辅助工装、处理设备及其使用方法技术

本申请涉及一种辅助工装、处理设备及其使用方法，辅助工装包括机架、安装座、升降组件和移动组件。安装座设置于机架，且沿机架的高度地方可升降设置。升降组件于安装座连接，用于驱动安装座升降。移动组件设于安装座，且被构造为可支撑放置于安装座上的管件相对安装座沿设定方向移动，设定方向被配置为与放置于安装座的管件的纵长方向相平行。应用于管件安装时，不仅可实现管件的升降，以适应各种高度的管件安装，而且在移动组件的支撑帮助下，管件能够较为轻松的移出安装座并进入相应的安装位置，大大节省了人力，提高了管件的安装效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及薄膜沉积，特别是涉及辅助工装、处理设备及其使用的方法。

技术介绍

1、处理设备是用于对位于自身设备腔体内部的工件进行处理的设置，处理设备可以是热处理设备、扩散设备、薄膜沉积设备等。

2、对于一些设备腔体，需要使用管件提供处理场所，管件通常选用但不限于石英管。管件沿设备腔体的高度方向通常布置有多根，对于安装高度较高的管件，由于管件的质量和体积较大，往往需要多名工人配合升降车辆完成其安装，管件安装效率不高且费力。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对处理设备在放置管件时安装效率低且费力的问题，提供一种辅助工装、处理设备及其使用的方法。

2、一种辅助工装，包括：

3、机架；

4、安装座，设置于所述机架，且沿所述机架的高度方向可升降设置；

5、升降组件，与所述安装座连接，用于驱动所述安装座升降；及

6、移动组件，设于所述安装座，且被构造为可支撑水平放置于所述安装件的管件相对所述安装座沿设定方向移动，所述设定方向被配置为与放置于所述安装座本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种辅助工装(100)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述移动组件(140)包括滑动辊(141)，所述滑动辊(141)滚动支撑位于所述安装座(120)的管件(300)。

3.根据权利要求2所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述滑动辊(141)的辊面设置有包胶层。

4.根据权利要求2所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述移动组件(140)包括多组所述滑动辊(141)，各组所述滑动辊(141)沿所述设定方向(x)间隔布置；每组所述滑动辊(141)均包括多个滑动辊(141)，同组的各所述滑动辊(141...

【技术特征摘要】

1.一种辅助工装(100)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述移动组件(140)包括滑动辊(141)，所述滑动辊(141)滚动支撑位于所述安装座(120)的管件(300)。

3.根据权利要求2所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述滑动辊(141)的辊面设置有包胶层。

4.根据权利要求2所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述移动组件(140)包括多组所述滑动辊(141)，各组所述滑动辊(141)沿所述设定方向(x)间隔布置；每组所述滑动辊(141)均包括多个滑动辊(141)，同组的各所述滑动辊(141)的辊面外相切于同一圆周。

5.根据权利要求1所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述安装座(120)包括沿所述设定方向(x)贯通设置的安装通道(t)，所述安装通道(t)用于插装管件(300)；

6.根据权利要求1所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述安装座(120)包括吊装部(122)和支撑部(121)，所述移动组件(140)设置于所述支撑部(121)；

7.根据权利要求6所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述升降组件(130)包括吊装绳(131)、滑轮(132)和驱动组件(133)，所述吊装绳(131)绕设于所述滑轮(132)，且其一端连接所述吊装部(122)，另一端收卷于所述驱动组件(133)，所述驱动组件(133)能够收放所述吊装绳(131)。

8.根据权利要求7所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述驱动组件(133)包括旋转电机(133a)、传动杆(133b)和滚筒(133c)，所述旋转电机(133a)经由所述传动杆(133b)驱动所述滚筒(133c)转动，所述滚筒(133c)用于收卷所述吊装绳(131)。

9.根据权利要求8所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述滚筒(133c)的数量为两个，所述旋转电机(133a)经由所述传动杆(133b)驱动两个所述滚筒(133c)同步转动，两个所述滚筒(133c)收卷不同的所述吊装绳(131)；和/或，

10.根据权利要求1所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述升降组件(130)的传动方式包括丝杆传动、同步带传动、齿轮齿条传动、链条传动中的至少一种。

11.根据权利要求1所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述辅助工装还包括控制装置，所述升降组件(130)包括动力件(130a)，所述动力件(130a)与所述安装座(120)连接，用于提供促使所述安装座(120)升降的动力；

12.根据权利要求1-11任一项所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述辅助工装(100)还包括防滑组件(160)，所述防滑组件(160)布置于所述安装座(120)；所述防滑组件(160)相对所述安装座(120)可在允许所述安装座(120)上的管件(300)沿所述设定方向(x)移动的状态、以及限制所述安装座(120)上的管件(300)沿所述设定方向(x)移动的状态之间切换。

13.根据权利要求12所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述防滑组件(160)包括止动件(161)，所述止动件(161)相对所述安装座(120)可升降，且在升降过程中可在止挡所述管件(300)的位置和避让所述管件(300)的位置之间切换；

14.根据权利要求13所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述止动件(161)具有摩擦面，所述止动件(161)位于止挡所述管件(300)的位置时，所述摩擦面摩擦接触并止动所述管件(300)。

15.根据权利要求1-11任一项所述的辅助工装(100)，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞珍闯，丁松，李挺，徐兴文，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：