【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英管棒件加工，尤其涉及一种石英管棒件校正设备及校正方法。
技术介绍
1、石英材料由于拥有良好的透光性能、耐热性能、电学性能及化学稳定性，被作为重要的基础材料广泛应用于半导体、光伏、光通信、光源等行业。不同应用市场采用石英材料的品质标准不同，高端应用领域对石英材料品质要求严格。半导体用石英材料品质要求最高，对其材料部分要求越来越严格。在石英半导体行业中，小管、小棒类用于制作其所需部件，且随着技术的提高，对精度有着超高要求。许多高精度小管、小棒是需要火焰进行抛光并且有同心度要求，很多时候经过火焰抛光后，小管、小棒类产品的同心度会发生变化，导致同心度达不到设计要求，即石英小管、石英小棒经抛光后，产品容易发生变形，其直线度往往会受影响，达不到高精度要求。
2、对于石英小管、小棒的火焰抛光处理，现有技术是将工件固定在工作台上，手工进行火焰抛光；或将产品固定在小旋盘机上进行旋转，再用火焰进行抛光。
3、目前，校正方法是将工件固定在小旋盘机上，加热工件后人工用手支撑，凭作业人员感觉与经验来校正产品，精度不能保证，需要反复调整，最终产品经过检验，其精度也只能做到0.3mm。石英材料是半导体生产过程中的重要材料，其质量、加工精度直接影响半导体产品的成品率，并影响客户的使用。因此需要技能很高的技术工人来作业，用人成本高，且会因人为操作不稳定性导致产品合格率低，效率也较低。
4、因此，有必要开发一种能提高产品合格率、降低人工成本、并能提高效率的加工设备及加工方法。
技术实
1、本专利技术的目的在于提供一种石英管棒件校正设备及校正方法，以解决现有技术在加工石英管棒件过程中出现合格率较低、人工成本较高、加工效率较低的问题。
2、第一方面，本专利技术提供一种石英管棒件校正设备，包括机台、安装在机台上的支架、及安装在支架上的工件卡爪，所述工件卡爪用于夹持住石英管棒件的一端，所述石英管棒件校正设备还包括安装在机台上的升降台，所述升降台包括能升降的支撑盘，所述支撑盘用于支撑起石英管棒件的另一端。
3、本专利技术涉及的石英管棒件校正设备，具有以下有益效果：
4、本石英管棒件校正设备在其机台上增设有升降台，在利用本石英管棒件校正设备对直线度较差的石英管棒件进行校正时，利用工件卡爪夹持住待校正的石英管棒件的一端，对石英管棒件进行加热，使得石英管棒件软化程度达到设定要求，升降台的支撑盘上升至设定高度，支撑盘将支撑起石英管棒件的另一端至设定高度位置，实现对石英管棒件的校正，相比于人工用手支撑石英管棒件的另一端进行校正的方式，采用升降台的支撑盘上升至设定高度位置对石英管棒件另一端进行支撑校正，不仅节省了人力，降低了人工成本，且此种校正方式稳定性强，保证校正后产品质量更高，产品合格率更高，作业效率也更高，避免人工作业因技术差异等导致校正质量不稳定、合格率低的问题。
5、优选地，所述支撑盘上设有石墨垫块，所述石墨垫块用于与石英管棒件的另一端相接触。支撑盘上升至设定高度位置过程中，会带动石墨垫块一起上升，且石墨垫块会与石英管棒件另一端直接接触，即支撑盘通过石墨垫块支撑起石英管棒件的另一端，这样利用石墨材质的特性，能有效避免对石英管棒件的外观造成划伤或缺损等，保证石英管棒件的品质较高。
6、优选地，所述升降台为三轴升降台，所述升降台还包括x轴旋钮、y轴旋钮、及z轴旋钮，所述x轴旋钮能调节支撑盘沿x轴移动，所述y轴旋钮能调节支撑盘沿y轴移动，所述z轴旋钮能调节支撑盘沿z轴移动，实现支撑盘能沿x轴、y轴、及z轴方向的运动，提高了对支撑盘位置调节的灵活性，且方便操作，便于准确将支撑盘调节至设定高度位置等。
7、优选地，所述工件卡爪包括安装在支架上的卡爪圆盘、及多个安装在卡爪圆盘上的卡爪头，所述工件卡爪的全部卡爪头沿卡爪圆盘的周向依次分布，且所述工件卡爪的全部卡爪头之间形成夹持腔，所述卡爪头朝向夹持腔的一侧壁上设有石墨垫片。工件卡爪夹持住石英管棒件的一端时，石英管棒件的一端位于夹持腔中，且各个卡爪头通过石墨垫片对石英管棒件的一端施加夹持作用力，这样在实现对石英管棒件夹持的同时，是由石墨垫片直接与石英管棒件接触的，基于石墨材质的特性，能有效避免对石英管棒件造成划伤等，保证石英管棒件品质较高。
8、优选地，所述卡爪头通过调节结构安装在卡爪圆盘上，所述调节结构能带动卡爪头沿卡爪圆盘的径向移动。在利用工件卡爪夹持住石英管棒件的一端过程中，工件卡爪的各个卡爪头先呈张开状态，将石英管棒件的一端插入夹持腔后，调节结构调节各个卡爪头沿卡爪圆盘的径向相互靠拢，直至卡爪头相对于卡爪圆盘移动至设定位置，且此时各个卡爪头均对石英管棒件的一端施加夹持力，实现对石英管棒件的夹持固定。
9、优选地，所述支架上安装有与卡爪圆盘相连接的驱动装置，所述驱动装置能驱动卡爪圆盘旋转。在利用本石英管棒件校正设备对石英管棒件进行校正时，驱动装置驱动卡爪圆盘旋转，以带动工件卡爪及石英管棒件一起旋转，结合升降台对石英管棒件的另一端支撑作用，实现对石英管棒件全面校正，提高了校正效率。
10、第二方面，本专利技术提供一种采用所述石英管棒件校正设备的校正方法，包括如下步骤：将待校正的石英管棒件的一端装在工件卡爪上，利用工件卡爪夹持住待校正的石英管棒件的一端；对待校正的石英管棒件进行加热处理，直至待校正的石英管棒件软化程度达到设定要求；升降台的支撑盘向上升起至设定位置，支撑盘会支撑起待校正的石英管棒件的另一端向上移动至设定位置，实现对石英管棒件的校正处理。
11、本专利技术涉及的校正方法，具有以下有益效果：
12、本校正方法，通过升降台的支撑盘上升至设定高度位置，对石英管棒件的另一端进行支撑、校正，相比于人工用手把握石英管棒件另一端实现对石英管棒件另一端的支撑及校正，本校正方法，不仅节约了人力，降低了人工成本，且对人工技术依赖性较小，避免人为作业因技术差异导致校正质量不稳定的问题，提高了产品合格率，且校正质量及效率更高。
13、优选地，所述校正方法，还包括预安装步骤：将标准的石英管棒件的一端插入工件卡爪的全部卡爪头之间形成的夹持腔中，调节各个卡爪头的位置，直至工件卡爪的各个卡爪头与石英管棒件的夹持配合达到设定要求，记录下此时工件卡爪的各个卡爪头的位置信息；在将待校正的石英管棒件的一端装在工件卡爪上的步骤中，将待校正的石英管棒件的一端插入工件卡爪的夹持腔中，根据预安装步骤中记录下的各个卡爪头的位置信息分别调节当前各个卡爪头的位置，实现将待校正的石英管棒件的一端夹持住。此种方式，能有效保证工件卡爪将石英管棒件的一端准确固定在设定位置处，提高对产品加工质量；且无需在夹持每个待校正的石英管棒件时都进行夹持调节操作，提高了效率。
14、优选地，在执行将待校正的石英管棒件的一端装在工件卡爪上步骤前，还需先执行清洁步骤，所述清洁步骤包括：对卡爪头侧壁上的石墨垫片的表面进行打磨；在执行将待校正的石英管棒件的一端装在工件卡爪上步骤中，卡爪头通过石墨垫片与石本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种石英管棒件校正设备，包括机台(1)、安装在机台(1)上的支架(2)、及安装在支架(2)上的工件卡爪(3)，所述工件卡爪(3)用于夹持住石英管棒件(4)的一端，其特征在于，所述石英管棒件校正设备还包括安装在机台(1)上的升降台(5)，所述升降台(5)包括能升降的支撑盘(51)，所述支撑盘(51)用于支撑起石英管棒件(4)的另一端；所述工件卡爪(3)包括安装在支架(2)上的卡爪圆盘(31)、及多个安装在卡爪圆盘(31)上的卡爪头(32)，所述工件卡爪(3)的全部卡爪头(32)沿卡爪圆盘(31)的周向依次分布，且所述工件卡爪(3)的全部卡爪头(32)之间形成夹持腔(33)，所述卡爪头(32)朝向夹持腔(33)的一侧壁上设有石墨垫片。
2.根据权利要求1所述石英管棒件校正设备，其特征在于，所述支撑盘(51)上设有石墨垫块(6)，所述石墨垫块(6)用于与石英管棒件(4)的另一端相接触。
3.根据权利要求1所述石英管棒件校正设备，其特征在于，所述升降台(5)为三轴升降台，所述升降台(5)还包括X轴旋钮(52)、Y轴旋钮、及Z轴旋钮(53)，所述X轴旋钮(52)
4.根据权利要求1所述石英管棒件校正设备，其特征在于，所述卡爪头(32)通过调节结构安装在卡爪圆盘(31)上，所述调节结构能带动卡爪头(32)沿卡爪圆盘(31)的径向移动。
5.根据权利要求1所述石英管棒件校正设备，其特征在于，所述支架(2)上安装有与卡爪圆盘(31)相连接的驱动装置，所述驱动装置能驱动卡爪圆盘(31)旋转。
6.一种采用如权利要求1至5任一项所述石英管棒件校正设备的校正方法，其特征在于，包括如下步骤：
7.根据权利要求6所述校正方法，其特征在于，在执行将待校正的石英管棒件(4)的一端装在工件卡爪(3)上步骤前，还需先执行清洁步骤，所述清洁步骤包括：对卡爪头(32)侧壁上的石墨垫片的表面进行打磨；
8.根据权利要求6所述校正方法，其特征在于，在执行将待校正的石英管棒件(4)的一端装在工件卡爪(3)上步骤前，还需先执行清洁步骤，所述清洁步骤包括：
...【技术特征摘要】
1.一种石英管棒件校正设备，包括机台(1)、安装在机台(1)上的支架(2)、及安装在支架(2)上的工件卡爪(3)，所述工件卡爪(3)用于夹持住石英管棒件(4)的一端，其特征在于，所述石英管棒件校正设备还包括安装在机台(1)上的升降台(5)，所述升降台(5)包括能升降的支撑盘(51)，所述支撑盘(51)用于支撑起石英管棒件(4)的另一端；所述工件卡爪(3)包括安装在支架(2)上的卡爪圆盘(31)、及多个安装在卡爪圆盘(31)上的卡爪头(32)，所述工件卡爪(3)的全部卡爪头(32)沿卡爪圆盘(31)的周向依次分布，且所述工件卡爪(3)的全部卡爪头(32)之间形成夹持腔(33)，所述卡爪头(32)朝向夹持腔(33)的一侧壁上设有石墨垫片。
2.根据权利要求1所述石英管棒件校正设备，其特征在于，所述支撑盘(51)上设有石墨垫块(6)，所述石墨垫块(6)用于与石英管棒件(4)的另一端相接触。
3.根据权利要求1所述石英管棒件校正设备，其特征在于，所述升降台(5)为三轴升降台，所述升降台(5)还包括x轴旋钮(52)、y轴旋钮、及z轴旋钮(53)，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，杨呵呵，乔春成，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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