【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，具体而言，本专利技术涉及一种晶圆翻转装置。
技术介绍
1、半导体制造过程中，晶圆缺陷检测已经成为制造过程中不可或缺的一道工序，尤其对晶圆背面的缺陷检测。在进行晶圆背面的缺陷检测时，目前需要人工手动将晶圆翻转至背面进行缺陷检测；检测完成后，还需人工手动将晶圆翻回到晶圆正面，这降低了晶圆背面的缺陷检测的效率。
技术实现思路
1、本专利技术针对现有方式的缺点，提出一种晶圆翻转装置，晶圆翻转装置集成到半导体晶圆缺陷检测装置中，用于解决现有技术中存在的检测效率低的问题。
2、有鉴于此，本专利技术实施例提供一种晶圆翻转装置，用于对晶圆进行翻转，包括：翻转平台、夹持结构和第一驱动系统；所述夹持结构置于翻转平台上，用于夹持晶圆；所述第一驱动系统与所述翻转平台传动连接，用于驱动所述翻转平台翻转，以带动所述夹持结构夹持的晶圆翻转。
3、可选的，所述夹持结构包括第一夹持结构和第二夹持结构；所述第一夹持结构置于翻转平台上，用于承载所述晶圆；所述第二夹持结构置于翻转平台上，且与所述第一夹持结构相对；所述第二夹持结构相对所述第一夹持结构运动，以将所述晶圆夹持于所述第一夹持结构和第二夹持结构之间。
4、可选的，所述第一夹持结构包括位于同一平面上相对设置的至少两块第一夹持模块；所述第二夹持结构包括位于同一平面上相对设置的至少两块第二夹持模块。
5、可选的，所述第二夹持结构还包括用于带动所述第二夹持模块运动的第二驱动系统。
6、可
7、可选的，所述规整装置包括第三驱动系统及至少三个滑动轮，所述第三驱动系统驱动所述至少三个滑动轮以调整晶圆在所述第一夹持结构上的位置。
8、可选的，还包括：设置于所述翻转平台上的晶圆入口处的清洁装置，用于清洁晶圆的异物；置于所述翻转平台上的晶圆入口处的阻挡装置，用于防止晶圆从所述翻转平台上掉落。
9、可选的，所述阻挡装置包括前封板及带动前封板移动的第四驱动系统。
10、可选的，所述第一驱动系统包括动力装置、传送带及传动轴，所述动力装置通过所述传送带带动所述传动轴旋转，所述传动轴带动所述翻转平台翻转。
11、可选的，所述第一驱动系统包括极限传感器，用于探测所述触片的位置。
12、相应的，本专利技术还提供了一种晶圆翻转方法，应用于如上所述任一项所述的翻转装置，包括：在晶圆进入翻转平台后，将晶圆置于第一夹持结构上；通过规整装置调整晶圆在第一夹持结构上位置；使第二夹持结构相对第一夹持结构运动，将晶圆夹持于第一夹持结构和第二夹持结构之间，以固定晶圆；通过第一驱动系统动力装置带动翻转平台翻转，以带动第一夹持结构和第二夹持结构之间夹持的晶圆翻转。
13、采用上述技术方案，在翻转过程中晶圆不会脱落，保证了晶圆翻转的安全性，从而提高了晶圆良率及检测效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，用于对晶圆进行翻转，包括：翻转平台、夹持结构和第一驱动系统；
2.如权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述夹持结构包括第一夹持结构和第二夹持结构；
3.如权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述第一夹持结构包括位于同一平面上相对设置的至少两块第一夹持模块；所述第二夹持结构包括位于同一平面上相对设置的至少两块第二夹持模块。
4.如权利要求3所述的翻转装置，其特征在于，所述第二夹持结构还包括用于带动所述第二夹持模块运动的第二驱动系统。
5.如权利要求2-4任一项所述的翻转装置，其特征在于，还包括：规整装置、触片和检测系统；
6.如权利要求5所述的翻转装置，其特征在于，所述规整装置包括第三驱动系统及至少三个滑动轮，所述第三驱动系统驱动所述至少三个滑动轮以调整晶圆在所述第一夹持结构上的位置。
7.如权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，还包括：
8.如权利要求7所述的翻转装置，其特征在于，所述阻挡装置包括前封板及带动前封板移动的第四驱动系统。
9.如
10.如权利要求5所述的翻转装置，其特征在于，所述第一驱动系统包括极限传感器，用于探测所述触片的位置。
11.一种晶圆翻转方法，应用于权利要求1-10任一项所述的翻转装置，其特征在于，包括：在晶圆进入翻转平台后，将晶圆置于第一夹持结构上；通过规整装置调整晶圆在第一夹持结构上位置；使第二夹持结构相对第一夹持结构运动，将晶圆夹持于第一夹持结构和第二夹持结构之间，以固定晶圆；通过第一驱动系统带动翻转平台翻转，以带动第一夹持结构和第二夹持结构之间夹持的晶圆翻转。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，用于对晶圆进行翻转，包括：翻转平台、夹持结构和第一驱动系统；
2.如权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述夹持结构包括第一夹持结构和第二夹持结构；
3.如权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述第一夹持结构包括位于同一平面上相对设置的至少两块第一夹持模块；所述第二夹持结构包括位于同一平面上相对设置的至少两块第二夹持模块。
4.如权利要求3所述的翻转装置，其特征在于，所述第二夹持结构还包括用于带动所述第二夹持模块运动的第二驱动系统。
5.如权利要求2-4任一项所述的翻转装置，其特征在于，还包括：规整装置、触片和检测系统；
6.如权利要求5所述的翻转装置，其特征在于，所述规整装置包括第三驱动系统及至少三个滑动轮，所述第三驱动系统驱动所述至少三个滑动轮以调整晶圆在所述第一夹持结构上的位置。
7.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：李明瑞，卢蒙恩，
申请(专利权)人：魅杰光电科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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