【技术实现步骤摘要】
本公开涉及缺陷检查装置和用于检查缺陷的方法。
技术介绍
1、自动光学检查(aoi)是一种借助于利用计算机的图像处理来光学地捕获对象的外观并确定或预测对象是否有缺陷的检查方法或检查装置。诸如半导体封装件、显示面板和印刷电路板(pcb)的电子部件或电子器件通过微细加工来制造，因此其视觉检查可能是困难的。自动光学检查(aoi)是通过应用图像处理技术而进行的外部检查工作的机械自动化。
2、可以通过自动光学检查(aoi)来检查诸如对象裂纹、大小、孔或通孔大小、导体节距、布线尺寸、器件位置、平坦化、焊接不良、异物、奇异点等的各种缺陷。
3、在通过自动光学检查(aoi)进行缺陷检查之后，可以通过利用复检图像的自动缺陷分类(adc)来对缺陷的存在或不存在、缺陷的类型、缺陷的程度等进行分类。然而，可能难以通过自动光学检查(aoi)和自动缺陷分类(adc)根据缺陷的高度来区分缺陷。
4、在本
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部分中公开的以上信息仅用于增强对
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的理解，因此其可能包含不形成本领域普通技术人员在本国已知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、实施例提供了可以通过获得并添加缺陷的高度数据而无需额外的处理步骤来确保缺陷分类一致性的缺陷检查装置和用于检查缺陷的方法。
2、根据一个或多个实施例的缺陷检查装置包括：检查装置，用于通过对对象进行线扫描来检测缺陷，并且用于生成缺陷的复检图像数据；高度测量器，用于获得缺陷的参考高度和缺陷的高度，并且用于生成缺陷的高度数据；以及缺陷分
3、高度测量器可以被配置为通过利用光学三角测量方法的自动聚焦方法来测量参考高度，并且可以被配置为通过对比度检测自动聚焦方法来测量缺陷的高度。
4、高度测量器可以被配置为当检查装置对对象进行线扫描时测量参考高度。
5、高度测量器可以被配置为当检查装置对缺陷进行成像时测量缺陷的高度。
6、检查装置可以被配置为使用区域扫描相机来对缺陷进行成像，并且高度测量器可以被配置为使用该区域扫描相机来检测缺陷的对比度。
7、检查装置可以包括用于在沿扫描方向移动的同时执行线扫描的检查光学模块，高度测量器可以包括用于测量参考高度的测量光学模块，并且测量光学模块可以被配置为与检查光学模块一起沿扫描方向移动。
8、测量光学模块可以包括激光自动聚焦模块。
9、缺陷检查装置可以进一步包括用于支撑对象的载物台以及被配备有检查光学模块和测量光学模块的门架。
10、检查装置可以构成自动光学检查系统，并且缺陷分类器可以构成自动缺陷分类系统。
11、复检图像数据可以包括2d图像数据。
12、根据一个或多个实施例的用于检查缺陷的方法包括：通过对对象进行线扫描来检测缺陷；测量缺陷的参考高度；通过对缺陷进行成像来生成复检图像数据；测量缺陷的高度；生成缺陷相对于参考高度的高度数据；以及基于复检图像数据和高度数据对缺陷进行分类。
13、测量缺陷的参考高度可以包括利用光学三角测量方法的自动聚焦方法，并且测量缺陷的高度可以包括对比度检测自动聚焦方法。
14、测量参考高度可以在对对象进行线扫描期间。
15、测量缺陷的高度可以在对缺陷进行成像期间执行。
16、该方法可以进一步包括使用区域扫描相机检测缺陷的对比度，并且对缺陷成像可以包括使用该区域扫描相机。
17、对对象进行线扫描可以在沿扫描方向移动检查光学模块的同时执行，并且测量缺陷的参考高度可以由与检查光学模块一起沿扫描方向移动的测量光学模块来执行。
18、测量缺陷的参考高度可以由激光自动聚焦模块执行。
19、检测缺陷可以由自动光学检查系统执行，并且对缺陷进行分类可以由自动缺陷分类系统执行。
20、复检图像数据可以包括2d图像数据。
21、根据实施例，可以提供可以通过添加缺陷的高度数据来确保缺陷分类一致性的缺陷检查装置和用于检查缺陷的方法。缺陷的高度数据可以在无需额外的处理的情况下获得，并且随着缺陷分类准确性的提高，可以减少不必要的修复过程，且可以提高处理效率。
22、此外，除非另外陈述，否则实施例可以提供在整个说明书中可以认识到的效果。
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1.一种缺陷检查装置，包括：
2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述高度测量器被配置为通过利用光学三角测量方法的自动聚焦方法来测量所述参考高度，并且被配置为通过对比度检测自动聚焦方法来测量所述缺陷的所述高度。
3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其中，所述高度测量器被配置为当所述检查装置对所述对象进行线扫描时测量所述参考高度。
4.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其中，所述高度测量器被配置为当所述检查装置对所述缺陷进行成像时测量所述缺陷的所述高度。
5.根据权利要求4所述的缺陷检查装置，其中，所述检查装置被配置为使用区域扫描相机来对所述缺陷进行成像，并且
6.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述检查装置包括用于在沿扫描方向移动的同时执行所述线扫描的检查光学模块，
7.根据权利要求6所述的缺陷检查装置，其中，所述测量光学模块包括激光自动聚焦模块。
8.根据权利要求6所述的缺陷检查装置，进一步包括：
9.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述检查装置构成自动光学
10.根据权利要求1至9中任一项所述的缺陷检查装置，其中，所述复检图像数据包括2D图像数据。
...【技术特征摘要】
1.一种缺陷检查装置，包括：
2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述高度测量器被配置为通过利用光学三角测量方法的自动聚焦方法来测量所述参考高度，并且被配置为通过对比度检测自动聚焦方法来测量所述缺陷的所述高度。
3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其中，所述高度测量器被配置为当所述检查装置对所述对象进行线扫描时测量所述参考高度。
4.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其中，所述高度测量器被配置为当所述检查装置对所述缺陷进行成像时测量所述缺陷的所述高度。
5.根据权利要求4所述的缺陷检查装置，其中...
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