【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及质谱仪构件的，尤其是涉及离子源负极板。
技术介绍
1、质谱仪是一种用于分离和检测不同同位素的仪器，其工作原理是：根据带电粒子在电磁场中能够偏转的原理，按物质原子、分子或分子碎片的质量差异进行分离和检测物质组成。
2、质谱仪以离子源、质量分析器和离子检测器为核心，其中，离子源是质谱仪的重要组成部分，其作用是将试样在高真空条件下离子碎片化，质谱仪设有高真空的腔室，真空腔室内安装有用于承载样品的电极板，离子源同样位于真空腔室内，并且离子源安装有与电极板对应的负极板，电极板与负极板之间产生加速电场，负极板开设有离子通道，试样在离子化之后，经过加速电场的作用后沿离子通道飞入质量分析器中进行下一步分析。在实际使用过程中，部分离子未能通过离子通道，进而撞击在负极板上，当负极板上的离子碎片增多时，需要对负极板进行清理，否则容易影响负极板的正常使用。
3、针对上述中的相关技术，但由于清理负极板时需要将负极板从质谱仪中拆除，完成清理后再对负极板进行组装，在清理负极板的过程中，质谱仪的真空腔室需要去真空和抽真空的工作，进而清理负极板时较为不便。
技术实现思路
1、为了提高清理负极板时的便利性，本申请提供离子源负极板。
2、本申请提供离子源负极板，采用如下的技术方案：
3、离子源负极板，包括离子源本体，离子源本体设有真空腔室，所述真空腔室设有激光器，激光器与真空腔室垂直设置，真空腔室开设有便于激光穿过的通孔，通孔处设有用于密封的透光片，负极板位
4、通过采用上述技术方案，激光器射出激光，激光沿通孔穿设透光片并且射向反光件。在定位件的支撑作用下，反光件对激光进行反射，使得激光转向负极板，进而通过激光对负极板上的离子碎片进行清理，通过驱动件带动反光件移动，进而调节反光件的反射角度，进而对负极板的不同区域进行清理，完成激光清理后，在通过清理组件对负极板进行二次清理，清理负极板时，无需对真空腔室进行拆卸，清理负极板时较为便捷。
5、可选的，所述定位件包括连接臂和驱动电机，真空腔室连通有用于收纳连接臂的收纳腔，连接臂与真空腔室转动连接，驱动电机与真空腔室固定连接，用于驱动连接臂移动，反光件和驱动件均位于连接臂远离驱动电机的一端。
6、通过采用上述技术方案，在离子源工作时，连接臂和反光件收纳于收纳腔内，此时反光件不易影响离子源的正常使用。需要对负极板进行清理时，通过驱动电机带动连接臂从容纳槽内移出，使得连接臂带动反光件移动至相应位置。
7、可选的，所述反光件下端部固定连接有连接杆，连接臂固定连接有若干支撑杆，连接杆位于多个支撑杆之间，连接杆固定连接有球形块，支撑杆固定连接有与球形块适配的弧形板，球形块位于多个弧形板之间，并且与所有弧形板均抵接。
8、通过采用上述技术方案，在支撑杆的支撑作用下，多个弧形板共同配合对球形块进行限位，使得连接杆绕球形块圆心为中心偏转，连接杆偏转时带动反光件偏转，进而便于调节反光件的反射角度。
9、可选的，所述驱动件包括电机一、齿轮一、电机二、转动环、移动块和至少一组移动杆，电机一与真空腔室固定连接，齿轮一固定连接于电机一输出轴，转动环位于反光件正下方，并且转动环与连接臂转动连接，转动环沿周向固定有若干齿块，齿块与齿轮一相啮合，所有移动杆均与转动环固定连接，且移动杆均穿设移动块并且与移动块滑动连接，电机二固定连接于转动环内，电机二输出轴同轴固定有与移动杆平行设置的螺纹杆，螺纹杆穿设移动块并且与移动块螺纹连接，连接杆下端部滑动连接有连接管，连接管下端部固定连接有圆球块，移动块开设有与圆球块适配的球形槽，圆球块插设于球形槽内并且与球形槽内壁贴合，连接臂设有用于限制反光件沿连接杆周向转动的限位件。
10、通过采用上述技术方案，电机一带动齿轮一转动，通过齿轮一与齿块的啮合作用，带动转动环转动，转动环转动时带动电机二、连接杆和移动块移动，操纵电机二带动螺纹杆转动，在连接杆对移动块的限位作用下，螺纹杆推动移动块沿连接杆长度方向移动，移动块移动时，通过球形槽与圆球块的配合作用带动圆球块移动，使得圆球块通过连接管带动连接杆摆动，进而使得连接杆带动反光件偏转，反光件偏转时，通过限位件进行限位，进而使得反光件与激光器保持正对。
11、可选的，所述限位件包括定位管和定位杆，连接杆位于若干定位管之间，定位管下端部固定连接有自由节，自由节远离定位管的一端与连接臂固定连接，定位杆位于相应定位管靠近反光件的一端，并且定位杆沿轴向与定位管滑动连接，定位杆远离定位管的一端与反光件固定连接。
12、通过采用上述技术方案，定位件偏转时带动定位杆移动，通过定位杆与定位管的配合作用，自由节的连接作用下，定位杆移动时带动定位管偏转，当反光件具有沿连接杆周向偏转的趋势时，所有定位管与定位杆配合对反光件进行限位，进而提高反光件的移动稳定性。
13、可选的，所述清理组件包括电机三、丝杠、清理板和清理垫，电机三位于真空腔室上端部，并且与真空腔室固定连接，丝杠与电机三输出轴同轴固定，清理板沿长度方向的两端均固定连接有滑移块，真空腔室沿丝杠长度方向开通有与滑移块适配的通槽，滑移块滑动连接于通槽内，丝杠穿设任意滑移块并且与其螺纹连接，清理板上端部设有承载板，承载板下端部固定连接有若干滑柱，滑柱均穿设清理板并且与清理板滑动连接，清理垫固定连接于承载板背离清理板的一侧，承载板沿长度方向的两端均固定连接有导向块，真空腔室开通有导向槽，导向块沿导向槽移动时，承载板带动清理垫对负极板进行清理。
14、通过采用上述技术方案，电机三带动丝杠转动，在通槽对滑移块的限位作用下，丝杠带动清理板沿通槽长度方向移动，使得清理板通过滑柱带动承载板移动，承载板移动时，导向块在沿导向槽轨迹移动，进而使得承载板带动清理垫对负极板下端面进行清理，进而实现对负极板的二次清理。
15、可选的，所述承载板包括上板和下板，导向块固定连接于下板沿长度方向的两侧，滑柱均固定连接于下板下端部，清理垫固定连接于上板上端面，上板中心位置固定连接有转杆，转杆穿设下板并且与下板转动连接，清理板设有用于带动转杆转动的旋转件。
16、通过采用上述技术方案，清理板通过滑柱带动下板移动，在转杆的连接作用下，下板移动时带动上板移动，旋转件通过转杆带动上板转动，进而通过上板带动清理垫转动，有利于提高清理垫的清理效果。
17、可选的，所述旋转件包括齿轮二、齿条、带轮一、带轮二和连接带，齿轮二与带轮一同轴固定，带轮一转动连接于清理板的任意一端，齿条与真空腔室固定连接，齿轮二与齿条啮合，转杆下端部固定连接有多棱柱，带轮二位于转杆下端部，并且带轮二与清理板转动连接，多棱柱穿设带轮二并且与带轮二滑动，连接带绕设本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.离子源负极板，包括离子源本体，离子源本体设有真空腔室(1)，其特征在于：所述真空腔室(1)设有激光器(11)，激光器(11)与真空腔室(1)垂直设置，真空腔室(1)开设有便于激光穿过的通孔(12)，通孔(12)处设有用于密封的透光片(121)，负极板(10)位于真空腔室(1)的上端部，真空腔室(1)内设有反光件(2)，并且真空腔室(1)设有用于对反光件(2)进行支撑的定位件(3)，反光件(2)用于将激光器(11)的激光反射到负极板(10)上，定位件(3)下端部设有用于调节反光件(2)反射角度的驱动件(4)，真空腔室(1)内还设有用于进一步清理负极板(10)的清理组件(5)。
2.根据权利要求1所述的离子源负极板，其特征在于：所述定位件(3)包括连接臂(31)和驱动电机(32)，真空腔室(1)连通有用于收纳连接臂(31)的收纳腔(13)，连接臂(31)与真空腔室(1)转动连接，驱动电机(32)与真空腔室(1)固定连接，用于驱动连接臂(31)移动，反光件(2)和驱动件(4)均位于连接臂(31)远离驱动电机(32)的一端。
3.根据权利要求1所述的离子源负极
4.根据权利要求3所述的离子源负极板，其特征在于：所述驱动件(4)包括电机一(41)、齿轮一(42)、电机二(43)、转动环(44)、移动块(45)和至少一组移动杆(46)，电机一(41)与真空腔室(1)固定连接，齿轮一(42)固定连接于电机一(41)输出轴，转动环(44)位于反光件(2)正下方，并且转动环(44)与连接臂(31)转动连接，转动环(44)沿周向固定有若干齿块(441)，齿块(441)与齿轮一(42)相啮合，所有移动杆(46)均与转动环(44)固定连接，且移动杆(46)均穿设移动块(45)并且与移动块(45)滑动连接，电机二(43)固定连接于转动环(44)内，电机二(43)输出轴同轴固定有与移动杆(46)平行设置的螺纹杆(431)，螺纹杆(431)穿设移动块(45)并且与移动块(45)螺纹连接，连接杆(21)下端部滑动连接有连接管(212)，连接管(212)下端部固定连接有圆球块(213)，移动块(45)开设有与圆球块(213)适配的球形槽(451)，圆球块(213)插设于球形槽(451)内并且与球形槽(451)内壁贴合，连接臂(31)设有用于限制反光件(2)沿连接杆(21)周向转动的限位件(6)。
5.根据权利要求4所述的离子源负极板，其特征在于：所述限位件(6)包括定位管(61)和定位杆(62)，连接杆(21)位于若干定位管(61)之间，定位管(61)下端部固定连接有自由节(63)，自由节(63)远离定位管(61)的一端与连接臂(31)固定连接，定位杆(62)位于相应定位管(61)靠近反光件(2)的一端，并且定位杆(62)沿轴向与定位管(61)滑动连接，定位杆(62)远离定位管(61)的一端与反光件(2)固定连接。
6.根据权利要求1所述的离子源负极板，其特征在于：所述清理组件(5)包括电机三(51)、丝杠(52)、清理板(53)和清理垫(54)，电机三(51)位于真空腔室(1)上端部，并且与真空腔室(1)固定连接，丝杠(52)与电机三(51)输出轴同轴固定，清理板(53)沿长度方向的两端均固定连接有滑移块(531)，真空腔室(1)沿丝杠(52)长度方向开通有与滑移块(531)适配的通槽(14)，滑移块(531)滑动连接于通槽(14)内，丝杠(52)穿设任意滑移块(531)并且与其螺纹连接，清理板(53)上端部设有承载板(55)，承载板(55)下端部固定连接有若干滑柱(551)，滑柱(551)均穿设清理板(53)并且与清理板(53)滑动连接，清理垫(54)固定连接于承载板(55)背离清理板(53)的一侧，承载板(55)沿长度方向的两端均固定连接有导向块(556)，真空腔室(1)开通有导向槽(15)，导向块(556)沿导向槽(15)移动时，承载板(55)带动清理垫(54)对负极板(10)进行清理。
7.根据权利要求6所述的离子源负极板，其特征在于：所述承载板(55)包括上板(552)和下板(553)，导向块(556)固定连接于下板(553)沿长度方向的两侧，滑柱(551)均固定连接于下板(553)下端部，清理垫(54)固定连接于上板(552)上...
【技术特征摘要】
1.离子源负极板，包括离子源本体，离子源本体设有真空腔室(1)，其特征在于：所述真空腔室(1)设有激光器(11)，激光器(11)与真空腔室(1)垂直设置，真空腔室(1)开设有便于激光穿过的通孔(12)，通孔(12)处设有用于密封的透光片(121)，负极板(10)位于真空腔室(1)的上端部，真空腔室(1)内设有反光件(2)，并且真空腔室(1)设有用于对反光件(2)进行支撑的定位件(3)，反光件(2)用于将激光器(11)的激光反射到负极板(10)上，定位件(3)下端部设有用于调节反光件(2)反射角度的驱动件(4)，真空腔室(1)内还设有用于进一步清理负极板(10)的清理组件(5)。
2.根据权利要求1所述的离子源负极板，其特征在于：所述定位件(3)包括连接臂(31)和驱动电机(32)，真空腔室(1)连通有用于收纳连接臂(31)的收纳腔(13)，连接臂(31)与真空腔室(1)转动连接，驱动电机(32)与真空腔室(1)固定连接，用于驱动连接臂(31)移动，反光件(2)和驱动件(4)均位于连接臂(31)远离驱动电机(32)的一端。
3.根据权利要求1所述的离子源负极板，其特征在于：所述反光件(2)下端部固定连接有连接杆(21)，连接臂(31)固定连接有若干支撑杆(311)，连接杆(21)位于多个支撑杆(311)之间，连接杆(21)固定连接有球形块(211)，支撑杆(311)固定连接有与球形块(211)适配的弧形板(312)，球形块(211)位于多个弧形板(312)之间，并且与所有弧形板(312)均抵接。
4.根据权利要求3所述的离子源负极板，其特征在于：所述驱动件(4)包括电机一(41)、齿轮一(42)、电机二(43)、转动环(44)、移动块(45)和至少一组移动杆(46)，电机一(41)与真空腔室(1)固定连接，齿轮一(42)固定连接于电机一(41)输出轴，转动环(44)位于反光件(2)正下方，并且转动环(44)与连接臂(31)转动连接，转动环(44)沿周向固定有若干齿块(441)，齿块(441)与齿轮一(42)相啮合，所有移动杆(46)均与转动环(44)固定连接，且移动杆(46)均穿设移动块(45)并且与移动块(45)滑动连接，电机二(43)固定连接于转动环(44)内，电机二(43)输出轴同轴固定有与移动杆(46)平行设置的螺纹杆(431)，螺纹杆(431)穿设移动块(45)并且与移动块(45)螺纹连接，连接杆(21)下端部滑动连接有连接管(212)，连接管(212)下端部固定连接有圆球块(213)，移动块(45)开设有与圆球块(213)适配的球形槽(451)，圆球块(213)插设于球形槽(451)内并且与球形槽(451)内壁贴合，连接臂(31)设有用于限制反光件(2)沿连接杆(21)周向转动的限位件(6)。
5.根据权利要求4所述的离子源负...
【专利技术属性】
技术研发人员：娄晶，牛天渭，宋文君，姜瑞凤，杲立博，刘凤，李顺良，张曼玉，刘传兴，
申请(专利权)人：青岛惠安康生物工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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