【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆制造，特别是涉及一种运送装置及外延炉。
技术介绍
1、晶圆生产需要用到外延炉对衬底进行外延生长处理。外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，新淀积的这层称为外延层。在此过程中，需将衬底移动至外延炉的反应室中，反应室制备外延层，形成外延片，外延片从反应室中被取出，衬底和外延片需要在多个工位之间转移。相关技术中，在外延片和衬底转移的过程中，没有对外延片进行有效保护，外延片直接暴露在外延炉中，由于在生产过程中，外延炉中会产生漂浮物和掉落物等污染物，污染物与外延片接触会使外延片产生不良，导致外延片的成品质量差。
技术实现思路
1、本技术实施例的目的在于提供一种运送装置及外延炉，以以降低在外延片转移过程中，外延炉中的污染物与外延片接触的概率，从而提高外延片质量。具体技术方案如下：
2、本申请第一方面的实施例提出了一种运送装置，用以运送外延片或衬底，所述运送装置包括：运送机构和防尘结构；所述防尘结构包括罩体和伸缩框架；所述罩体内部形成有用以容纳放置有外延片或衬底的托盘的容纳空间，所述罩体相对的两端具有第一开口和第二开口；所述伸缩框架设置在所述罩体的第一开口侧；所述伸缩框架的第一端与所述罩体固定连接，所述伸缩框架的第二端为活动端；所述运送机构包括夹持结构和推拉杆；所述夹持结构用于夹持所述托盘；所述推拉杆的第一端与所述夹持结构固定连接，所述推拉杆的第二端穿过所述伸缩框架的活动端，与外部驱动机构连接；所述推拉杆与所述伸缩框架的活动端固定连接；所述推拉杆用于在所述外部驱动机构
3、在本申请的一些实施例中，所述伸缩框架包括：伸缩组件和连接板；
4、所述连接板与所述罩体的第一开口相对设置；所述连接板与所述推拉杆固定连接；
5、所述伸缩组件设置在所述罩体和所述连接板之间；所述伸缩组件的第一端与所述罩体固定连接，第二端与所述连接板滑动连接。
6、在本申请的一些实施例中，所述第一开口和所述第二开口之间的连接线方向为第一方向；
7、所述伸缩组件包括：导向杆和弹性件；
8、所述导向杆沿所述第一方向延伸；所述导向杆的第一端与所述罩体固定连接，第二端与所述连接板滑动连接；所述连接板上设有连接孔，所述导向杆滑动设置在所述连接孔内；
9、所述弹性件套设在所述导向杆的外部，并位于所述罩体和所述导向杆之间。
10、在本申请的一些实施例中，所述伸缩框架还包括：直线轴承；
11、所述直线轴承设置在所述连接板的连接孔内，并与所述连接板固定连接；
12、所述导向杆穿设在所述直线轴承内，并与所述直线轴承滑动连接。
13、在本申请的一些实施例中，所述夹持结构的尺寸，小于所述罩体的第二开口的尺寸，且大于所述罩体的第一开口的尺寸。
14、在本申请的一些实施例中，所述罩体的形状为长方体；
15、所述罩体的材质为陶瓷或石英。
16、在本申请的一些实施例中，所述运送机构为机械手；
17、所述机械手包括：抓取部和机械臂；该抓取部设置有所述夹持结构，该机械臂设置有所述推拉杆；
18、所述连接板上设有通孔；所述机械臂穿设在所述通孔内，并与所述连接板固定连接。
19、在本申请的一些实施例中，所述运送装置还包括：除尘组件；
20、所述除尘组件包括除尘管和供气装置；
21、所述除尘管具有进气口和出气口；所述除尘管的进气口与所述供气装置连接；所述除尘管的出气口设置在所述罩体的第一开口处；
22、所述供气装置用以将气体通过所述除尘管吹入所述罩体内，并在所述罩体内产生从所述罩体的第一开口流向所述第二开口的气流。
23、本申请第二方面的实施例提出了一种外延炉，包括第一方面任一实施例所述的运送装置。
24、在本申请的一些实施例中，外延炉还包括：运送装置腔、反应室和放料腔；
25、所述运送装置腔设置在所述反应室和所述放料腔之间；
26、所述运送装置设置在所述运送装置腔内；所述运送装置腔具有供所述运送装置伸出的两个开口结构；所述两个开口结构分别与外延炉的反应室的入口和所述放料腔相对设置。
27、本专利技术实施例有益效果：
28、本申请的运送装置包括运送机构和防尘结构；防尘结构包括罩体和伸缩框架；运送机构包括夹持结构和推拉杆；伸缩框架的第一端与罩体固定连接，伸缩框架的第二端为活动端；推拉杆与伸缩框架的活动端固定连接；因此，推拉杆可以带动伸缩框架移动，即防尘结构可以随着运送机构移动。推拉杆用于在外部驱动机构的带动下，推动夹持结构、托盘和防尘结构向反应室或放料腔移动，在罩体被反应室或放料腔的入口阻挡后，顶推伸缩框架的活动端，并继续推动夹持结构将放置有衬底的托盘送入反应室。
29、即在衬底向反应室转移的过程中，衬底始终在罩体的容纳空间内，直至罩体被反应室的入口阻挡，罩体停止移动；推拉杆向反应室继续移动，伸缩框架被逐渐压缩，衬底随运送机构离开罩体进入反应室的内部；运送机构的夹持结构将衬底放入反应室内；反应室制备完成后，形成外延片，运送机构的夹持结构进入反应室取出外延片，外延片随夹持结构向反应室外移动，此时，罩体受到伸缩框架的弹性力的作用，被压在反应室的入口处；在外延片随夹持结构进入罩体的过程中，伸缩框架逐渐伸长，直至外延片完全进入到罩体内，伸缩组件被完全释放；推拉杆继续向远离反应室的方向移动，罩体随运送机构移动至指定位置。本申请的运送装置，通过设置伸缩框架实现衬底或外延片和运送装置的分离和启用，在转移过程中，衬底和外延片全程处于罩体的容纳空间内，降低了外延炉中的污染物与外延片和衬底接触的概率，从而提高了外延片质量。
30、本申请的外延炉包括第一方面任一实施例的运送装置。运送装置通过设置伸缩框架实现衬底或外延片和运送装置的分离和启用，在转移过程中，衬底和外延片全程处于罩体的容纳空间内，降低了外延炉中的污染物与外延片和衬底接触的概率，从而提高了外延片的质量。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种运送装置，其特征在于，用以运送外延片(40)或衬底(60)，所述运送装置包括：运送机构(100)和防尘结构(200)；
2.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在于，所述伸缩框架(220)包括：伸缩组件(221)和连接板(222)；
3.根据权利要求2所述的运送装置，其特征在于，所述第一开口和所述第二开口之间的连接线方向为第一方向；
4.根据权利要求3所述的运送装置，其特征在于，所述伸缩框架(220)还包括：直线轴承(223)；
5.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在于，所述夹持结构(110)的尺寸，小于所述罩体(210)的第二开口的尺寸，且大于所述罩体(210)的第一开口的尺寸。
6.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在于，所述罩体(210)的形状为长方体；
7.根据权利要求2所述的运送装置，其特征在于，所述运送机构(100)为机械手；
8.根据权利要求1至7任一项所述的运送装置，其特征在于，所述运送装置还包括：除尘组件(300)；
9.一种外延炉，其特征在于，包括权利
10.根据权利要求9所述的外延炉，其特征在于，还包括：运送装置腔(20)、反应室(30)和放料腔(70)；
...【技术特征摘要】
1.一种运送装置，其特征在于，用以运送外延片(40)或衬底(60)，所述运送装置包括：运送机构(100)和防尘结构(200)；
2.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在于，所述伸缩框架(220)包括：伸缩组件(221)和连接板(222)；
3.根据权利要求2所述的运送装置，其特征在于，所述第一开口和所述第二开口之间的连接线方向为第一方向；
4.根据权利要求3所述的运送装置，其特征在于，所述伸缩框架(220)还包括：直线轴承(223)；
5.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在于，所述夹持结构(110)的尺寸，小于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾庆森，林逸，陈蛟，
申请(专利权)人：广州粤升半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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