【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种基于台阶种子的微透镜及其制备方法。
技术介绍
1、微透镜作为一种重要的光学元件，具有体积小、重量轻、集成度高的特点，吸引了大量的目光。
2、伴随着半导体工业的发展，相继出现了一系列微透镜的制备方案。传统微透镜的制备方案包括：光刻胶熔融(reflow)、刻蚀、打印、激光直写、点润湿、纳米压印等方案。在上述传统微透镜的制备方案中，除刻蚀方案外，基本都是有机材料，有机材料易由于高温和机械产生形变，且工艺较为繁琐，容易导致良率问题。
3、因此，亟需提供一种可以避免上述缺陷的新的微透镜的制备方案。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基于台阶种子的微透镜及其制备方法，其可在台阶种子结构的基础上，直接原位生长形成具备无机透明材料的微透镜壳层，工艺较为简单，有良率保障。
2、为实现上述专利技术目的，本专利技术提出如下技术方案：
3、一方面，提供了一种基于台阶种子的微透镜，所述微透镜包括：
4、台阶种子...
【技术保护点】
1.一种基于台阶种子的微透镜，其特征在于，所述微透镜包括：
2.根据权利要求1所述的微透镜，其特征在于，所述台阶种子结构为像素单元；
3.根据权利要求2所述的微透镜，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的微透镜，其特征在于，所述台阶种子结构为由像素单元、填充在所述像素单元的顶部的填充层组成的填充后像素单元，所述填充层采用耐高温有机材料或无机介质材料；
5.根据权利要求4所述的微透镜，其特征在于，
6.根据权利要求2或4所述的微透镜，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的微透镜，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种基于台阶种子的微透镜，其特征在于，所述微透镜包括：
2.根据权利要求1所述的微透镜，其特征在于，所述台阶种子结构为像素单元；
3.根据权利要求2所述的微透镜，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的微透镜，其特征在于，所述台阶种子结构为由像素单元、填充在所述像素单元的顶部的填充层组成的填充后像素单元，所述填充层采用耐高温有机材料或无机介质材料；
5.根据权利要求4所述的微透镜，其特征在于，
6.根据权利要求2或4所述的微透镜，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的微透镜，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的微透镜，其特征在于，所述顶部种子层的形状包括：
【专利技术属性】
技术研发人员：杨志祥，朱酉良，林肖，王亚洲，
申请(专利权)人：诺视科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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