【技术实现步骤摘要】
本技术涉及废气处理装置，特别是冷却腔及其废气处理装置。
技术介绍
1、在半导体行业中，如太阳能面板、晶圆、液晶平板等厂家生产过程中会产生有毒有害的废气，主要以单硅烷(sih4)、氯气(cl2)、pfc(全氟化合物(perfluorocompounds))等为主；为了防止有害物质对于环境的污染，对废气排放前，需要在先对工程废气进行净化处理；在处理含有上述气体的废气时，通常使用吸附法、加热分解法、水洗法和燃烧法等一种或者数种相结合的方式进行处理。
2、现有的废气处理装置是将废气通过反应腔，通过等离子枪对反应腔中的气体进行燃烧分解，分解过后的气体进入冷却腔进行冷却，排入至水箱，最后从排气口将完成净化的废气排出；
3、现有气体在经过冷却腔时存在如下问题：
4、1、冷却腔中注入的气体中有sih4组分，和氧气反应后有sio2粉末，遇水汽后结成硅粉块，容易堵塞管道；以前的冷却腔是直筒，缺点是管道堵塞，需要经常清理，堵塞严重的话会报警不能正常工作；
5、2、以前的冷却腔是直筒，缺点是燃烧的混合气体由上而下直通排出，在非正常情况下负压有可能不稳定，造成高温气体往上回火；
6、综上，如何能够防止冷却腔堵塞以及防止高温回火的情况发生成为了本领域研究人员急需解决的问题。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是：如何能够防止冷却腔堵塞以及防止高温回火的情况；
2、为解决上述技术问题，本技术采取的技术方案为：
3、本技术是
4、在本方案中，冷却腔包括呈内外设置的内套筒，外套筒；内套筒，外套筒之间形成夹层，用于进水；内套筒，外套筒底部设置有封板，使得夹层底部为封闭结构，顶部具有一开口；当夹层内的水位高度超过内套筒的高度后，会流入至内套筒内，与气体混合；
5、内套筒的内壁设置有多个挡板，多个挡板倾斜设置，多个挡板与内套筒内壁形成螺旋的流道，这样气流、水流方向倾斜，可以很好地阻挡水汽，使入口的水汽含量减少，减轻粉末的结块现象；此外通过设置挡板也能够很好的阻挡高温气流的回流情况。
6、为了说明挡板的具体结构，本技术采用所述挡板为半圆结构；所述挡板的弧形段与所述内套筒的内壁固定连接。
7、为了说明挡板的具体连接方式，本技术采用位于所述内套筒的水平截面，多个所述挡板配合覆盖所述内套筒的内孔；
8、换言之，从内套筒的顶部向下看，多个挡板异面重叠覆盖内套筒的内孔，这样就不会有水汽直接从内套筒排出，水汽必须经过螺旋的流道排出；
9、具体而言，在本方案中从上至下设置有三个倾斜的挡板，上部挡板的覆盖内套筒的内孔的角度为0°～180°；中部挡板的覆盖内套筒的内孔的角度为
10、120°～300°，底部挡板的覆盖内套筒的内孔的角度为240°～60°。
11、本方案中的冷却腔可以应用在废气处理装置上，冷却腔位于水箱、反应箱之间。
12、本技术的有益效果：本技术是冷却腔，内套筒的内壁设置有多个挡板，多个挡板倾斜设置，多个挡板与内套筒内壁形成螺旋的流道，这样气流、水流方向倾斜，可以很好地阻挡水汽，使入口的水汽含量减少，减轻粉末的结块现象；此外通过设置挡板也能够很好的阻挡高温气流的回流情况。
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1.冷却腔，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在于，所述挡板为半圆结构；
3.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在于，位于所述内套筒的水平截面，多个所述挡板配合覆盖所述内套筒的内孔。
4.废气处理装置，其包括权利要求1-3任意一项所述的废气处理装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.冷却腔，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在于，所述挡板为半圆结构；
3.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：林湛，
申请(专利权)人：江苏瓦良格环保设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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