【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体传感器，尤其是涉及一种电化学气体传感器及其制作方法。
技术介绍
1、电化学气体传感器是一类应用环境广泛、环境影响小、灵敏度高的传感器。通过构建三电极工作体系，利用工作电极与检测气体特异性反应，可将气体浓度信号转变为电信号，实现气体环境的实时监控。尤其是可用于液态环境中溶解气体的检测，极大的扩展了电化学气体传感器的应用。然而，目前常见的片式电化学气体传感器，敏感材料通常采用后涂敷的方式加载，因此敏感材料易脱落；而且由于常规工作电极为圆盘的设计，导致工作过程中易形成电荷积累并进一步形成双电层，降低了法拉第电流信号的提取精度，极大的妨害了传感器检测精度和可靠性。中国的专利(申请号cn202221328839.4)公开了一种电化学气体传感器，该传感器由衬底层和电极层组成，衬底层包括基底和其上的绝缘层，电极层设于绝缘层上，包含四个按顺序排列的导出电极，它们分别连接到对电极、两个环形叉指工作电极和参比电极。对电极是一个开放的环状结构，环绕着两个工作电极，而参比电极则位于这些工作电极的右侧。但是该方案所涉及的一种电化学气体传感器是四...
【技术保护点】
1.一种片式电化学气体传感器，包括基底层、电极层，其特征在于，所述基底层包括支撑层和绝缘层；所述电极层位于基底层表面，电极层包括三个电极，即工作电极、对电极和参比电极；所述工作电极为同心圆环状或均布于主轴两侧的枝状，所述参比电极为半环状并扩于工作电极外侧，并且所述工作电极为多孔结构；所述对电极为半环状并环扩于参比电极外侧；所述工作电极、参比电极和对电极分别与第一引线电极、第二引线电极、第三引线电极相连。
2.根据权利要求1所述的片式电化学气体传感器，其特征在于，所述参比电极与对电极为同心圆环段。
3.根据权利要求1所述片式电化学气体传感器，其特...
【技术特征摘要】
1.一种片式电化学气体传感器，包括基底层、电极层，其特征在于，所述基底层包括支撑层和绝缘层；所述电极层位于基底层表面，电极层包括三个电极，即工作电极、对电极和参比电极；所述工作电极为同心圆环状或均布于主轴两侧的枝状，所述参比电极为半环状并扩于工作电极外侧，并且所述工作电极为多孔结构；所述对电极为半环状并环扩于参比电极外侧；所述工作电极、参比电极和对电极分别与第一引线电极、第二引线电极、第三引线电极相连。
2.根据权利要求1所述的片式电化学气体传感器，其特征在于，所述参比电极与对电极为同心圆环段。
3.根据权利要求1所述片式电化学气体传感器，其特征在于，所述绝缘层为500～1000μm氧化硅绝缘层或1～5um氧化铝绝缘层或1～5μm聚氨酯膜绝缘层。
4.根据权利要求1所述片式电化学气体传感器，其特征在于，所述支撑层为硅片或氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷或pet膜或pi膜，所述绝缘层为sio2或氧化铝或聚氨酯；所述引线电极材质为ag或pt或c，所述参比电极为ag或ag/agcl或pt，所述对电极为pt或c，所述工...
【专利技术属性】
技术研发人员：张晓，金庆喜，魏千惠，
申请(专利权)人：有研工程技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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