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【技术实现步骤摘要】
本公开是有关于感测装置以及感测装置的制作方法,且特别是有关于可简化制程的感测装置的制作方法。
技术介绍
1、光学感测装置广泛地应用于智能型手机、穿戴式装置等消费电子产品,已成为现代社会不可或缺的必需品。随着这类消费电子产品的蓬勃发展,消费者对这些产品的质量、功能及价格抱有很高的期望。
2、光学感测装置中的感光组件可将接收的光线转换为电信号,产生的电信号可传输至光学感测装置中的驱动组件以及逻辑电路等进行处理以及分析。
3、为了改善感测装置的效能,发展出可进一步简化制作流程或降低成本的感测装置的制作方法(例如,减少使用的光罩数目以及步骤等)仍为目前业界致力研究的课题之一。
技术实现思路
1、根据本公开一些实施例,提供一种感测装置,包含基板、电路层、感光组件、遮光层以及导电层,电路层设置于基板上,感光组件设置于基板上且与电路层电性连接,遮光层设置于感光组件上且具有开口,开口与感光组件重叠,导电层设置于遮光层上,且导电层穿过开口并与感光组件电性连接。
2、根据本公开一些实施例,提供一种感测装置的制作方法,包含:提供基板;形成电路层于基板上;形成感光组件于电路层上;形成第一绝缘层于感光组件上;形成遮光层于第一绝缘层上;于遮光层中形成开口,开口重叠与感光组件重叠;透过开口图案化第一绝缘层,以暴露出感光组件;以及形成导电层于遮光层上,且导电层穿过开口并与感光组件电性连接。
3、为让本公开的特征或优点能更明显易懂,下文特举出一些实施例,并配合所附附图
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种感测装置,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,该遮光层包括一金属材料,且该遮光层与该导电层电性连接。
3.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,该遮光层(包括一有机材料,且该遮光层与该导电层接触。
4.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,该电路层包括一薄膜晶体管,且该感光组件与该薄膜晶体管的一源极电极或一漏极电极重叠。
5.如权利要求4所述的感测装置,其特征在于,该感光组件与该薄膜晶体管的该源极电极或该漏极电极接触。
6.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,更包括一透明导电层,设置于该感光组件与该导电层之间。
7.如权利要求6所述的感测装置,其特征在于,于该感测装置的一剖面中,该透明导电层的一第一边缘与该感光组件的一第一边缘彼此相邻且相隔一第一距离。
8.如权利要求6所述的感测装置,其特征在于,该感光组件具有一凹槽,该凹槽至少部分地环绕该透明导电层。
9.如权利要求6所述的感测装置,其特征在于,该导电层设置于该透明导电层上且与该透明导电层电
10.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,更包括一绝缘层,该绝缘层设置于该电路层上,且该感光组件包括一第一型态半导体层、一第二型态半导体层以及设置于该第一型态半导体层与该第二型态半导体层之间的一本质半导体层,其中一部分的该绝缘层设置于该第一型态半导体层与该本质半导体层之间。
11.如权利要求10所述的感测装置,其特征在于,该绝缘层具有多个开口,且该本质半导体层穿过该多个开口与该第一型态半导体层接触。
12.一种感测装置的制作方法,其特征在于,包括:
13.如权利要求12所述的感测装置的制作方法,其特征在于,形成该感光组件于该电路层上的步骤包括:
14.如权利要求13所述的感测装置的制作方法,其特征在于,更包括:
15.如权利要求14所述的感测装置的制作方法,其特征在于,该导电层形成于该透明导电层上且一部分的该导电层形成于该凹槽中。
16.如权利要求13所述的感测装置的制作方法,其特征在于,于形成该本质半导体层于该第一型态半导体层上之后,更包括:
17.如权利要求13所述的感测装置的制作方法,其特征在于,更包括:
...【技术特征摘要】
1.一种感测装置,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,该遮光层包括一金属材料,且该遮光层与该导电层电性连接。
3.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,该遮光层(包括一有机材料,且该遮光层与该导电层接触。
4.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,该电路层包括一薄膜晶体管,且该感光组件与该薄膜晶体管的一源极电极或一漏极电极重叠。
5.如权利要求4所述的感测装置,其特征在于,该感光组件与该薄膜晶体管的该源极电极或该漏极电极接触。
6.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,更包括一透明导电层,设置于该感光组件与该导电层之间。
7.如权利要求6所述的感测装置,其特征在于,于该感测装置的一剖面中,该透明导电层的一第一边缘与该感光组件的一第一边缘彼此相邻且相隔一第一距离。
8.如权利要求6所述的感测装置,其特征在于,该感光组件具有一凹槽,该凹槽至少部分地环绕该透明导电层。
9.如权利要求6所述的感测装置,其特征在于,该导电层设置于该透明导电层上且与该透明导电层电性连接,且一部分的该导电层设置于该凹槽...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘侑宗,杨蕙菁,谢承学,李淂裕,
申请(专利权)人:群创光电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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