一种背包式连续精馏制备硅烷的方法技术

本发明专利技术涉及一种背包式连续反应精馏制备硅烷的方法，反应器独立设置，催化剂安装与更换可以做到在线密闭操作，过程更加安全，且反应器可独立控温，提高精馏塔操作压力，取消硅烷增压过程，避免动设备潜在泄漏点，提供了一种更加安全可靠的硅烷制备方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于硅系化学品合成技术，尤其涉及一种背包式连续精馏制备硅烷的方法。

技术介绍

1、硅烷是电子气体中应用最广、影响最大的气体品种，因为硅烷易燃、易爆、纯度要求很高，技术难度很大，所以硅烷也是一个国家气体实力的重要标志之一。

2、硅烷可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅等多种金属硅化物，因其高纯度和能实现精细控制，成为许多其他硅源无法取代的重要电子特种气体。

3、目前，硅烷的制备方法主要为氯硅烷歧化法：以三氯氢硅为原料，连续发生三步歧化反应，第一步歧化反应为三氯氢硅反应生成二氯二氢硅和四氯化硅，第二步歧化反应为二氯二氢硅反应生成一氯三氢硅和三氯氢硅，第三步歧化反应为一氯三氢硅反应生成硅烷和二氯二氢硅。

4、实现以上三步歧化反应的过程主要有固定床工艺和反应精馏工艺两种，其中固定床工艺设计两级固定床反应器，第一级固定床反应器发生第一步歧化反应，第二级固定床反应器发生第二步和第三步歧化反应，配套组分分离塔后可实现反应产物的分离与循环。

5、反应精馏工艺主要有以下几种实现方式：公开专利cn10本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种背包式连续反应精馏制备硅烷的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述三氯氢硅(S1)原料是三氯氢硅浓度95～100％的混合氯硅烷。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述精馏塔(T1)操作压力1000-2500kpag，塔顶操作温度-56～-27℃，塔底操作温度156～210℃。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一背包反应器(R1)和第二背包反应器(R2)催化剂是碱性离子交换树脂。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一背包反应器(R1)和第二背包反应器(R2)反应...

【技术特征摘要】

1.一种背包式连续反应精馏制备硅烷的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述三氯氢硅(s1)原料是三氯氢硅浓度95～100％的混合氯硅烷。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述精馏塔(t1)操作压力1000-2500kpag，塔顶操作温度-5...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：天津科技大学，
类型：发明
国别省市：