【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开总体上涉及静压轴承，并且更具体地，涉及一种用于精密线性运动导引的静压轴承。
技术介绍
1、静压轴承用于在机器(诸如机床)中实现精密线性运动。在美国专利号5,466,071、美国专利号5,871,285、斯洛克姆(slocum)的《精密机械设计》(precision machinedesign)(普伦蒂斯·霍尔出版社，1992年)以及欧洲专利号0 304 090中描述了静压轴承的典型示例，这些文献中的每一者以全文引用的方式并入本文。然而，这些典型的静压轴承可能有缺陷。
技术实现思路
1、根据一个示例，一种静压轴承包括滑架和导轨，所述导轨在与所述滑架组合时提供所述滑架相对于所述导轨的线性运动。所述静压轴承被构造为在所述滑架与所述导轨之间没有机械接触的情况下通过向所述滑架中的多个轴承匣(bearing pockets)供应加压的不可压缩流体而在所述滑架与所述导轨之间传递力。所述多个轴承匣中的每一个由轴承垫的轴承面封闭，并且所述轴承垫包括为平行四边形、梯形、箭头或边缘大体上不与运动方向正交的任何其他形状(例如，运动方向是线性的并且由线定义，而所述轴承垫的所述边缘不位于与所述线正交的平面上)的总体形状，其中。在一些示例中，所述轴承垫的形状最小化因轴承轨道表面中的周期性图案而引起的滑架误差运动。在一些示例中，所述形状还固有地分配压力以在维持刚度的同时最小化滑架误差运动。
2、根据另一示例，一种静压(加压流体膜)线性轴承包括加压匣，所述加压匣用于在轴承面上供应流体，从而实现高轴
3、根据又一示例，一种静压线性轴承包括静压轴承垫，所述静压轴承垫具有这样的形状，其减少由轴承轨道表面中的周期性几何图案引起的静压线性轴承的误差运动。在一些示例中，这种形状提供了线性轴线运动的精度的改进。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种静压轴承，其包括：
2.根据权利要求1所述的静压轴承，其中所述滑架包括相反的轴承垫，使得由所述相反的垫产生的力相等。
3.根据权利要求2所述的静压轴承，其还包括轴承间隙，所述轴承间隙足够小以产生高刚度和压膜阻尼。
4.根据权利要求3所述的静压轴承，其中所述轴承间隙是8至25微米。
5.根据权利要求2所述的静压轴承，其中所述多个轴承匣中的一个或多个轴承匣中的压力由毛细管限制器补偿。
6.一种静压轴承，其包括：
7.根据权利要求6所述的静压轴承，其中所述滑架包括相反的轴承垫，使得由所述相反的垫产生的力相等。
8.根据权利要求7所述的静压轴承，其还包括轴承间隙，所述轴承间隙足够小以产生高刚度和压膜阻尼。
9.根据权利要求8所述的静压轴承，其中所述轴承间隙是8至25微米。
10.根据权利要求7所述的静压轴承，其中所述多个轴承匣中的一个或多个轴承匣中的压力由毛细管限制器补偿。
11.一种静压轴承，其包括：
12.根据权利要求11所述的静压轴承，其中所述
13.根据权利要求12所述的静压轴承，其还包括轴承间隙，所述轴承间隙足够小以产生高刚度和压膜阻尼。
14.根据权利要求13所述的静压轴承，其中所述轴承间隙是8至25微米。
15.根据权利要求12所述的静压轴承，其中所述多个轴承匣中的一个或多个轴承匣中的压力由毛细管限制器补偿。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种静压轴承，其包括：
2.根据权利要求1所述的静压轴承，其中所述滑架包括相反的轴承垫，使得由所述相反的垫产生的力相等。
3.根据权利要求2所述的静压轴承，其还包括轴承间隙，所述轴承间隙足够小以产生高刚度和压膜阻尼。
4.根据权利要求3所述的静压轴承，其中所述轴承间隙是8至25微米。
5.根据权利要求2所述的静压轴承，其中所述多个轴承匣中的一个或多个轴承匣中的压力由毛细管限制器补偿。
6.一种静压轴承，其包括：
7.根据权利要求6所述的静压轴承，其中所述滑架包括相反的轴承垫，使得由所述相反的垫产生的力相等。
8.根据权利要求7所述的静压轴承，其还包括轴承间隙，所述轴承间隙足够小以产生高刚...
【专利技术属性】
技术研发人员：T·杜佩尔，C·莫根，S·J·巴德拉维，M·沙德勒，J·A·洛，
申请(专利权)人：穆尔纳米技术系统有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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