【技术实现步骤摘要】
本申请涉及自动化测试领域，特别是涉及一种测试设备的冷媒回收装置及测试系统。
技术介绍
1、半导体自动化测试，指的是利用自动测试设备(automatic test equipment，ate)对被测器件(device under test，dut)的各项参数指标进行检测，剔除残次品以控制半导体器件的出厂品质。
2、当前市场上的测试设备使用冷媒机提供低温冷源，冷媒机将低温冷媒通过循环管路输送到换热器中，为待测的被测器件降温。当循环管路泄露或其他原因需要拆装管路时，目前通过在拆装管路过程中将冷媒直接排放大气中，造成资源浪费及空气污染。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种测试设备的冷媒回收装置及测试系统。
2、第一方面，本技术实施例提出一种测试设备的冷媒回收装置，所述测试设备包括冷媒机以及与所述冷媒机通过循环管路连通的换热器，所述冷媒回收装置包括：
3、与所述循环管路连通的第一电磁阀；
4、与所述第一电磁阀通过第一回收管路连通...
【技术保护点】
1.一种测试设备的冷媒回收装置，所述测试设备包括冷媒机以及与所述冷媒机通过循环管路连通的换热器，其特征在于，所述冷媒回收装置包括：
2.根据权利要求1所述的测试设备的冷媒回收装置，其特征在于，所述冷媒回收设备包括与所述第一电磁阀通过第一回收管路连通且与所述上位机电性连接的冷媒回收机，以及与所述冷媒回收机通过第二回收管路连通的冷媒回收罐；
3.根据权利要求1所述的测试设备的冷媒回收装置，其特征在于，所述装置还包括：
4.根据权利要求2所述的测试设备的冷媒回收装置，其特征在于，所述装置还包括：
5.根据权利要求1所述的测试设...
【技术特征摘要】
1.一种测试设备的冷媒回收装置，所述测试设备包括冷媒机以及与所述冷媒机通过循环管路连通的换热器，其特征在于，所述冷媒回收装置包括：
2.根据权利要求1所述的测试设备的冷媒回收装置，其特征在于，所述冷媒回收设备包括与所述第一电磁阀通过第一回收管路连通且与所述上位机电性连接的冷媒回收机，以及与所述冷媒回收机通过第二回收管路连通的冷媒回收罐；
3.根据权利要求1所述的测试设备的冷媒回收装置，其特征在于，所述装置还包括：
4.根据权利要求2所述的测试设备的冷媒回收装置，其特征在于，所述装置还包括：
5.根据权利要求1所述的测试设备的冷媒回收装置，其特征在于，所述冷媒机包括出液口和回液口，在所述出液口设有第二电磁阀，在所述回液口设有第三电磁阀，所述第二电磁阀和所述第三电磁阀与所述循环管路连通；所述冷媒回收指令包括第一冷媒回收指令；
6.根据权利要求1所述的测试设备的冷媒回收装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡年群，梁欣，邱国志，陶梦杰，石宇立，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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