一种激光刻写控制装置及控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种激光刻写控制装置及控制方法，涉及光学与电气控制技术领域，控制部件控制旋转部件带动波片旋转，使通过波片的激光变为第一偏振态激光，并控制移动部件带动基片移动，在移动过程中通过控制遮挡部件，使得第一偏振态激光仅对基片上偏振态方向为第一方向的待刻写位置点进行刻写，控制部件控制旋转部件带动波片旋转，使通过波片的激光变为第二偏振态激光，并控制移动部件带动基片移动，在移动过程中通过控制遮挡部件，使得第二偏振态激光仅对基片上偏振态方向为第二方向的待刻写位置点进行刻写，从而能够对激光的偏振态进行控制，采用不同偏振态的激光对基片上的不同位置点进行刻写，以对基片进行改性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学与电气控制，特别是涉及一种激光刻写控制装置及控制方法。

技术介绍

1、随着科学技术的不断发展，对基片进行加工，以改变基片的光学性质，具有很广泛的应用场景。但是，目前缺少对激光的偏振态进行调节，以改变基片的性质的控制方案。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种激光刻写控制装置及控制方法，能够对激光的偏振态进行控制，以对基片进行改性。

2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：

3、一种激光刻写控制装置，包括：控制部件、激光照射部件、移动部件、旋转部件和遮挡部件；

4、所述激光照射部件用于发出激光；

5、所述移动部件上固定有基片，所述移动部件用于带动所述基片移动；

6、所述旋转部件位于所述激光照射部件和所述移动部件之间；所述旋转部件上固定有波片，所述旋转部件用于带动所述波片旋转；

7、所述遮挡部件位于所述激光照射部件和所述旋转部件之间或位于所述旋转部件和所述移动部件之间；

8、所述控制部件存储有所述基本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光刻写控制装置，其特征在于，包括：控制部件、激光照射部件、移动部件、旋转部件和遮挡部件；

2.根据权利要求1所述的一种激光刻写控制装置，其特征在于，所述激光照射部件包括激光器和物镜；所述激光器用于发出激光，所述激光通过所述物镜照射在所述基片上；

3.根据权利要求1所述的一种激光刻写控制装置，其特征在于，所述控制部件包括工业计算机、运动控制器和方波控制器；所述工业计算机用于生成并存储所述基片上每一待刻写位置点的偏振态方向；所述运动控制器用于采集所述移动部件的移动信息，并在所述基片上的待刻写位置点位于目标位置点时，发出脉冲触发信号；所述方波控制器用于在接收到...

【技术特征摘要】

1.一种激光刻写控制装置，其特征在于，包括：控制部件、激光照射部件、移动部件、旋转部件和遮挡部件；

2.根据权利要求1所述的一种激光刻写控制装置，其特征在于，所述激光照射部件包括激光器和物镜；所述激光器用于发出激光，所述激光通过所述物镜照射在所述基片上；

3.根据权利要求1所述的一种激光刻写控制装置，其特征在于，所述控制部件包括工业计算机、运动控制器和方波控制器；所述工业计算机用于生成并存储所述基片上每一待刻写位置点的偏振态方向；所述运动控制器用于采集所述移动部件的移动信息，并在所述基片上的待刻写位置点位于目标位置点时，发出脉冲触发信号；所述方波控制器用于在接收到所述脉冲触发信号后，判断位于目标位置点的待刻写位置点是第一位置点还是第二位置点，以对所述遮挡部件进行控制。

4.根据权利要求2所述的一种激光刻写控制装置，其特征在于，还包括z轴位移台；所述z轴位移台上固定有所述物镜；所述z轴位移台用于带动所述物镜移动，以调节所述物镜和所述基片之间的间距。

5.一种激光刻写控制方法，控制权利要求1-4任一项所述的激光刻写控制装置进行工作，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢吕平，杨阳，李晓春，
申请(专利权)人：长沙麓邦光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：