【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及红外辐射源，特别涉及一种平面宽谱辐射红外光源。
技术介绍
1、在包括基于ndir(non-dispersive infrared，非色散红外)原理的气体检测在内的很多领域中，都需要使用宽谱红外辐射源。常见的宽谱红外辐射源是白炽灯，相比led等现代光源，白炽灯在这个领域具有特有的优势：led光效很高，但发射光谱很窄，并且受材料特性限制，难以改变；而白炽灯可以在很宽的光谱范围内都具有辐射能量，这对于某些应用领域具有特殊意义。
2、但宽辐射光谱，意味着有大量功耗浪费在目标光谱之外，与新型光源相比能效低。对于分布式、电池供电、太阳能供电等传感系统，降低能耗是重要需求。
3、另外，在ndir气体检测领域，光源是脉冲工作。因此，在采样率满足需求的情况下，降低光源工作占空比，即缩短脉冲宽度也可以提高能效。而白炽灯由于是热光源，需要一个升温过程，相比新型冷光源在速度上也有先天劣势。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种红外光源，以解决
技术介绍
中的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种红外光源，包括：
3、热辐射膜层，所述热辐射膜层为平面薄膜形；
4、支撑部，位于所述热辐射膜层的下方，用于支撑所述热辐射膜层。
5、在一种可实现的实施方式中，所述支撑部的底部形成有凹槽；
6、所述凹槽位于所述热辐射膜层的下方；
7、所述凹槽和所述热辐射膜层之间留有单层或复合层作为支撑梁；
8、所述支撑梁用于衬托所述热辐射膜层。
9、在一种可实现的实施方式中，所述支撑部的顶部表面设置有第一盖板，所述支撑部的底部表面设置有第二盖板；
10、所述第一盖板和所述第二盖板将所述热辐射膜层、所述支撑梁和所述凹槽包覆在密封空间中。
11、在一种可实现的实施方式中，所述凹槽中设置有一层反射层，所述反射层位于所述热辐射膜层的下方，用于反射所述热辐射膜层发出的热辐射。
12、在一种可实现的实施方式中，所述反射层设置于所述凹槽的底部且位于所述第二盖板的内部表面，或者悬浮于所述凹槽中，或者位于所述凹槽的顶部且与所述支撑梁贴合。
13、在一种可实现的实施方式中，所述支撑部中形成有悬空结构，
14、所述悬空结构位于所述热辐射膜层的下方；
15、所述悬空结构与所述热辐射膜层之间留有单层或复合层作为支撑梁。
16、在一种可实现的实施方式中，所述支撑部的顶部表面设置有第一盖板；
17、所述第一盖板和所述支撑部将所述热辐射膜层、所述支撑梁和所述悬空结构包覆在密封空间中。
18、在一种可实现的实施方式中，所述悬空结构内设置有一层反射层，所述反射层位于所述热辐射膜层的下方，用于反射所述热辐射膜层发出的热辐射。
19、在一种可实现的实施方式中，所述反射层设置于所述悬空结构的底部且位于所述支撑部上，或者所述反射层悬浮于所述悬空结构中，或者位于所述悬空结构的顶部且与所述支撑梁贴合。
20、在一种可实现的实施方式中，所述悬空结构中保留有若干个支撑结构，用于支撑所述支撑梁。
21、在一种可实现的实施方式中，所述第一盖板的内部设置有凹陷区，
22、所述凹陷区位于所述热辐射膜层的上方，与所述热辐射膜层相对。
23、在一种可实现的实施方式中，所述凹陷区为规则形状或者不规则形状。
24、在一种可实现的实施方式中，所述密封空间为真空或充有气体；
25、在充有气体时，通过调节气体密度实现调节密封空间的热导能力。
26、在一种可实现的实施方式中，所述气体为氮气或其他惰性气体。
27、在一种可实现的实施方式中，所述支撑梁的厚度为微米级。
28、在一种可实现的实施方式中，所述热辐射膜层的材质包括但不限于金属、碳；
29、所述支撑部的材质包括但不限于硅、氧化硅、碳化硅、金属氧化物、陶瓷。
30、在一种可实现的实施方式中，所述热辐射膜层的厚度为纳米级。
31、本专利技术提供的一种红外光源，包括热辐射膜层和支撑部，并且热辐射膜层依托于有一定强度的支撑部。本专利技术将热辐射膜层设计为平面薄膜形，加大了表面积与体积之比，降低了升温带来的能量消耗。进一步的，在热辐射膜层的下方设置凹槽或悬空结构，并且将热辐射膜层设置于真空中，避免热辐射膜层在升温时通过热传导加热支撑部，避免了能量的浪费；若将热辐射膜层设置在惰性气体中，则可以通过调节气体密度从而调节热导率。更进一步的，设置红外反射层用于反射热辐射膜层发出的热辐射，提高了能量的利用率。
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1.一种红外光源，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的红外光源，其特征在于，所述支撑部的底部形成有凹槽；
3.如权利要求2所述的红外光源，其特征在于，所述支撑部的顶部表面设置有第一盖板，所述支撑部的底部表面设置有第二盖板；
4.如权利要求3所述的红外光源，其特征在于，所述凹槽中设置有一层反射层，所述反射层位于所述热辐射膜层的下方，用于反射所述热辐射膜层发出的热辐射。
5.如权利要求4所述的红外光源，其特征在于，所述反射层设置于所述凹槽的底部且位于所述第二盖板的内部表面，或者悬浮于所述凹槽中，或者位于所述凹槽的顶部且与所述支撑梁贴合。
6.如权利要求1所述的红外光源，其特征在于，所述支撑部中形成有悬空结构，
7.如权利要求6所述的红外光源，其特征在于，所述支撑部的顶部表面设置有第一盖板；
8.如权利要求7所述的红外光源，其特征在于，所述悬空结构内设置有一层反射层，所述反射层位于所述热辐射膜层的下方，用于反射所述热辐射膜层发出的热辐射。
9.如权利要求8所述的红外光源，其特征在于，所
10.如权利要求6所述的红外光源，其特征在于，所述悬空结构中保留有若干个支撑结构，用于支撑所述支撑梁。
11.如权利要求3或7所述的红外光源，其特征在于，所述第一盖板的内部设置有凹陷区，
12.如权利要求11所述的红外光源，其特征在于，所述凹陷区为规则形状或者不规则形状。
13.如权利要求3或7所述的红外光源，其特征在于，所述密封空间为真空或充有气体；
14.如权利要求13所述的红外光源，其特征在于，所述气体为氮气或其他惰性气体。
15.如权利要求2或6所述的红外光源，其特征在于，所述支撑梁的厚度为微米级。
16.如权利要求1所述的红外光源，其特征在于，所述热辐射膜层的材质包括但不限于金属、碳；
17.如权利要求1所述的红外光源，其特征在于，所述热辐射膜层的厚度为纳米级。
...【技术特征摘要】
1.一种红外光源，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的红外光源，其特征在于，所述支撑部的底部形成有凹槽；
3.如权利要求2所述的红外光源，其特征在于，所述支撑部的顶部表面设置有第一盖板，所述支撑部的底部表面设置有第二盖板；
4.如权利要求3所述的红外光源，其特征在于，所述凹槽中设置有一层反射层，所述反射层位于所述热辐射膜层的下方，用于反射所述热辐射膜层发出的热辐射。
5.如权利要求4所述的红外光源，其特征在于，所述反射层设置于所述凹槽的底部且位于所述第二盖板的内部表面，或者悬浮于所述凹槽中，或者位于所述凹槽的顶部且与所述支撑梁贴合。
6.如权利要求1所述的红外光源，其特征在于，所述支撑部中形成有悬空结构，
7.如权利要求6所述的红外光源，其特征在于，所述支撑部的顶部表面设置有第一盖板；
8.如权利要求7所述的红外光源，其特征在于，所述悬空结构内设置有一层反射层，所述反射层位于所述热辐射膜层的下方，用于反射所述热辐射膜层发出的热辐射。
9.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：周鹰，向毅海，
申请(专利权)人：苏州泽声微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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