密封推拉门机构以及半导体设备制造技术

本技术提供了一种密封推拉门机构以及半导体设备，密封推拉门机构包括：门板，设置有开口；驱动组件，设置于门板上；活动门，设置为在驱动组件的驱动作用下靠近或远离开口，以封闭或打开开口；以及气囊密封件，设置在门板与活动门之间，且气囊密封件设置为在活动门封闭开口后受控充气以密封活动门与门板。本技术通过在门板上设置开口，能够使得门板两侧可以连通；在门板上设置受驱动组件驱动靠近或远离开口的活动门，可以封闭或打开开口，以使得门板两侧连通或封闭；通过在活动门与门板之间设置气囊密封件，在活动门封闭开口后充入流体，从而密封活动门与门板，阻断门板两侧之间的气流。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体制造，尤其是涉及一种密封推拉门机构以及半导体设备。

技术介绍

1、半导体设备的两个腔室之间的连通处或两个半导体设备之间的连通处，在常规状态下需要阻断二者之间的连通处以实现密封，密封需要极高的气密性；在二者之间需要进行物体传递时，还需要打开二者之间的连通处，以使得物体能顺利传递。

2、现有的自动门密封机构一般采用导向槽加电机驱动的方式驱动自动门移动，并利用导向槽的弯曲来实现两个面的密封，这种方式虽然实现的自动门两侧的相对封闭，能阻碍部分固体通过，但其气密性不佳，无法有效的阻止自动门两侧气体的自由流动。

3、有鉴于此，特提出本技术。

技术实现思路

1、本申请提供了一种密封推拉门机构以及半导体设备，以解决现有的密封机构在具备气密性的同时无法实现两侧连通的技术问题。

2、本技术提供了一种密封推拉门机构，包括：门板，设置有开口；驱动组件，设置于门板上；活动门，设置为在驱动组件的驱动作用下靠近或远离开口，以封闭或打开开口；以及气囊密封件，设置在门板与活动门之间，且气囊密封件设置为在活动门封闭开口后受控充入流体以密封活动门与门板。

3、在该方案中，在门板上设置开口，能够使得门板两侧可以连通；在门板上设置受驱动组件驱动靠近或远离开口的活动门，可以封闭或打开开口，以使得门板两侧连通或封闭；通过在活动门与门板之间设置气囊密封件，在活动门封闭开口后充入流体，密封活动门与门板，从而阻断门板两侧之间的气流。

4、在本技术的进一步方案中，气囊密封件设置在门板上和/或活动门上。

5、在该方案中，通过将气囊密封件设置在门板和/或活动门上，当活动门封闭开口时，使气囊密封件充气即可密封门板与活动门之间连接。

6、在本技术的进一步方案中，密封推拉门机构还包括导向组件，导向组件设置在门板上；活动门与导向组件滑动连接并在驱动组件的驱动作用下沿导向组件滑动，以靠近或远离开口。

7、在该方案中，通过在门板上设置导向组件，并使导向组件滑动连接活动门，使得活动门在受驱动组件驱动时，能够沿导向组件进行滑动，以限定活动门的移动方向，从而能够确保活动门刚好能够封闭开口，避免了因为活动门移动方向偏移造成无法封堵开口的问题。

8、在本技术的进一步方案中，活动门包括：门体部，连接于驱动组件；以及滑动部，连接于门体部并设有滑动通道，且滑动部通过滑动通道滑动连接于导向组件，以使活动门沿导向组件滑动。

9、在该方案中，活动门包括门体部和滑动部两部分，门体部受到驱动组件驱动以封闭或打开开口，滑动部上设置有滑动通道，滑动通道滑动连接导向组件，以此使门体部在受驱动组件驱动时，滑动部与导向组件相互配合以限制门体部的运动方向，从而可以使活动门朝向开口或者远离开口运动，避免了因为活动门移动方向偏移造成无法封堵开口的问题。

10、在本技术的进一步方案中，导向组件包括：限位座，设置于门板上并用于限制活动门的活动范围；以及导向杆，设置于限位座上并滑动连接于活动门。

11、在该方案中，通过在门板上设置限位座，并在限位座上设置滑动连接活动门的导向杆，从而使活动门能够沿着导向杆的方向运动，同时，限位座能够限制活动门的活动范围，在运动到既定位置时，相当于活动门封闭住门板上的开口时，限位座限制活动门继续移动，从而使得活动门能够准确的封闭开口。

12、在本技术的进一步方案中，导向组件成对设置，且成对中的两个导向组件分别设置于活动门的两侧并滑动连接于活动门；和/或每个导向组件中的限位座成对设置，且成对中的两个限位座间隔设置于门板，导向杆设置于成对中的两个限位座之间。

13、在该方案中，通过在活动门的两侧各设置一个导向组件，能够使得活动门的移动过程更为平稳，通过使限位座成对设置，能够限制活动门的活动范围，同时能够避免活动门从导向组件脱出。

14、在本技术的进一步方案中，驱动组件包括：驱动件与伸缩臂，伸缩臂连接于活动门并在驱动件的驱动作用下伸长或缩回。

15、在该方案中，伸缩臂受驱动件驱动来回伸缩，从而能够带动位于伸缩臂上的活动门来回运动，即可实现活动门朝向门板运动或者远离门板的效果。

16、在本技术的进一步方案中，驱动组件还包括：固定座，设置在门板上、用于固定驱动件；以及连接件，设置在气臂上、用于连接活动门。

17、在该方案中，通过在门板上设置固定座以提高驱动组件的稳定性，通过在气臂上设置连接件便于活动门拆卸检修。

18、在本技术的进一步方案中，门板包括：框架；板体，设置于框架中并开设有开口；以及多个加强杆，设置于板体上并连接于框架。

19、在该方案中，通过在板体上设置框架以及加强杆，能够提高整个门板的强度，板体本身能够起到阻断门板两侧的效果，通过在门板上设置开口以连通门板两侧。

20、在本技术的进一步方案中，驱动组件和导向组件均设置于加强杆上；板体与框架的对应部分以及对应的加强杆围成有凹槽，凹槽位于开口外侧，气囊密封件设置于凹槽中。

21、在该方案中，通过将驱动组件与导向组件设置在加强杆上，以提高整个密封推拉门机构的稳定性，同时将气囊密封件设置在凹槽中，便于气囊密封件的安装。

22、在本技术的进一步方案中，开口的边沿均设置有加强杆或开口的边沿设置有框架和加强杆。

23、本技术第二方面提供了一种半导体设备，包括本技术第一方面提供的密封推拉门机构以及充气机构；门板上的开口设置为在活动门打开开口后用于供硅片通过；充气机构用于对气囊密封件进行充气以密封活动门与门板。

24、综上所述，本申请提供的密封推拉门机构以及半导体设备至少具有以下有益效果：

25、本技术通过在门板上设置开口，能够使得门板两侧可以连通；在门板上设置受驱动组件驱动靠近或远离开口的活动门，可以封闭或打开开口，以使得门板两侧连通或封闭；通过在活动门与门板之间设置气囊密封件，在活动门封闭开口后充入流体，从而密封活动门与门板，阻断门板两侧之间的气流。

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【技术保护点】

1.一种密封推拉门机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的密封推拉门机构，其特征在于，所述气囊密封件(40)设置在所述门板(10)上和/或所述活动门(30)上。

3.根据权利要求1所述的密封推拉门机构，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的密封推拉门机构，其特征在于，所述活动门(30)包括：

5.根据权利要求3所述的密封推拉门机构，其特征在于，所述导向组件(50)包括：

6.根据权利要求5所述的密封推拉门机构，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的密封推拉门机构，其特征在于，所述驱动组件(20)包括：驱动件(21)与伸缩臂(22)，所述伸缩臂(22)连接于所述活动门(30)并在所述驱动件(21)的驱动作用下伸长或缩回。

8.根据权利要求3所述的密封推拉门机构，其特征在于，所述门板(10)包括：

9.根据权利要求8所述的密封推拉门机构，其特征在于，

10.一种半导体设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的密封推拉门机构以及充气机构；

【技术特征摘要】

1.一种密封推拉门机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的密封推拉门机构，其特征在于，所述气囊密封件(40)设置在所述门板(10)上和/或所述活动门(30)上。

3.根据权利要求1所述的密封推拉门机构，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的密封推拉门机构，其特征在于，所述活动门(30)包括：

5.根据权利要求3所述的密封推拉门机构，其特征在于，所述导向组件(50)包括：

6.根据权利要求5所述的密封推拉门机构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱常兴，赵文斌，蒋健君，王志康，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：新型
国别省市：