机器人的控制方法及控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种机器人的控制方法及控制装置，在控制具有冗余自由度的水平多关节型机器人时，以较少的运算量使机器人在短时间内移动到指定的目标位置。第一臂(11)通过关节点(J0)与基台(10)连接，第二臂(12)通过关节点(J1)与第一臂(11)连接，第三臂(13)通过关节点(J2)与第二臂(12)连接，手(14)通过关节点(J3)与第三臂(13)连接，在指定关节点(J3)的目标位置并使机器人(1)移动时，设定为关节点(J2)存在于在穿过关节点(J0)的假想行驶轴P上，将基准方向(X轴)与假想行驶轴(P)所成的角作为假想行驶轴角(TW)，使用假想行驶轴角(TW)和目标位置来驱动各轴的电动机(21～24)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于搬运工件等的水平多关节型机器人的控制方法及控制装置。

技术介绍

1、为了在收纳工件的盒、对工件进行处理的工件处理装置之间搬运半导体晶片等工件，使用搬运用的机器人。在以下的说明中，将由机器人进行的工件的取出(即装载)和卸载(即卸载)的对象的装置总称为工作台。在半导体制造工序中用于收纳晶片的盒、用于对晶片进行某种处理的工件处理装置分别是工作台。在半导体制造工序中，在由壁面划定的作业区域中配置搬运用的机器人，并且在包围作业区域的壁面上配置多个工作台，利用机器人在工作台之间搬运作为工件的半导体晶片。搬运用的机器人要求能够对多个工作台装载和卸载工件。因此，作为机器人，使用将多个臂以相互能够旋转的方式连结，并且将电动机等的旋转力传递给臂而使其进行伸缩等动作的水平多关节型的机器人。在最前端的臂上以能够旋转的方式安装有在搬运时实际搭载工件的手。

2、专利文献1示出了在细长的长方形状的作业区域中用于搬运工件的水平多关节型的机器人的一例。专利文献1所示的机器人具备：保持工件的手；以能够旋转地保持手的臂部；以及连杆机构，其以能够旋转的方式保持臂的基本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种控制方法，控制在多个工作台之间搬运工件的水平多关节型机器人，其中，

2.根据权利要求1所述的控制方法，其中，

3.根据权利要求2所述的控制方法，其中，

4.根据权利要求2所述的控制方法，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的控制方法，其中，

6.根据权利要求1～4中任一项所述的控制方法，其中，

7.根据权利要求1～4中任一项所述的控制方法，其中，

8.一种控制装置，具备：基台；第一臂，其以能够旋转的方式与所述基台连接；第二臂，其以旋转自如的方式与所述第一臂连接；第三臂，其以旋转自如的方式与所...

【技术特征摘要】

1.一种控制方法，控制在多个工作台之间搬运工件的水平多关节型机器人，其中，

2.根据权利要求1所述的控制方法，其中，

3.根据权利要求2所述的控制方法，其中，

4.根据权利要求2所述的控制方法，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的控制方法，其中，

6.根据权利要求1～4中任一项所述的控制方法，其中，

7.根据权利要求1～4中任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥村宏克，白木隆裕，
申请(专利权)人：尼得科仪器株式会社，
类型：发明
国别省市：