【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学滤光片领域，尤其涉及一种斜入射使用的消偏振带通滤光片。
技术介绍
1、带通滤光片广泛应用于激光、天文、光通信、生物医学等领域，起到筛选特定波段光线，滤除其它波段干扰光信号的作用，光线入射角一般为0°(即垂直入射)。目前，随着光学仪器设备不断向小型化、集成化发展，斜入射用带通滤光片因可简化光路结构、缩小空间尺寸等优点，应用越来越广泛。光线在斜入射时入射角为非0°，典型值15°、30°、45°。而滤光片在斜入射时会产生偏振效应，即s偏振光和p偏振光的中心波长和通带宽度会发生分离现象，入射角度越大，s光和p光分离越严重，造成带通滤光片光谱变形严重，不能满足使用要求。目前现有的斜入射带通滤光片的设计方法有三种：
2、1、基于法布里-珀珞腔结构，间隔层同时包含高折射率材料和低折射率材料。参见《顾培夫，浙江大学，用于倾斜入射的波分复用薄膜滤光片的特性及改进》。此方法在小入射角度情况下(小于20°)的带通滤光片设计效果较好，但在大角度入射时(大于20°)的，消偏振效果有限，不能满足大角度入射的使用要求。
3、2、基于法布里-珀珞腔结构，间隔层使用第三种折射率的材料。参见《王翀，西南交通大学，角度谐调滤光片偏振控制的间隔层折射率寻优算法》。此方法与第1种方法类似，只适用于小入射角度情况下的带通滤光片设计，并且其引入的第三种材料的折射率，在现实中很难匹配得到，同时三种材料在镀膜工艺实现上较为困难。
4、3、基于法布里-珀珞腔结构，反射堆使用三种材料。参见《王翀，西安邮电学院，斜入射f-p型薄膜
技术实现思路
1、针对现有技术的不足之处，本专利技术提供一种斜入射用消偏振带通滤光片，该斜入射用消偏振带通滤光片可实现入射角0°-60°范围中任意某一特定角度消偏振，实现通带宽度可连续调节，并且具有较高的可制备性。
2、为解决上述技术问题，本专利技术是这样实现的：
3、斜入射用消偏振带通滤光片，包括基片上镀制的基础膜系，其基本结构为：
4、s|(ahblchblah)m k(xhylzhylxh)n|a；
5、其中：s为玻璃基底；a为空气；h为高折射率材料；l为低折射率材料，其中k为带宽系数，调节带宽系数可调整通带带宽；a、b、c为通带右沿的消偏振系数，通过调整消偏振系数调整通带右沿消偏振程度；x、y、z为通带左沿的消偏振系数，通过调整消偏振系数调整通带左沿消偏振程度；m为右沿膜系的循环个数，决定通带右沿的陡度和截止深度；n为左沿膜系的循环个数，决定通带左沿的陡度和截止深度。
6、进一步地，所述h与l的厚度均为光学厚度为λ0/4的膜层。
7、进一步地，所述h采用tio2、nb2o5、ta2o5光学薄膜材料；所述l采用sio2光学薄膜材料。
8、进一步地，所述通带右沿的消偏振系数中a取值范围0.1～0.5；b取值范围0.5～0.7；c取值范围0.3～0.8。
9、进一步地，所述通带左沿的消偏振系数中x取值范围0.6～0.9；y取值范围1.5～1.9；z取值范围1.3～1.9。
10、本专利技术采用两种材料设计，膜层规整无极薄层，具有较高的可制备性，可满足0°-60°范围中任意某一特定角度入射时使用，通带带宽可连续调节，通带双沿t50％位置偏振分离度均小于1nm。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种斜入射用消偏振带通滤光片，其特征在于，包括基片上镀制的基础膜系，其基本结构为：
2.根据权利要求1所述斜入射用消偏振带通滤光片，其特征在于：所述H与L的厚度均为光学厚度为λ0/4的膜层。
3.根据权利要求2所述斜入射用消偏振带通滤光片，其特征在于：所述H采用TiO2、Nb2O5、Ta2O5光学薄膜材料；所述L采用SiO2光学薄膜材料。
4.根据权利要求3所述斜入射用消偏振带通滤光片，其特征在于：所述通带右沿的消偏振系数中a取值范围0.1～0.5；b取值范围0.5～0.7；c取值范围0.3～0.8。
5.根据权利要求4所述斜入射用消偏振带通滤光片，其特征在于：所述通带左沿的消偏振系数中x取值范围0.6～0.9；y取值范围1.5～1.9；z取值范围1.3～1.9。
【技术特征摘要】
1.一种斜入射用消偏振带通滤光片，其特征在于，包括基片上镀制的基础膜系，其基本结构为：
2.根据权利要求1所述斜入射用消偏振带通滤光片，其特征在于：所述h与l的厚度均为光学厚度为λ0/4的膜层。
3.根据权利要求2所述斜入射用消偏振带通滤光片，其特征在于：所述h采用tio2、nb2o5、ta2o5光学薄膜材料；所述l采用sio2光学薄膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：班超，李壮，张鹤，任少鹏，董明，程佳祥，刘伟航，
申请(专利权)人：沈阳仪表科学研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。