【技术实现步骤摘要】
本技术涉及铁电薄膜制备，尤其涉及一种多温区连续退火炉。
技术介绍
1、铁电薄膜具有良好的铁电性、压电性、电光及非线性光学等特性，广泛应用于微电子、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域。目前人工制备铁电薄膜材料生产效率低且薄膜质量可控性差，无法满足用户用量和品控上的需求。溶胶凝胶法是常用的铁电薄膜生产技术之一，具备操作简便、对环境友好的优点。其自动生产线通常包括转运硅片、旋涂胶体、退火炉高温晶化三个主要部分。其中退火炉的设计对铁电薄膜的成品质量起到决定性作用。
2、现有的退火炉，其炉膛（退火通道）为圆形，也即采用圆筒状结构的退火通道来进行加热退火。圆筒状结构的退火通道结构相对简单，易于制备，但存在退火炉炉膛内部空间大、退火能耗高且效率低的问题；同时，由于退火炉炉膛内部空间大，对其内温度的调整也相对困难，存在温度调整效率低的问题。
技术实现思路
1、针对以上不足，本技术提供一种多温区连续退火炉，能够解决现有的退火炉炉膛内部空间大、退火能耗高且效率低的问题。
2、为达到上述目的，本技术采用如下技术方案：
3、一种多温区连续退火炉，包括有炉架、输送机构和炉本体，所述输送机构和炉本体分别安装在所述炉架上，所述输送机构穿过所述炉本体以将硅片送入所述炉本体加热后送出所述炉本体，所述炉本体包括有退火通道和加热模块，所述退火通道为方框形结构，所述加热模块贴合安装在所述退火通道上以实现对退火通道的加热。
4、进一步地，所述加热模块为多组，多组所述加热
5、进一步地，所述退火通道为宽大于高的扁平方框形结构，所述退火通道的长度方向与输送机构的输送方向相一致。
6、进一步地，所述退火通道的两端端口处分别设置有管堵以使得所述退火通道的两端端口形成收口结构。
7、进一步地，所述炉本体在所述退火通道的两端分别设置有法兰和法兰支架，所述法兰支架固定安装在所述炉架上，所述法兰固定安装在所述法兰支架上，所述管堵固定安装在所述法兰上。
8、进一步地，所述炉本体还包括有内炉壳，所述内炉壳包裹设置在所述退火通道和加热模块外围。
9、进一步地，所述内炉壳外围固定设置有外炉壳。
10、进一步地，所述退火通道内的各个退火温区均设置有测温元件。
11、进一步地，所述输送机构包括有驱动电机、驱动滚筒、齿轮、链条、大托辊、小托辊和传送带；
12、所述驱动电机固定安装在所述炉架上，所述驱动滚筒、大托辊和小托辊转动安装在所述炉架上，所述齿轮为两个，分别固定安装在所述驱动电机的输出轴以及所述驱动滚筒的一端，所述链条绕设在两个所述齿轮上，所述大托辊为两个，安装在所述输送机构的两端，所述小托辊至少为一个，安装在所述大托辊的下方，所述传送带绕设在所述驱动滚筒、大托辊和小托辊上并穿过所述炉本体。
13、进一步地，所述输送机构包括有张紧机构，所述张紧机构包括有螺杆、张紧辊、连接件、固定架、弹性件和滑动块；
14、所述固定架为两个，固定安装在所述炉架上并位于所述传送带两侧，所述固定架开设有用以匹配螺杆的螺孔，所述螺杆螺纹安装在两个所述固定架上；两个所述固定架上分别开设有滑轨，所述滑轨方向与所述螺杆轴向一致，所述滑动块滑动安装在所述滑轨上；所述张紧辊贴合所述传送带用以张紧所述传送带，所述张紧辊的两端分别与两个滑动块转动连接；所述滑动块上转动安装有连接件，所述连接件通过所述弹性件与所述螺杆相连接。
15、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
16、1、本技术的多温区连续退火炉，通道内部紧凑、内部空间更小的退火通道有助于降低退火能耗并提高退火效率，也有助于温区温度的调整，配合多温区的设计使得生产出来的硅基铁电薄膜具有较高的品质，有助于降低生产成本，提高市场竞争能力；
17、2、退火炉具有独立的驱动装置，便于调节自身以适应不同的生产线需求；
18、3、退火炉能够实现更宽的通道以便于形成双通道或多通道退火炉，可以支撑两片及以上料盘同时进行退火工艺，大大加快生产效率。
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1.一种多温区连续退火炉，包括有炉架（10）、输送机构（20）和炉本体（30），所述输送机构（20）和炉本体（30）分别安装在所述炉架（10）上，所述输送机构（20）穿过所述炉本体（30）以将硅片送入所述炉本体（30）加热后送出所述炉本体（30），其特征在于：所述炉本体（30）包括有退火通道（31）和加热模块（32），所述退火通道（31）为方框形结构，所述加热模块（32）贴合安装在所述退火通道（31）上以实现对退火通道（31）的加热；所述退火通道（31）的两端端口处分别设置有管堵（34）以使得所述退火通道（31）的两端端口形成收口结构。
2.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述加热模块（32）为多组，多组所述加热模块（32）沿所述退火通道（31）的长度方向设置，且每组所述加热模块（32）之间在所述退火通道（31）的内侧和外侧对应位置处均设置有保温层（33）以在所述退火通道（31）内形成多个退火温区。
3.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述退火通道（31）为宽大于高的扁平方框形结构，所述退火通道（31）的长度方向与输送机
4.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述炉本体（30）在所述退火通道（31）的两端分别设置有法兰（36）和法兰支架（37），所述法兰支架（37）固定安装在所述炉架（10）上，所述法兰（36）固定安装在所述法兰支架（37）上，所述管堵（34）固定安装在所述法兰（36）上。
5.根据权利要求1至4任一项所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述炉本体（30）还包括有内炉壳（38），所述内炉壳（38）包裹设置在所述退火通道（31）和加热模块（32）外围。
6.根据权利要求5所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述内炉壳（38）外围固定设置有外炉壳（39）。
7.根据权利要求2所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述退火通道（31）内的各个退火温区均设置有测温元件。
8.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述输送机构（20）包括有驱动电机（21）、驱动滚筒（22）、齿轮（23）、链条（24）、大托辊（25）、小托辊（26）和传送带（27）；
9.根据权利要求8所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述输送机构（20）包括有张紧机构（28），所述张紧机构（28）包括有螺杆（281）、张紧辊（282）、连接件（283）、固定架（284）、弹性件（285）和滑动块（286）；
...【技术特征摘要】
1.一种多温区连续退火炉，包括有炉架（10）、输送机构（20）和炉本体（30），所述输送机构（20）和炉本体（30）分别安装在所述炉架（10）上，所述输送机构（20）穿过所述炉本体（30）以将硅片送入所述炉本体（30）加热后送出所述炉本体（30），其特征在于：所述炉本体（30）包括有退火通道（31）和加热模块（32），所述退火通道（31）为方框形结构，所述加热模块（32）贴合安装在所述退火通道（31）上以实现对退火通道（31）的加热；所述退火通道（31）的两端端口处分别设置有管堵（34）以使得所述退火通道（31）的两端端口形成收口结构。
2.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述加热模块（32）为多组，多组所述加热模块（32）沿所述退火通道（31）的长度方向设置，且每组所述加热模块（32）之间在所述退火通道（31）的内侧和外侧对应位置处均设置有保温层（33）以在所述退火通道（31）内形成多个退火温区。
3.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述退火通道（31）为宽大于高的扁平方框形结构，所述退火通道（31）的长度方向与输送机构（20）的输送方向相一致。
4.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述炉本体（...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈雪，林宁，零金江，孟相朋，李文杰，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：新型
国别省市：
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