【技术实现步骤摘要】
本技术涉及平面度检测,具体是一种平面度检测装置。
技术介绍
1、平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差,平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标,用来控制被测实际平面的形状误差,平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。
2、目前,已有的平面度检测设备大多不具备固定受测物体的性能,在进行检测时,仅仅是将受测物体简单的放置在设备的置物台上,如果检测时工作人员不慎误触,易导致受测物体偏移,进而导致检测失败,因此,亟需设计一种平面度检测装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种平面度检测装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
3、一种平面度检测装置,包括底板以及设置在底板顶部外壁的第一滑动板,所述第一滑动板的顶部外壁滑动安装有第二滑动板,第二滑动板的顶部外壁滑动安装有两个夹持板,底板的顶部外壁固定安装有支架,支架的一侧外壁固定安装有激光测量仪;
4、所述第
...【技术保护点】
1.一种平面度检测装置,包括底板(1)以及设置在底板(1)顶部外壁的第一滑动板(2),其特征在于:所述第一滑动板(2)的顶部外壁滑动安装有第二滑动板(3),第二滑动板(3)的顶部外壁滑动安装有两个夹持板(4),底板(1)的顶部外壁固定安装有支架(5),支架(5)的一侧外壁固定安装有激光测量仪(6);
2.根据权利要求1所述的一种平面度检测装置,其特征在于:两个所述夹持板(4)的相对一端内壁均设置有多个缓冲垫(12)。
3.根据权利要求2所述的一种平面度检测装置,其特征在于:所述第二滑动板(3)的顶部外壁开有两个条形槽(10),且两个夹持板(4)
...【技术特征摘要】
1.一种平面度检测装置,包括底板(1)以及设置在底板(1)顶部外壁的第一滑动板(2),其特征在于:所述第一滑动板(2)的顶部外壁滑动安装有第二滑动板(3),第二滑动板(3)的顶部外壁滑动安装有两个夹持板(4),底板(1)的顶部外壁固定安装有支架(5),支架(5)的一侧外壁固定安装有激光测量仪(6);
2.根据权利要求1所述的一种平面度检测装置,其特征在于:两个所述夹持板(4)的相对一端内壁均设置有多个缓冲垫(12)。
3.根据权利要求2所述的一种平面度检测装置,其特征在于:所述第二滑动板(3)的顶部外壁开有两个条形槽(10),且两个夹持板(4)的底部外壁均固定安装有两个条形板(13),四个条形板(13)分别滑动安装在两个条形槽(10)内。
4.根据权利要求3所述的一种平面度检测装置,其特征在于:所述底板(1)的顶部外壁开有第二滑槽(14),且第二滑槽(14)的两侧内壁之间转动安装有第一单向螺纹杆(15),第一滑动板(2)的底部外壁固定安装有第二滑块(21),第二滑块(21)滑动安装在第二滑槽(14)内,第二滑块(21)通过螺纹滑动套接在第一单向螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员:李健,毛订订,李志伟,
申请(专利权)人:昆山宸泽测控科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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