【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于激光干涉测距，尤其涉及一种用于激光干涉测距的反射装置以及激光测距仪。
技术介绍
1、激光测距仪是一种高精密、非接触式测量设备，主要通过光学干涉方法测量微小的位移、尺寸等。主要应用于各类需要高精密测距的行业，包括：精密机床、半导体制造、光刻机、航空航天（组装、变形分析）、医学（测量生物组织形态、力学性能、血管弹性等）、材料学（测量材料微小变形）、地质检测（检测地面位移预测火山地震）等领域。
2、目前，在使用激光测距仪对运动物体进行位移测量时，通常在被测物体上安装平面镜或角锥镜作为反射装置，其中，角锥镜制造精度要求非常高、价格昂贵且装配精度要求高，如专利申请cn201710364317.7公开的一种激光测距仪；平面镜在安装时需要与光轴成90°角，对环境适应性比较差，对安装设备的稳定性有较高要求，测试距离越远，其环境适应性越差，因此平面镜一般用于1m左右高精密测距。
技术实现思路
1、为解决现有技术存在的用于激光干涉测距的反射装置的装配精度要求高、成本高和环境适应性差的问题，本专利技术提供一种用于激光干涉测距的反射装置以及激光测距仪。
2、为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案如下，一种用于激光干涉测距的反射装置，包括：
3、聚焦镜组件；
4、反射镜组件，所述反射镜组件设置在聚焦镜组件的焦平面；
5、以及套筒组件，所述套筒组件包括套筒本体、第一压环和移动座，所述套筒本体沿其轴向贯穿有通孔，所述聚焦镜组件、反
6、作为优选，所述聚焦镜组件包括聚焦透镜，所述聚焦透镜为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜。确保聚焦透镜能够实现激光束的聚焦，激光干涉测试设备发射的激光束经聚焦透镜聚焦于反射镜组件上，再经反射镜组件反射后经聚焦透镜投射至激光干涉测试设备，依据光束传输理论可知，反射光束按入射的路线远离返回，由于反射的为聚焦光束，即使存在微小扰动，激光干涉测试设备的光束接收系统也能接收到大部分激光束，大幅提高了该反射装置的适应性。
7、作为优选，所述反射镜组件包括平面反射镜，所述平面反射镜设置在移动座靠近聚焦镜组件的一侧。反射镜组件的结构简单可靠，移动座带动平面反射镜靠近或远离聚焦透镜移动，调整平面反射镜到聚焦透镜之间的距离，如此设置可使得，该反射装置适配不同焦距的聚焦透镜。
8、进一步地，所述移动座靠近聚焦镜组件的一侧开设有安装槽，所述平面反射镜通过卡接或胶接设置在安装槽内。平面反射镜的安装结构简单牢靠，安装槽一方面便于平面反射镜的安装，一方面还可以保护平面反射镜。
9、作为优选，所述套筒本体的一端具有阶梯孔，所述聚焦透镜设置在阶梯孔内，所述第一压环与阶梯孔螺纹连接，所述聚焦透镜位于第一压环和阶梯孔的台阶之间。先将聚焦透镜安装至阶梯孔内，再拧紧第一压环，使得第一压环与阶梯孔的台阶配合夹紧以固定住聚焦透镜，聚焦透镜的安装结构简单可靠，安装便捷，且可适配于不同的聚焦透镜。
10、作为优选，所述移动座与套筒本体的内壁螺纹连接，形成所述的锁止结构。移动座通过螺纹前后移动，便捷的调整平面反射镜与聚焦透镜之间的距离，确保平面反射镜在聚焦透镜的焦平面上。
11、进一步地，所述通孔内还设置有第二压环，所述第二压环与套筒本体的内壁螺纹连接，所述第二压环设置在移动座远离聚焦镜组件的一侧。第二压环用于压住移动座防止长时间使用时松脱，且结构简单，布局紧凑，安装和调整便捷。
12、一种激光测距仪，该激光测距仪包括激光干涉测试设备，还包括任一项上述的用于激光干涉测距的反射装置，所述激光干涉测试设备包括光束发射系统和光束接收系统，所述光束发射系统用于向反射装置发射激光束，所述光束接收系统用于接收反射装置反射的激光束。
13、作为优选，所述光束发射系统发射的激光束与光束接收系统接收的激光束的光轴重合。激光干涉测试设备选用现有的同轴激光干涉测试设备，即其光束发射系统发射的激光束与光束接收系统接收的激光束的光轴重合，设备测量精度较高。
14、作为优选，所述光束发射系统发射的激光束与光束接收系统接收的激光束的光轴平行。激光干涉测试设备选用现有的非同轴激光干涉测试设备，即其光束发射系统发射的激光束与光束接收系统接收的激光束的光轴平行，设备成本较低。
15、有益效果：
16、1、本专利技术的用于激光干涉测距的反射装置，向反射装置发射平行激光束，平行激光束先经聚焦透镜聚焦于平面反射镜上，再经平面反射镜反射后经聚焦透镜原路反射，依据光束传输理论可知，反射光束按入射的路线原路返回，由于反射的为聚焦光束，因此，即使存在微小扰动，光束接收系统也能接收到大部分光线，大幅提高了该反射装置的适应性，即平行激光通过聚焦透镜聚焦，再由平面反射镜反射，这一设计是该专利申请的核心创意，对光轴同轴度的敏感成度低，即允许的角度偏差大，尤其对同轴激光干涉仪具有无法比拟的使用优势；
17、2、本专利技术的用于激光干涉测距的反射装置，与传统的角反射器相比，具有更大的安装角度适应性，对安装环境的适应性大幅提升，且极大的降低了制造成本；
18、3、本专利技术的用于激光干涉测距的反射装置，聚焦透镜聚光后再经平面反射镜反射，回光功率高，特别是克服现有的只通过平镜反射的平镜反射器，需要很大面积的平镜，且为了平镜能高效的原路反射，对平镜安装的角度要求很高的缺陷，该反射装置的结构布局更加合理紧凑，稳定性更好，对安装环境要求没有那么苛刻，环境适应性更好，能够实现长距离，测量精度更高。
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1.一种用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述聚焦镜组件包括聚焦透镜（1），所述聚焦透镜（1）为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜。
3.根据权利要求1或2任一项所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述反射镜组件包括平面反射镜（2），所述平面反射镜（2）设置在移动座（33）靠近聚焦镜组件的一侧。
4.根据权利要求3所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述移动座（33）靠近聚焦镜组件的一侧开设有安装槽（331），所述平面反射镜（2）通过卡接或胶接设置在安装槽（331）内。
5.根据权利要求2所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述套筒本体（31）的一端具有阶梯孔（312），所述聚焦透镜（1）设置在阶梯孔（312）内，所述第一压环（32）与阶梯孔（312）螺纹连接，所述聚焦透镜（1）位于第一压环（32）和阶梯孔（312）的台阶之间。
6.根据权利要求3所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述移动座（33）与套筒本体
7.根据权利要求6所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述通孔（311）内还设置有第二压环（35），所述第二压环（35）与套筒本体（31）的内壁螺纹连接，所述第二压环（35）设置在移动座（33）远离聚焦镜组件的一侧。
8.一种激光测距仪，其特征在于：该激光测距仪包括激光干涉测试设备（B），还包括权利要求1-7任一项所述的用于激光干涉测距的反射装置，所述激光干涉测试设备（B）包括光束发射系统和光束接收系统，所述光束发射系统用于向反射装置（A）发射激光束，所述光束接收系统用于接收反射装置（A）反射的激光束。
9.根据权利要求8所述的激光测距仪，其特征在于：所述光束发射系统发射的激光束与光束接收系统接收的激光束的光轴重合。
10.根据权利要求8所述的激光测距仪，其特征在于：所述光束发射系统发射的激光束与光束接收系统接收的激光束的光轴平行。
...【技术特征摘要】
1.一种用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述聚焦镜组件包括聚焦透镜（1），所述聚焦透镜（1）为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜。
3.根据权利要求1或2任一项所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述反射镜组件包括平面反射镜（2），所述平面反射镜（2）设置在移动座（33）靠近聚焦镜组件的一侧。
4.根据权利要求3所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述移动座（33）靠近聚焦镜组件的一侧开设有安装槽（331），所述平面反射镜（2）通过卡接或胶接设置在安装槽（331）内。
5.根据权利要求2所述的用于激光干涉测距的反射装置，其特征在于：所述套筒本体（31）的一端具有阶梯孔（312），所述聚焦透镜（1）设置在阶梯孔（312）内，所述第一压环（32）与阶梯孔（312）螺纹连接，所述聚焦透镜（1）位于第一压环（32）和阶梯孔（312）的台阶之间。
6.根据权利要求3所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李晓涛，王炳炎，王磊，胡勇，
申请(专利权)人：挚感苏州光子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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