冷却腔及其废气处理装置制造方法及图纸

本技术是冷却腔，包括：外套筒，其内设置有内套筒；多个倾斜的挡板，其从上至下交错设置在所述内套筒内，并形成螺旋向下的流道；封板，其连接所述外套筒、内套筒底部；所述外套筒顶部与所述内套筒顶部设置有溢流腔；内套筒的内壁设置有多个挡板，多个挡板倾斜设置，多个挡板与内套筒内壁形成螺旋的流道，这样气流、水流方向倾斜，可以很好地阻挡水汽，使入口的水汽含量减少，减轻粉末的结块现象；此外通过设置挡板也能够很好的阻挡高温气流的回流情况。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及废气处理装置，特别是冷却腔及其废气处理装置。

技术介绍

1、在半导体行业中，如太阳能面板、晶圆、液晶平板等厂家生产过程中会产生有毒有害的废气，主要以单硅烷(sih4)、氯气(cl2)、pfc(全氟化合物(perfluorocompounds))等为主；为了防止有害物质对于环境的污染，对废气排放前，需要在先对工程废气进行净化处理；在处理含有上述气体的废气时，通常使用吸附法、加热分解法、水洗法和燃烧法等一种或者数种相结合的方式进行处理。

2、现有的废气处理装置是将废气通过反应腔，通过等离子枪对反应腔中的气体进行燃烧分解，分解过后的气体进入冷却腔进行冷却，排入至水箱，最后从排气口将完成净化的废气排出；

3、现有气体在经过冷却腔时存在如下问题：

4、1、冷却腔中注入的气体中有sih4组分，和氧气反应后有sio2粉末，遇水汽后结成硅粉块，容易堵塞管道；以前的冷却腔是直筒，缺点是管道堵塞，需要经常清理，堵塞严重的话会报警不能正常工作；

5、2、以前的冷却腔是直筒，缺点是燃烧的混合气体由上而下直通排出，在非正常情本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.冷却腔，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在于，所述挡板为半圆结构；

3.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在于，位于所述内套筒的水平截面，多个所述挡板配合覆盖所述内套筒的内孔。

4.废气处理装置，其包括权利要求1-3任意一项所述的废气处理装置，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.冷却腔，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在于，所述挡板为半圆结构；

3.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：林湛，
申请(专利权)人：江苏瓦良格环保设备有限公司，
类型：新型
国别省市：