【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ipmc致动器制备，属于柔性致动器领域，具体涉及采用磁控溅射制备ipmc致动器薄膜的方法。
技术介绍
1、经过数十年的发展，柔性致动器在柔性机器人、人机交互等领域受到了广泛关注。但是受限于致动机理和材料性质，不同类型的电驱动柔性致动器依旧存在一些瓶颈问题：(1)目前致动器材料的组分选择和成型工艺较为单一，因此需要开展新型多功能复合材料以及微/宏观尺度下结构设计的研究。(2)柔性致动器易受环境影响，致动性能不稳定，因此需要优化其组分结构，提高力学性能，改善在不同环境下的稳定性。(3)现有的ipmc驱动器存在阻塞力和驱动范围低的问题，需优化解决。(4)在一些需要长时间形态固定的应用场景，能源消耗大，需要提高能量转化效率以减少能量损耗。
2、因此，需要通过对电驱动薄膜致动器材料进行结构设计和优化，来提高其致动性能。
技术实现思路
1、本专利技术针对上述现有技术存在的问题，提供采用磁控溅射方法制备ipmc致动器薄膜的方法；通过对电驱动薄膜致动器材料进行结构设计和优化，来提高其致动性能。采用磁控溅射技术制备具有快速电响应性能的离子聚合物-金属复合物，通过对质子交换膜(nafion)表面做预处理以增强金属电极的结合力度，提高其力学性能和使用寿命。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、第一方面，本专利技术提供采用磁控溅射制备ipmc致动器薄膜的方法，所述方法如下：
4、步骤1，将nafion膜进行预处理；
<...【技术保护点】
1.采用磁控溅射制备IPMC致动器薄膜的方法，其特征在于，所述方法如下：
2.根据权利要求1所述的采用磁控溅射制备IPMC致动器薄膜的方法，其特征在于，步骤1所述的将Nafion膜进行预处理，具体步骤如下：
3.根据权利要求1所述的采用磁控溅射制备IPMC致动器薄膜的方法，其特征在于，所述靶材使用导电金属电极，导电金属电极包括银、铂、铝。
4.根据权利要求1所述的采用磁控溅射制备IPMC致动器薄膜的方法，其特征在于，所述靶材使用纯度为99.9％的银。
5.根据权利要求1所述的采用磁控溅射制备IPMC致动器薄膜的方法，其特征在于，步骤2中腔室内气压降低到5E-3Pa的量级时，开始向腔室内部输送氩气；使腔室内处于惰性气体环境。
6.根据权利要求1所述的采用磁控溅射制备IPMC致动器薄膜的方法，其特征在于，步骤3中，直流溅射在Nafion膜的表面形成100-1000mm厚的金属电极层。
7.利用权利要求1-6任一项所述的方法制备得到的IPMC致动器薄膜，其特征在于，所述IPMC致动器薄膜结构为导电金属电极层-聚合物
...【技术特征摘要】
1.采用磁控溅射制备ipmc致动器薄膜的方法，其特征在于，所述方法如下：
2.根据权利要求1所述的采用磁控溅射制备ipmc致动器薄膜的方法，其特征在于，步骤1所述的将nafion膜进行预处理，具体步骤如下：
3.根据权利要求1所述的采用磁控溅射制备ipmc致动器薄膜的方法，其特征在于，所述靶材使用导电金属电极，导电金属电极包括银、铂、铝。
4.根据权利要求1所述的采用磁控溅射制备ipmc致动器薄膜的方法，其特征在于，所述靶材使用纯度为99.9％的银。
5.根据权利要求1所述的采用磁控...
【专利技术属性】
技术研发人员：马荣谦，谢明星，陈绍强，宋卫东，李佳慧，谢燕楠，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：发明
国别省市：
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