【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片生产，具体为一种基于单晶硅片的可调式磨削装置。
技术介绍
1、硅片是半导体行业中最常用的材料之一，其质量和加工工艺的好坏真接影响着半导体产品的品质和性能，而硅片的加工工艺中，磨削减薄是其中非常重要的一，其中，硅片的边缘同样需要对其进行磨削操作，需要用到磨削装置。
2、现有磨削装置使用时，对硅片边缘进行磨削，等待磨削的硅片一般置于平台上，无法对硅片进行定位，使得硅片的中心位置很难与平台的中心完全对齐，以致于该装置很难对硅片的边缘进行均匀的磨削，降低磨削效果，且现有磨削装置磨削时一般直接在硅片的表面喷洒磨削液，磨削液无法充分与硅片的磨削部位接触，降低磨削效果，因此本专利技术设计若干结构来解决现有装置无法对硅片进行定位以及磨削液无法充分与硅片的磨削部位接触的问题，针对上述问题，专利技术人提出一种基于单晶硅片的可调式磨削装置用于解决上述问题。
技术实现思路
1、为了解决现有磨削装置使用时，对硅片边缘进行磨削，等待磨削的硅片一般置于平台上，无法对硅片进行定位，使得硅片的中心位置很难与平台的中心完全对齐，以致于该装置很难对硅片的边缘进行均匀的磨削，降低磨削效果，且现有磨削装置磨削时一般直接在硅片的表面喷洒磨削液，磨削液无法充分与硅片的磨削部位接触，降低磨削效果的问题；本专利技术的目的在于提供一种基于单晶硅片的可调式磨削装置。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：一种基于单晶硅片的可调式磨削装置，包括底板，所述底板顶部分别设置有输料机构、
3、优选地，所述驱动机构包括第一底块，所述第一底块底部与底板顶部一端固定配合，所述第一底块顶部中心固定设置有固定管，所述固定管顶部固定安装有第一吸盘，所述固定管表面转动设置有第一套筒和第二套筒，所述第一套筒表面固定设置有转盘，所述转盘外壁固定设置有第一齿环，所述第一底块顶部一端固定安装有第一电机，所述第一电机输出端固定设置有第一转轴，所述第一转轴远离第一电机的一端套装有第一直齿轮，所述第一直齿轮与第一齿环啮合，所述转盘顶部内圈开设有若干个限位槽，所述限位槽滑动设置有l形滑杆，所述l形滑杆内壁一侧固定设置有连接杆，所述连接杆与冷却磨削机构相连，所述l形滑杆内壁底部固定设置有固定块，所述转盘顶部一端固定安装有第二电机，所述第二电机输出端固定设置有第二转轴，所述第二转轴远离转盘的一端套装有第二直齿轮，所述第二套筒表面套装有第三直齿轮，所述第二直齿轮与第三直齿轮啮合，所述第三直齿轮顶部开设有若干个弧形孔，所述固定块与弧形孔滑动配合，所述第一底块顶部外圈固定设置有u形安装架，所述u形安装架顶部中心固定设置有u形稳固架，所述u形稳固架顶部开设有安装孔，所述第一底块顶部内圈固定设置有若干个支撑柱，所述支撑柱顶端固定设置有支撑环，所述支撑环与转盘底部滑动配合。
4、优选地，所述储液机构包括储液箱，所述储液箱顶部中心连通设置有导水管，所述导水管表面转动设置有注水管，所述注水管表面与安装孔固定配合，所述储液箱内壁底部一端和中心分别固定安装有水泵和中间盒，所述水泵输出端与中间盒一侧连通配合，所述中间盒外壁连通设置有若干个连接管，所述连接管与冷却磨削机构相连，所述储液箱顶部外圈固定设置有环形槽，所述环形槽滑动设置有滑条，所述滑条顶部与u形安装架内壁顶部一端固定配合。
5、优选地，所述冷却磨削机构包括第一l形输水管和l形稳固板，所述l形稳固板一侧与连接杆远离l形滑杆的一端固定配合，所述l形稳固板内壁底部一端固定设置有第一l形竖板和第二l形竖板，所述第一l形竖板与l形稳固板之间转动设置有第三转轴，所述第二l形竖板一侧转动设置有第四转轴，所述第四转轴靠近第一l形竖板的一端通过两个第一锥齿轮与第三转轴传动配合，所述第四转轴远离第一l形竖板的一端套装有第四直齿轮，所述第三转轴底端套装有第五直齿轮，所述第五直齿轮一侧啮合设置有第六直齿轮，所述第六直齿轮通过第五转轴转动设置于l形稳固板内壁底部另一端，所述第五转轴顶部固定设置有伸缩杆，所述伸缩杆输出端固定设置有通水管，所述通水管表面转动设置有磨削块，所述磨削块靠近l形稳固板的一侧固定设置有齿条，所述第四直齿轮与齿条啮合，所述磨削块内部开设有第一导水腔和第二导水腔，所述第一导水腔与第二导水腔连通设置，所述磨削块远离l形稳固板的一侧开设有若干个磨削槽，所述磨削槽底部开设有若干个导水孔，所述导水孔与第二导水腔连通，所述通水管表面开设有若干个开孔，所述开孔与第一导水腔相对设置，所述通水管滑动设置于第一l形输水管内部，所述第一l形输水管远离通水管的一端滑动设置有第二l形输水管，所述第二l形输水管远离通水管一端穿过储液箱与连接管一端连通配合，所述第一l形输水管表面固定设置有固定环，所述固定环表面固定设置有连接块，所述连接块顶部固定设置有滑块，所述滑块滑动设置于滑槽内，所述滑槽顶部与储液箱底部固定配合，所述滑块底部固定安装有第一电动液压缸，所述第一电动液压缸输出端与磨削块顶部固定配合。
6、优选地，所述输料机构包括第二底块、第一横板和环形条，所述第二底块底部与底板顶部另一端固定配合，所述第二底块顶部一端固定设置有第一直板，所述第一直板一侧固定安装有第三电机，所述第三电机输出端穿过第一直板固定设置有第一传动轴，所述第一传动轴远离第三电机的一端与输送带输入端相连，所述第一传动轴中心通过两个第二锥齿轮传动设置有第二传动轴，两个所述第二锥齿轮相互啮合，所述第二传动轴转动设置于第一横板顶部，所述第一横板一端与第一直板另一侧固定配合，所述第二传动轴通过同步轮和同步带传动设置有第三传动轴，所述第二底块顶部中心固定设置有第二直板，所述第二直板顶部固定设置有第二横板，所述第三传动轴顶端穿过第二横板套装有第七直齿轮，所述第二横板顶部转动设置有第四传动轴，所述第四传动轴底端穿过第二横板与第二底块顶部另一端转动配合，所述第四传动轴顶端固定设置有圆板，所述圆板外壁固定设置有第二齿环，所述第七直齿轮与第二齿环啮合，所述圆板顶部固定设置有圆块，所述圆块滑动设置于环形条内，所述环形条一侧固定设置有固定条，所述固定条底部通过第二电动液压缸固定设置有第二吸盘，所述固定条顶部通过中间杆固定设置有移动块，所述移动块滑动设置于顶条底部中心，所述顶条底部一端与u形安装架顶部一侧固定配合。
7、优选地，所述底板顶部外圈固定设置有围板。
8、与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：
9、1、本专利技术通过设置驱动机构，使得驱动机构工作能够对硅片进行定位，保持硅片的中心位置准确与第一吸盘的中心对齐，从而实现对硅片边缘的均匀磨削，提升磨削效果，使得驱动机构带动冷却磨削机构工作，磨削液直接喷洒至冷却磨削机构与硅片边缘的接触处，磨削液与接触处充分接触，进一步提升磨削效果；
10、2、本专利技术利用第二直齿轮转动带动第三直齿轮以固定管为轴心转动，使得固定块沿着弧形孔滑动，进而带动多个磨削本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于单晶硅片的可调式磨削装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部分别设置有输料机构(2)、输送带(3)和驱动机构(4)，所述驱动机构(4)内侧顶部设置有储液机构(5)，所述储液机构(5)下方设置有若干个冷却磨削机构(6)，所述输料机构(2)和冷却磨削机构(6)均与驱动机构(4)相连。
2.如权利要求1所述的一种基于单晶硅片的可调式磨削装置，其特征在于，所述驱动机构(4)包括第一底块(401)，所述第一底块(401)底部与底板(1)顶部一端固定配合，所述第一底块(401)顶部中心固定设置有固定管(402)，所述固定管(402)顶部固定安装有第一吸盘(403)，所述固定管(402)表面转动设置有第一套筒(404)和第二套筒(405)，所述第一套筒(404)表面固定设置有转盘(406)，所述转盘(406)外壁固定设置有第一齿环(407)，所述第一底块(401)顶部一端固定安装有第一电机(408)，所述第一电机(408)输出端固定设置有第一转轴，所述第一转轴远离第一电机(408)的一端套装有第一直齿轮(409)，所述第一直齿轮(409)与第一齿环(407)
3.如权利要求2所述的一种基于单晶硅片的可调式磨削装置，其特征在于，所述储液机构(5)包括储液箱(501)，所述储液箱(501)顶部中心连通设置有导水管(502)，所述导水管(502)表面转动设置有注水管(503)，所述注水管(503)表面与安装孔固定配合，所述储液箱(501)内壁底部一端和中心分别固定安装有水泵(504)和中间盒(505)，所述水泵(504)输出端与中间盒(505)一侧连通配合，所述中间盒(505)外壁连通设置有若干个连接管(506)，所述连接管(506)与冷却磨削机构(6)相连。
4.如权利要求3所述的一种基于单晶硅片的可调式磨削装置，其特征在于，所述冷却磨削机构(6)包括第一L形输水管(601)和L形稳固板(602)，所述L形稳固板(602)一侧与连接杆(411)远离L形滑杆(410)的一端固定配合，所述L形稳固板(602)内壁底部一端固定设置有第一L形竖板(603)和第二L形竖板(604)，所述第一L形竖板(603)与L形稳固板(602)之间转动设置有第三转轴(605)，所述第二L形竖板(604)一侧转动设置有第四转轴(606)，所述第四转轴(606)靠近第一L形竖板(603)的一端通过两个第一锥齿轮与第三转轴(605)传动配合，所述第四转轴(606)远离第一L形竖板(603)的一端套装有第四直齿轮(613)，所述第三转轴(605)底端套装有第五直齿轮(607)，所述第五直齿轮(607)一侧啮合设置有第六直齿轮(608)，所述第六直齿轮(608)通过第五转轴转动设置于L形稳固板(602)内壁底部另一端，所述第五转轴顶部固定设置有伸缩杆(616)，所述伸缩杆(616)输出端固定设置有通水管(610)，所述通水管(610)表面转动设置有磨削块(611)，所述磨削块(611)靠近L形稳固板(602)的一侧固定设置有齿条(612)，所述第四直齿轮(613)与齿条(612)啮合，所述磨削块(611)内部开设有第一导水腔(614)和第二导水腔，所述第一导水腔(614)与第二导水腔连通设置，所述磨削块(611)远离L形稳固板(602)的一侧开设有若干个磨削槽，所述磨削槽底部开设有若干个导水孔，所述导水孔与第二导水腔连通，所述通水管(610)表面开设有若干个开孔，所述开孔与第一导水腔(614)相对设置，所述通水管(610)滑动设置于第一L形输水管(601)内部，所述第一L形输水管(601)远离通水管(610)的一端滑动设置有第二L形输水管(615)，所述第二L形输水管(615)远离通水管(610)一端穿过储液箱(501)与连接管(506)一端连通...
【技术特征摘要】
1.一种基于单晶硅片的可调式磨削装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部分别设置有输料机构(2)、输送带(3)和驱动机构(4)，所述驱动机构(4)内侧顶部设置有储液机构(5)，所述储液机构(5)下方设置有若干个冷却磨削机构(6)，所述输料机构(2)和冷却磨削机构(6)均与驱动机构(4)相连。
2.如权利要求1所述的一种基于单晶硅片的可调式磨削装置，其特征在于，所述驱动机构(4)包括第一底块(401)，所述第一底块(401)底部与底板(1)顶部一端固定配合，所述第一底块(401)顶部中心固定设置有固定管(402)，所述固定管(402)顶部固定安装有第一吸盘(403)，所述固定管(402)表面转动设置有第一套筒(404)和第二套筒(405)，所述第一套筒(404)表面固定设置有转盘(406)，所述转盘(406)外壁固定设置有第一齿环(407)，所述第一底块(401)顶部一端固定安装有第一电机(408)，所述第一电机(408)输出端固定设置有第一转轴，所述第一转轴远离第一电机(408)的一端套装有第一直齿轮(409)，所述第一直齿轮(409)与第一齿环(407)啮合，所述转盘(406)顶部内圈开设有若干个限位槽，所述限位槽滑动设置有l形滑杆(410)，所述l形滑杆(410)内壁一侧固定设置有连接杆(411)，所述连接杆(411)与冷却磨削机构(6)相连，所述l形滑杆(410)内壁底部固定设置有固定块(412)，所述转盘(406)顶部一端固定安装有第二电机(413)，所述第二电机(413)输出端固定设置有第二转轴，所述第二转轴远离转盘(406)的一端套装有第二直齿轮(414)，所述第二套筒(405)表面套装有第三直齿轮(415)，所述第二直齿轮(414)与第三直齿轮(415)啮合，所述第三直齿轮(415)顶部开设有若干个弧形孔，所述固定块(412)与弧形孔滑动配合，所述第一底块(401)顶部外圈固定设置有u形安装架(416)，所述u形安装架(416)顶部中心固定设置有u形稳固架(417)，所述u形稳固架(417)顶部开设有安装孔。
3.如权利要求2所述的一种基于单晶硅片的可调式磨削装置，其特征在于，所述储液机构(5)包括储液箱(501)，所述储液箱(501)顶部中心连通设置有导水管(502)，所述导水管(502)表面转动设置有注水管(503)，所述注水管(503)表面与安装孔固定配合，所述储液箱(501)内壁底部一端和中心分别固定安装有水泵(504)和中间盒(505)，所述水泵(504)输出端与中间盒(505)一侧连通配合，所述中间盒(505)外壁连通设置有若干个连接管(506)，所述连接管(506)与冷却磨削机构(6)相连。
4.如权利要求3所述的一种基于单晶硅片的可调式磨削装置，其特征在于，所述冷却磨削机构(6)包括第一l形输水管(601)和l形稳固板(602)，所述l形稳固板(602)一侧与连接杆(411)远离l形滑杆(410)的一端固定配合，所述l形稳固板(602)内壁底部一端固定设置有第一l形竖板(603)和第二l形竖板(604)，所述第一l形竖板(603)与l形稳固板(602)之间转动设置有第三转轴(605)，所述第二l形竖板(604)一侧转动设置有第四转轴(606)，所述第四转轴(606)靠近第一l形竖板(603)的一端通过两个第一锥齿轮与第三转轴(605)传动配合，所述第四转轴(606)远离第一l形竖板(603)的一端套装有第四直齿轮(613)，所述第三转轴(605)底端套装有第五直齿轮(607)，所述第五直齿轮(607)一侧啮合设置有第六直齿轮(608)，所述第六直齿轮(608)通过第五转轴转动设置于l形稳固板(602)内壁底部另一端，所述第五转轴顶部固定设置有伸缩杆(616)，所述伸缩杆(616)输出端固定设置有通水管(610)，所述通水管(610)表面转动设置有磨削块(611)，所述磨削块(611)靠近l形稳固板(602)的一侧固定设...
【专利技术属性】
技术研发人员：何其金，方艺霖，何飞，张靖，徐小萍，
申请(专利权)人：扬州鹏飞能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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