【技术实现步骤摘要】
本专利技术大体上涉及激光相干光束合成,且更具体地说,涉及光学相控阵列。
技术介绍
1、各种类型的光学相控阵在本领域中是已知的。
技术实现思路
1、本专利技术试图提供与由激光光学相控阵列产生的动态成形光束中的噪声校正和相位修改相关的系统和方法。
2、因此,根据本专利技术的优选实施例,提供了一种激光系统,其包括:种子激光器;激光束分离及合成子系统,其接收来自所述种子激光器的输出且提供具有噪声的合成激光输出;和噪声消除子系统,其操作以基于考虑到间歇时间处的噪声而提供噪声消除相位校正输出,所述激光束分离及合成子系统在所述间歇时间之间的时间间隙期间改变合成激光输出的相位。
3、根据本专利技术的另一优选实施例,进一步提供一种激光系统,其包括种子激光器;激光束分离及合成子系统,其接收来自所述种子激光器的输出且提供具有噪声的合成激光输出;和噪声消除子系统,其操作以基于考虑到在噪声采样率下的噪声而提供噪声消除相位校正输出,所述激光束分离及合成子系统以超过所述噪声采样率的相位变化率改变
...【技术保护点】
1.一种激光系统,其特征在于,所述激光系统包含:
2.根据权利要求1所述的激光系统,并且还包含光学元件,所述光学元件接收来自所述激光束分离及合成子系统的所述合成激光输出且使所述合成激光输出聚焦在与所述衬底不重合的焦点处。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的激光系统,其中从所述衬底反向散射的激光束不聚焦在所述光学相控阵列激光器上。
4.一种用于在激光系统中聚焦激光束的方法,其特征在于,所述方法包含:
5.根据权利要求4所述的方法,并且还包含通过光学元件使所述合成激光输出聚焦在不与所述衬底重合的焦点处。
6.根
...【技术特征摘要】
1.一种激光系统,其特征在于,所述激光系统包含:
2.根据权利要求1所述的激光系统,并且还包含光学元件,所述光学元件接收来自所述激光束分离及合成子系统的所述合成激光输出且使所述合成激光输出聚焦在与所述衬底不重合的焦点处。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的激光系统,其中从所述衬底反向散射的激光束不聚焦在所...
【专利技术属性】
技术研发人员:E·谢克尔,B·乌尔巴赫,Y·韦德尼,R·韦雷德,A·沙皮拉,Y·伊莱祖尔,E·凯勒,
申请(专利权)人:希万先进科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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