一种用于半导体湿法工艺的手动调节阀及其组装方法技术

涉及一种用于半导体湿法工艺的手动调节阀及其组装方法，该调节阀包括具有轴心阀口的阀座、结合于阀座上且内安装有调节杆组的阀盖、用于封闭轴心阀口的隔膜阀片以及设置于阀盖上的调节轮。隔膜阀片在阀头下方形成对准于轴心阀口的轴心锥体。调节轮具有旋转模式与止动模式，在旋转模式下随着调节轮的旋转，每当调节杆组的调节进杆被调节下降或上升第一距离，调节杆组的调节退杆同步反向地上升或下降第二距离，所述第二距离与第一距离的比值介于0.8～0.95，结合轴心锥体的锥斜度，该手动调节阀具有在调节时调节轮的旋转圈数与调节阀流量接近线性关系以及在调节后止动时精密流量稳定供给的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及调节阀的，尤其是涉及一种用于半导体湿法工艺的手动调节阀及其组装方法。

技术介绍

1、流量调节阀是常用的工业阀门，主要用于控制流体在管道中的流量。相比于传统制造工业，在半导体制造工业中，对于流量精密度有更高的要求。例如，半导体湿法工艺需要使用到前道晶圆清洗、匀胶、显影、蚀刻等设备，对光刻胶、电子化学品、超纯水等液体的添加和供应量有着苛刻的精度要求（以ml/min计算）且需要稳定供给。而是否能达成设备技术指标的关键在于，设备调试和运行阶段，管路系统上采用的精密流量调节阀的阀门设定精度以及设定稳定性是否能满足半导体制造工艺的参数要求。故精密流量调节阀属于半导体生产设备的重要零部件。

2、精密流量调节阀的主要组件包括连接进出管的阀体、阀体内用于调节流量的隔膜阀片、传动隔膜阀片使其升降移动的调节杆以及驱动调节杆的执行机构。执行机构位于阀体上，可以是手动操作的手轮或手柄，也可以是电动、液动或气动的驱动轮体，通过对调节杆的操作，使隔膜阀片升降运动，从而改变流体的流量。目前的技术难点在于，流量即使能精密调节到隔膜阀片在合适的供给流量值，但流量值精本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于半导体湿法工艺的手动调节阀，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的手动调节阀，其特征在于，所述调节轮（40）具有位于轴心的同步转杆部（41），插接于所述调节进杆的（51）的同转轴孔（51a）；所述调节轮（40）的轮体下缘设有多个限位齿扣（42），所述阀盖（20）的上部孔端面开设有多个限位齿槽（21）；所述调节轮（40）在所述同步转杆部（41）的周缘设有多个卡销（43），所述阀盖（20）的上部孔内壁开设有旋转槽（22）与止动槽（23）；当所述卡销（43）卡接于所述旋转槽（22），所述限位齿扣（42）不与所述限位齿槽（21）结合，所述调节轮（40）处于旋转模式；...

【技术特征摘要】

1.一种用于半导体湿法工艺的手动调节阀，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的手动调节阀，其特征在于，所述调节轮（40）具有位于轴心的同步转杆部（41），插接于所述调节进杆的（51）的同转轴孔（51a）；所述调节轮（40）的轮体下缘设有多个限位齿扣（42），所述阀盖（20）的上部孔端面开设有多个限位齿槽（21）；所述调节轮（40）在所述同步转杆部（41）的周缘设有多个卡销（43），所述阀盖（20）的上部孔内壁开设有旋转槽（22）与止动槽（23）；当所述卡销（43）卡接于所述旋转槽（22），所述限位齿扣（42）不与所述限位齿槽（21）结合，所述调节轮（40）处于旋转模式；当所述卡销（43）卡合于所述止动槽（23），所述限位齿扣（42）与所述限位齿槽（21）结合，所述调节轮（40）处于止动模式；优选地，所述限位齿槽（21）的环形排布数量对应所述调节轮（40）的一圈调节刻度数。

3.根据权利要求1所述的手动调节阀，其特征在于，所述调节轮（40）的旋转圈数可操作数值介于10～50，所述调节轮（40）的可操作旋转圈数中至少两圈与调节阀流量为线性关系；更优选地，所述调节轮（40）的旋转圈数可操作数值介于15～25；优选地，所述第二距离与第一距离的比值介于0.88～0.92；优选地，所述阀座（10）在所述轴心阀口（14）周缘形成有外斜坡口（15）。

4.根据权利要求1所述的手动调节阀，其特征在于，所述调节退杆（52）为螺杆形态，具有退杆防转部（52a），使得所述调节退杆（52）在所述阀盖（20）内为相对不可旋转的升降移动；优选地，所述退杆防转部（52a）卡合于所述阀盖（20）内设置的支撑压块（60）的退杆防转孔（63），所述支撑压块（60）相对于所述阀盖（20）为不可转动。

5.根据权利要求4所述的手动调节阀，其特征在于，所述调节进杆（51）为空心螺套形态，具有在第一螺距的外螺纹（51b）与在第二螺距的内螺孔（51c），所述第二螺距具有略...

【专利技术属性】
技术研发人员：张生洲，彭峰，张青松，文超阳，
申请(专利权)人：科讯工业制造深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：