一种热式气体流量补偿计算方法及热式气体流量传感器技术

本发明专利技术涉及热式气体流量传感器技术领域，尤其涉及一种热式气体流量补偿计算方法及热式气体流量传感器。本发明专利技术具有三大改进，一是通过感知电阻R<subgt;S1</subgt;测量加热电阻的电流波动，再通过计算修正实际气体流量，可显著减少因电流波动带来的测量误差。二是通过两个加热电阻以新的电流激励方式测量气体流量，结合互相关算法得到湿气经过传感器的流速，通过流速换算为流量。三是采用分流电阻R<subgt;S2</subgt;、分流电阻R<subgt;S3</subgt;和模拟开关SW2同时满足宽量程和低功耗。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及热式气体流量传感器，尤其涉及一种热式气体流量补偿计算方法及热式气体流量传感器。

技术介绍

1、随着科技的不断发展，对于气体流量的测量和控制在各个领域中扮演着越来越重要的角色，例如环境监测、医疗器械、化工生产等。为了满足这些应用对于气体流量测量的精确性、稳定性和可靠性的需求，基于mems(微电子机械系统)技术的热式气体质量流量传感器应运而生。

2、mems热式气体质量流量传感器是一种利用微型加热器和温度敏感元件来测量气体流量的传感器。其工作原理是通过加热器对气体进行加热，然后利用温度敏感元件检测气体在加热区域的温度变化，从而计算出气体的质量流量。由于mems技术具有微型化、集成化、低功耗和高性能等优点，因此mems热式气体质量流量传感器在气体流量测量领域具有广泛的应用前景。

3、其不足之处在于：1、从上述热电堆原理的气体流量测量传感器的工作原理可以看出，该系统通常会在加热电阻两端施加一个恒定电压或者恒定电流，但传统的恒流源或者恒压源电路都会有一定波动，这将直接导致输出的电压信号与流量变化无法满足线性关系，特别是在管体内的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种热式气体流量补偿计算方法，其特征在于，具体方法为：增加一个与加热单元RL串联的感知电阻RS1；

2.根据权利要求1所述的，其特征在于，所述加热电阻RL包括第一电阻J1和第二电阻J2，第一电阻J1与第二电阻J2间距为W；

3.一种热式气体流量传感器，其特征在于，包括：恒流源/恒压源、热电堆传感电路、电势差测量电路和模数转换ADC；

4.根据权利要求3所述的热式气体流量传感器，其特征在于，所述恒流源/恒压源包括DC-DC电源；

5.根据权利要求4所述的热式气体流量传感器，其特征在于，所述加热单元RL包括第一电阻J1和第二电阻J2；差分放...

【技术特征摘要】

1.一种热式气体流量补偿计算方法，其特征在于，具体方法为：增加一个与加热单元rl串联的感知电阻rs1；

2.根据权利要求1所述的，其特征在于，所述加热电阻rl包括第一电阻j1和第二电阻j2，第一电阻j1与第二电阻j2间距为w；

3.一种热式气体流量传感器，其特征在于，包括：恒流源/恒压源、热电堆传感电路、电势差测量电路和模数转换adc；

4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟挹清，古瑞琴，杨承霖，范宏强，
申请(专利权)人：郑州炜盛电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：