【技术实现步骤摘要】
本公开涉及计算机,尤其涉及量子计算机、量子芯片、量子仿真。
技术介绍
1、众所周知,量子比特的比特频率是超导量子芯片最核心的特征参数之一,其具体取值除了与外电路层有关,还取决于目标器件的参数,比如,取决于约瑟夫森结的结面积。然而在实践中,微纳加工并不能保证制备出的目标器件,比如约瑟夫森结的参数与设计目标值相吻合。因此,需要预先制备一系列不同参数值的测试结构,比如,制备一系列不同结面积的约瑟夫森测试结,因此,如何高效地完成这一任务是量子芯片(比如超导量子芯片)的设计阶段所需面临的一个挑战。
技术实现思路
1、本公开提供了一种晶圆版图生成方法、装置、设备及存储介质。
2、根据本公开的一方面,提供了一种晶圆版图生成方法,包括:
3、确定测试结构中的目标器件构型;其中,所述测试结构用于测量所述目标器件构型所对应的特征参数值;所述目标器件构型的几何参数的取值能够影响所述目标器件构型所对应的特征参数值;所述目标器件构型具有多个几何参数;
4、确定n个目标参数的参数变
...【技术保护点】
1.一种晶圆版图生成方法,包括:
2.根据权利要求1所述的方法,还包括:
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述生成晶圆版图,包括:
4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述基于所述N个目标参数中各目标参数的第i取值,得到第i测试结构,以生成包括第i测试结构的晶圆版图,包括:
5.根据权利要求3或4所述的方法,其中,所述生成包括第i测试结构的晶圆版图,包括:
6.根据权利要求1-5任一项所述的方法,还包括:
7.根据权利要求1-6任一项所述的方法,还包括:
8.根据权利要求1-6
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆版图生成方法,包括:
2.根据权利要求1所述的方法,还包括:
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述生成晶圆版图,包括:
4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述基于所述n个目标参数中各目标参数的第i取值,得到第i测试结构,以生成包括第i测试结构的晶圆版图,包括:
5.根据权利要求3或4所述的方法,其中,所述生成包括第i测试结构的晶圆版图,包括:
6.根据权利要求1-5任一项所述的方法,还包括:
7.根据权利要求1-6任一项所述的方法,还包括:
8.根据权利要求1-6任一项所述的方法,还包括:
9.根据权利要求1-8任一项所述的方法,其中,所述晶圆版图包括多个测试结组;其中,所述多个测试结组中的测试结组包括所述m个测试结构;不同测试结组位于所述晶圆版图中的不同位置。
10.根据权利要求1-9任一项所述的方法,其中,所述目标器件构型包括目标器件,以及用于承载所述目标器件的承载结构。
11.根据权利要求10所述的方法,其中,所述目标器件为约瑟夫森结。
12.根据权利要求1-11任一项所述的方法,其中,所述目标器件构型与形成量子比特所需的目标器件构型相关;
13.根据权利要求12所述的方法,其中,所述测试结构中包含有至少两个检测区域;所述至少两个检测区域中各检测区域用于放置检测探针,以形成检测回路,得到所述目标器件构型所对应的特征参数值。
14.根据权利要求13所述的方法,其中,所述检测区域的有效面积大于量子比特中放置检测探针的有效区域的区域面积。
15.一种晶圆版图生成装置,包括:
16.根据权利要求15所述的装置,还包括:
17.根据权利要求15或16所述的装置,其中,所述版图生成单...
【专利技术属性】
技术研发人员:李明珅,晋力京,
申请(专利权)人:北京百度网讯科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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