一种曝光基板制造技术

本申请提供了一种曝光基板，包括基板本体，所述基板本体上设置有方向指示部件，所述方向指示部件用于指示加工方向。本申请通过设置的方向指示部件，当基板本体被取出检测清理完之后放回产线时，方向指示部件能够指示基板本体的加工方向，避免投放基板本体的时候方向出错，进而保证加工质量，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及基板，具体而言，涉及一种曝光基板。

技术介绍

1、在tp、显示模组以及半导体工艺制作过程中，曝光机台通过uv光照射到铬板/掩膜板上面，把铬板/掩膜板图案转移到光刻胶，从而获得图案，在生产tp和显示模组时需要经过若干道曝光，才能堆叠出所需要的图案；

2、由于在生产过程中需要从产线进行首、中、末多次检查等情况，检测时需要从产线取出基板，检测后需要去除异物后再重新投入到设备内，这时候由于基板为透明状或某些图案不好识别，可能会导致基板面方向与之前不一样的情况出现，不仅会导致产品报废，还需要停线将报废的产品重新取出，进而影响生产效率。

3、例如：中国专利技术专利：cn201410370206.3，所公开的“一种掩膜板检测装置和方法”，其说明书公开：传统的曝光工艺中，经常会由于掩模板mask表面存在微小的异物，减小了掩膜板开口区域光的透过性，使得显影后形成的图形pattern存在共同缺陷，目前还没有一种简便的方法能够迅速检测出mask表面是否有微小的异物及异物存在的位置，因此需要经常清洗mask，费时费力。有时甚至在清洗mask后，微小异物依然存在，如不能及时检出，会对产能及良率有很大的影响；上述专利可以佐证现有技术存在的缺陷。

4、因此我们对此做出改进，提出一种曝光基板。

技术实现思路

1、本技术的目的在于：针对目前存在的基板为透明状或某些图案不好识别，可能会导致基板面方向与之前不一样的情况出现，不仅会导致产品报废，还需要停线将报废的产品重新取出，进而影响生产效率。

2、为了实现上述专利技术目的，本技术提供了曝光基板，以改善上述问题。

3、本申请具体是这样的：

4、包括基板本体，所述基板本体上设置有方向指示部件，所述方向指示部件用于指示加工方向。

5、作为本申请优选的技术方案，所述方向指示部件包括若干个方向指示箭头，若干个所述方向指示箭头均设置在基板本体上。

6、作为本申请优选的技术方案，所述方向指示箭头采用丝印或镭射的方式设置在基板本体上。

7、作为本申请优选的技术方案，所述基板本体上分为有效区域和无效区域，所述方向指示箭头设置在无效区域上，有效区域即设置图像的区域，无效区域即未设置图像的区域，将方向指示箭头设置在无效区域上能够避免方向指示箭头的设置影响图像。

8、作为本申请优选的技术方案，还包括指示握机构，所述指示握机构设置在基板本体靠近无效区域的一侧，能够避免影响基板本体有效区域的图案。

9、作为本申请优选的技术方案，所述指示握机构包括所述在基板本体侧面上的连接部，所述连接部上设置有可旋转的指向握持部，连接部用于将指向握持部与基板本体连接在一起。

10、作为本申请优选的技术方案，所述指向握持部与基板本体侧面贴合时用于指示加工方向，所述指向握持部旋转至与基板本体垂直时用于辅助手持基板本体，即指向握持部不仅能够指示基板本体的加工方向，还能够在检测以及清洗时方便拿取基板本体。

11、作为本申请优选的技术方案，所述连接部包括连接座以及开设在基板本体侧面的螺纹孔，所述连接座的一侧固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆与螺纹孔的内壁螺纹连接，所述连接座远离螺纹杆的一侧为弧形设置，弧形设置的好处是方便指示握持杆转动，螺纹杆和螺纹孔能够实现连接座和基板本体的连接，并且这样设置还可以将连接座从基板本体上拆卸下来。

12、作为本申请优选的技术方案，所述连接座的边侧开设有连接槽，所述连接槽内固定安装有支撑轴，支撑轴用于连接连接头，通过连接槽和连接头能够对指示握持杆的旋转范围进行限制，使得指示握持杆仅能旋转度，从而利于指示握持杆指示加工方向，连接头与连接槽侧壁之间存在摩擦力，通过连接头与连接槽侧壁之间的摩擦力能够对指示握持杆进行限位，进而方便使用。

13、作为本申请优选的技术方案，所述指向握持部包括转动设置在连接槽中的连接头，所述连接头套设在支撑轴的外表面上，所述连接头的一侧固定连接有位于连接座侧面的指示握持杆，所述指示握持杆远离连接头的一端为弧形设置，弧形设置可以用于辅助指示基板本体的方向，即检测人员可以通过方向指示箭头识别基板本体的方向，也可以通过指示握持杆识别基板本体的方向。

14、检测时从产线上取出基板本体，然后转动指示握持杆至与基板本体垂直，握住指示握持杆即可对基板本体进行移动，一方面避免手持基板本体时手部遮挡基板本体，影响基板本体的检测，另一方面对基板本体进行清洗时，可以将基板本体整体浸没在清洗液中，从而能够提高指向握持部的功能性。

15、与现有技术相比，本技术的有益效果：

16、在本申请的方案中：

17、为了解决现有技术中基板为透明状或某些图案不好识别，可能会导致基板面方向与之前不一样的情况出现，不仅会导致产品报废，还需要停线将报废的产品重新取出，进而影响生产效率的问题，本申请通过设置的方向指示部件，当基板本体被取出检测清理完之后放回产线时，方向指示部件能够指示基板本体的加工方向，避免投放基板本体的时候方向出错，进而保证加工质量，提高生产效率。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种曝光基板，包括基板本体(1)，其特征在于，所述基板本体(1)上设置有方向指示部件，所述方向指示部件用于指示加工方向；

2.根据权利要求1所述的一种曝光基板，其特征在于，所述方向指示箭头(2)采用丝印或镭射的方式设置在基板本体(1)上。

3.根据权利要求2所述的一种曝光基板，其特征在于，所述基板本体(1)上分为有效区域和无效区域，所述方向指示箭头(2)设置在无效区域上。

【技术特征摘要】

1.一种曝光基板，包括基板本体(1)，其特征在于，所述基板本体(1)上设置有方向指示部件，所述方向指示部件用于指示加工方向；

2.根据权利要求1所述的一种曝光基板，其特征在于，所述方向指示箭...

【专利技术属性】
技术研发人员：李思拥，颜成纲，曾一鑫，
申请(专利权)人：信利光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：