【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及测试测量，具体涉及一种基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统及方法。
技术介绍
1、太赫兹技术在通信、医学成像等多个领域呈现出良好的发展态势，而太赫兹芯片是太赫兹技术发展的硬件基础，太赫兹芯片的高效无损测试是当前太赫兹技术应用发展的迫切需求。目前主流芯片测试方法主要包括封装测试和在片测试，其中，封装测试会引入额外的损耗、不确定的寄生参数等因素，无法准确反映芯片的固有特性；在片测试可以避免封装、夹具等带来的测试误差，在片测试主要采用接触式探针，其对振动非常敏感，故测试时易折断、使用寿命有限。现有技术中存在一类基于准光学的太赫兹非接触测试方法，其通过采用准光学器件实现太赫兹测试模块和待测芯片之间的非接触连接，避免了传统探针在片测试振动敏感、针体易折断问题，然而这种非接触测试为单波段测试，其只能在有限的带宽内进行，无法应用于宽带测试。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是：克服传统太赫兹芯片在片测试方法因振动敏感而存在的探针易折断、寿命短，以及目前非接触在片测试方法的应用带宽受限的缺陷，提供一种基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统及方法，其采用太赫兹准光技术实现测试芯片与太赫兹扩频模块之间的非接触连接，同时采用多工器技术实现了波段拼接的宽带测试，进而实现了太赫兹频段跨越波导波段的宽带、非接触测试。
2、本基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统包括用于放置待测单元的测试单元，以及一扩展半球透镜和两对光组件，其中，所述测试单元设置在扩展半球透镜平面侧上方，每对
3、作为测试单元的内部结构优化，所述多工器的低通滤波器与带通滤波器呈l型直角分布，低通滤波器所在直线光路与带通滤波器所在直线光路相互垂直。
4、作为测试单元的具体部件优化，所述低通滤波器采用t型结构滤波器，所述带通滤波器的谐振器采用终端短路的四分之一波长共面波导传输线组成。
5、本基于准光学的太赫兹宽带非接触测试方法通过上述的基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统实现，包括以下步骤，
6、s1：波1发射——低通滤波器所在光路一侧的光组件的太赫兹扩频装置的天线发射波束1，波束1经透镜准直后，通过反射镜偏折照射到扩展半球透镜上，波束1经过扩展半球透镜汇聚到测试单元上；
7、s2：低通处理——测试单元的平面天线接收入射的太赫兹波束1后，经低通滤波器传输到待测单元上，经过待测单元的太赫兹波束1传输经过对侧共线的低通滤波器后，由对侧平面天线射出波束1；
8、s3：波1接收——波束1经由扩展半球透镜准直，照射到对侧与发射端光组件成对的接收端光组件的反射镜上，经反射后的光束由透镜汇聚到该侧太赫兹扩频装置的天线接口处接收；
9、s4：波2发射——带通滤波器所在光路一侧的光组件的太赫兹扩频装置的天线发射波束2，波束2经透镜准直后，通过反射镜偏折照射到扩展半球透镜上，波束2经过扩展半球透镜汇聚到测试单元上；
10、s5：带通处理——-测试单元的平面天线接收入射的太赫兹波束2后，经带通滤波器传输到待测单元上，经过待测单元的太赫兹波束2传输经过对侧共线的带通滤波器后，由对侧平面天线射出波束2；
11、s6：波2接收——波束2经由扩展半球透镜准直，照射到对侧与发射端光组件成对的接收端光组件的反射镜上，经反射后的光束由透镜汇聚到该侧太赫兹扩频装置的天线接口处接收；
12、s7：波段测试——两组成对的太赫兹扩频装置分别进行波段1和波段2的s参数测试。
13、进一步的，步骤s1至s3和s4至s6交替进行；步骤s1至s3进行时，步骤s4至s6拒止；步骤s1至s3进行时，步骤s4至s6拒止。
14、本专利技术一种基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统及方法，克服了传统太赫兹芯片在片测试方法因振动敏感而存在的探针易折断、寿命短，以及目前非接触在片测试方法的应用带宽受限的缺陷，其采用太赫兹准光技术实现测试芯片与太赫兹扩频模块之间的非接触连接，同时采用多工器技术实现了波段拼接的宽带测试，进而实现了太赫兹频段跨越波导波段的宽带、非接触测试。
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1.一种基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统，其特征是：包括用于放置待测单元(0)的测试单元(1)，以及一扩展半球透镜(2)和两对光组件(3)，其中，所述测试单元(1)设置在扩展半球透镜(2)平面侧上方，每对光组件(3)对称设置在扩展半球透镜(1)球面侧斜下方两侧；
2.根据权利要求1所述的基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统，其特征是：所述多工器(12)的低通滤波器(121)与带通滤波器(122)呈L型直角分布，低通滤波器(121)所在直线光路与带通滤波器(122)所在直线光路相互垂直。
3.根据权利要求2所述的基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统，其特征是：所述低通滤波器(121)采用T型结构滤波器，所述带通滤波器(122)的谐振器采用终端短路的四分之一波长共面波导传输线组成。
4.一种基于准光学的太赫兹宽带非接触测试方法，其特征是：通过权利要求1至3所述的基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统实现，包括以下步骤，
5.根据权利要求4所述的基于准光学的太赫兹宽带非接触测试方法，其特征是：步骤S1至S3和S4至S6交替进行；步骤S1
...【技术特征摘要】
1.一种基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统，其特征是：包括用于放置待测单元(0)的测试单元(1)，以及一扩展半球透镜(2)和两对光组件(3)，其中，所述测试单元(1)设置在扩展半球透镜(2)平面侧上方，每对光组件(3)对称设置在扩展半球透镜(1)球面侧斜下方两侧；
2.根据权利要求1所述的基于准光学的太赫兹宽带非接触测试系统，其特征是：所述多工器(12)的低通滤波器(121)与带通滤波器(122)呈l型直角分布，低通滤波器(121)所在直线光路与带通滤波器(122)所在直线光路相互垂直。
3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨锦鹏，张亭，杨耀辉，韩顺利，于怡然，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十一研究所，
类型：发明
国别省市：
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