【技术实现步骤摘要】
本技术涉及磁控溅射机管路，具体为一种便于安装的磁控溅射机用管路。
技术介绍
1、磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。
2、现有的便于安装的磁控溅射机用管路可参考授权公告号为cn203999797u的中国技术专利，其公开了一种可变磁通量分布的直流磁控溅射机磁通管，“包括磁通管、旋转轴、阴极靶材和电磁铁；其中，磁通管为一个圆柱形的外壳，磁通管的轴线水平放置，阴极靶材设置于磁通管的前端面，旋转轴与磁通管的轴线平行并设置于磁通管的后端面的外部；磁通管的后端面的内部设有电磁铁；本技术通过改进磁通管的外观设计，将磁通管设计成多个可调节磁场方向和磁通量大小的电磁铁，通过改变每个电磁铁磁场方向和磁通量的大小可以将薄膜的均匀性调至所需要的工艺。”
3、上述设备在使用时，采用的是通过螺纹将管道进行连接，连接方式较为简单，且不便于安装和拆卸，导致降低了工作人员的安装和拆卸效率，且上述装置在使用的过程中多暴露于外界，与空气进行直接的接触，长时间的使用会导致空气中的水汽等物质会腐蚀管道，导致管道腐蚀损坏，进而导致降低管道的使用寿命。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种便于安装的磁控溅射机用管路，具备便于对管道进行安装和拆卸，提高工作人员的安装和拆卸的效率的优点，具备减少管道与空气的接触，减少对管道的防腐蚀效果，提高管道的使用寿命的优点，解决了上述
技术介绍
中所提出的问题。
2、本技术提供如下技术方案：一种便于安装的磁控溅射机用
3、作为本技术的一种优选技术方案，所述第一连接管的外表开设有卡槽，且卡槽的内壁与卡块的外壁进行滑动连接。
4、作为本技术的一种优选技术方案，所述第一连接管的外壁开设有圆槽，且圆槽的内壁滑动连接有第二连接管，所述第一连接管的内壁设置有橡胶垫。
5、作为本技术的一种优选技术方案，所述第二连接管的外表面开设与圆孔，且圆孔的内壁与卡块的外壁进行滑动连接。
6、作为本技术的一种优选技术方案，所述第二连接管包括聚氯乙烯涂层，所述聚氯乙烯涂层的底部固定装配有粘合层，所述粘合层的底部固定装配有干燥层。
7、作为本技术的一种优选技术方案，所述第一连接管的和第二连接管的外表面皆喷涂有一层有机硅涂层，所述转动块的外表面设置有转杆。
8、与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：
9、1、该便于安装的磁控溅射机用管路，通过转动转动块，带动螺纹杆进行转动，通过螺纹杆的外沿螺纹连接的连接杆，使得螺纹杆转动的同时带动连接杆进行移动，通过连接杆远离螺纹杆的一端固定装配的连接块，使得能够推动连接块进行移动，通过连接块的外壁固定装配的固定环，使得固定环受力进行移动，进而使得带动卡块进入第一连接管外表面开设的卡槽和第二连接管的外表面开设的圆孔，达到对第一连接管和第二连接管进行固定的目的，便于对该装置进行安装和拆卸，提高工作人员安装和拆卸的效率。
10、2、该便于安装的磁控溅射机用管路，通过设有的聚氯乙烯涂层，使得能够对该装置起到防水的作用，减少水与管道进行接触，通过设有的粘合层，使得能够将聚氯乙烯涂层和干燥层进行连接，通过设有的干燥层，使得能够对该装置进行干燥，对水分进行吸收，减少水分腐蚀管道，提高管道的使用寿命，进而降低使用成本。
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1.一种便于安装的磁控溅射机用管路，包括第一连接管（1），其特征在于：所述第一连接管（1）的外表面设置有固定装置（3），所述固定装置（3）的结构有转动块（301），所述转动块（301）的输出轴的顶部固定装配有螺纹杆（302），所述螺纹杆（302）的外沿螺纹连接有连接杆（303），所述连接杆（303）远离螺纹杆（302）的一端固定装配有连接块（304），所述连接块（304）的外壁固定装配有固定环（305），所述固定环（305）的内壁固定装配有卡块（306）。
2.根据权利要求1所述的一种便于安装的磁控溅射机用管路，其特征在于：所述第一连接管（1）的外表开设有卡槽，且卡槽的内壁与卡块（306）的外壁进行滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种便于安装的磁控溅射机用管路，其特征在于：所述第一连接管（1）的外壁开设有圆槽，且圆槽的内壁滑动连接有第二连接管（2），所述第一连接管（1）的内壁设置有橡胶垫（4）。
4.根据权利要求3所述的一种便于安装的磁控溅射机用管路，其特征在于：所述第二连接管（2）的外表面开设与圆孔，且圆孔的内壁与卡块（306）的外壁进行
5.根据权利要求3所述的一种便于安装的磁控溅射机用管路，其特征在于：所述第二连接管（2）包括聚氯乙烯涂层（201），所述聚氯乙烯涂层（201）的底部固定装配有粘合层（202），所述粘合层（202）的底部固定装配有干燥层（203）。
6.根据权利要求1所述的一种便于安装的磁控溅射机用管路，其特征在于：所述第一连接管（1）的和第二连接管（2）的外表面皆喷涂有一层有机硅涂层，所述转动块（301）的外表面设置有转杆。
...【技术特征摘要】
1.一种便于安装的磁控溅射机用管路，包括第一连接管（1），其特征在于：所述第一连接管（1）的外表面设置有固定装置（3），所述固定装置（3）的结构有转动块（301），所述转动块（301）的输出轴的顶部固定装配有螺纹杆（302），所述螺纹杆（302）的外沿螺纹连接有连接杆（303），所述连接杆（303）远离螺纹杆（302）的一端固定装配有连接块（304），所述连接块（304）的外壁固定装配有固定环（305），所述固定环（305）的内壁固定装配有卡块（306）。
2.根据权利要求1所述的一种便于安装的磁控溅射机用管路，其特征在于：所述第一连接管（1）的外表开设有卡槽，且卡槽的内壁与卡块（306）的外壁进行滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种便于安装的磁控溅射机用管路，其特征在于：所述第一连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：李志珣，
申请(专利权)人：天津市三环电阻有限公司，
类型：新型
国别省市：
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