板及显示装置制造方法及图纸

本申请提供一种掩膜板、阵列基板及其制备方法、显示面板及显示装置，掩膜板，用于制作阵列基板，包括：掩膜板主体；至少两个对位掩膜图形，错位排布于掩膜板主体，被配置为使掩膜板对阵列基板进行至少两次定位；镂空的开孔掩膜图形，设置于掩膜板主体，对位掩膜图形一旁，被配置为当进行定位时，利用开孔掩膜图形在阵列基板形成待开孔图形，且在至少两次定位中形成的待开孔图形之间具有位置差异。本申请提供的掩膜板、阵列基板及其制备方法、显示面板及显示装置，可依照镂空的开孔掩膜图形当前所对应的位置设置与之匹配的曝光条件，并分批次进行曝光，最终通过开孔掩膜图形在具有位置差异的无机层上形成满足设计需求且均匀性较好的搭接孔。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及显示，尤其涉及一种掩膜板、阵列基板及其制备方法、显示面板及显示装置。

技术介绍

1、oled(organiclightemittingdiode，有机发光二极管)显示装置是一种有机薄膜电致发光的器件，相较于lcd(liquidcrystaldisplay，液晶显示器)，由于具有轻薄、对比度高、亮度高、能耗低、响应速度快、清晰度好、可柔性显示、发光效率高、制作容易、驱动电压低等优点，使其在电子产品、交通、医用、工业控制等领域具有巨大发展空间，是极具竞争力的下一代显示技术。

2、随着oled显示面板的技术不断发展，为实现更优的画面显示亮度均匀性，呈现更优的画质，需要在在显示面板的制程中确保各膜层的工艺均匀性，尤其是要确保设置在无机层用于上下层走线连接的搭接孔的均匀性。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的在于提出一种掩膜板、阵列基板及其制备方法、显示面板及显示装置，以确保设置在无机层的各搭接孔的均匀性。

2、基于上述目的，本申请的第一方面提供了掩膜板，用于制作阵列基板，包括：本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种掩膜板，其特征在于，用于制作阵列基板，包括：

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，至少两个所述对位掩膜图形沿第一方向错位设置。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，至少两个所述对位掩膜图形沿垂直于所述第一方向的第二方向间隔设置。

4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述对位掩膜图形的形状为十字形。

5.一种应用如权利要求1至4任一项所述的掩膜板的阵列基板制备方法，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述曝光条件包括曝光聚焦位置和曝光量。

7.根据权利要求5所述...

【技术特征摘要】

1.一种掩膜板，其特征在于，用于制作阵列基板，包括：

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，至少两个所述对位掩膜图形沿第一方向错位设置。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，至少两个所述对位掩膜图形沿垂直于所述第一方向的第二方向间隔设置。

4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述对位掩膜图形的形状为十字形。

5.一种应用如权利要求1至4任一项所述的掩膜板的阵列基板制备方法，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述曝光条件包括曝光聚焦位置和曝光量。

7...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨国平，李明星，赵瑞，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：