一种wafer收纳盒的固定装置制造方法及图纸

技术编号:40449591 阅读:4 留言:0更新日期:2024-02-22 23:09
本技术公开了一种wafer收纳盒的固定装置,涉及晶圆存放技术领域,包括固定底板一,所述固定底板一的上端四个角点分别固定安装有固定杆,所述固定杆的顶端设置有限位块,所述固定杆的外部穿设有固定板二,所述固定杆的外表面套设有伸缩弹簧一,本技术将存放箱放置到放置槽一的内部时,将固定板二向上方做拉动时,可使固定板二受到伸缩弹簧一的伸缩力而向上方做移动,此时可使固定板二的底端与存放箱的顶端相贴合,当存放箱放置到放置槽一的内部时,伸缩弹簧二的伸缩力可使连接的推挤板和橡胶块对存放箱的前后两端做推挤的辅助固定,从而能够对存放箱做固定安装,防止外物坠落而对存放箱产生损坏,且结构简单,方便使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆存放,特别涉及一种wafer收纳盒的固定装置


技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

2、但是现有的晶圆存放盒缺少对存放盒的固定结构,使得存放盒在使用期间可能会有外物掉落而对存放盒产生掉落损伤,降低存放盒的使用寿命,且可能会对存放盒内部存放的晶圆产生损伤。


技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题,本技术提供了一种wafer收纳盒的固定装置,具备防止外物砸伤和固定优点,解决了不便于固定和保护的问题。

2、本技术是这样实现的,一种wafer收纳盒的固定装置,包括固定底板一,所述固定底板一的上端四个角点分别固定安装有固定杆,所述固定杆的顶端设置有限位块,所述固定杆的外部穿设有固定板二,所述固定杆穿设在固定板二的内部,所述固定杆的外表面套设有伸缩弹簧一,所述伸缩弹簧一的顶端与限位块的底端相贴合,所述固定板二的内部底端开设有方形槽,所述固定底板一的内部开设有放置槽一,所述放置槽一的上下两端固定设置有伸缩弹簧二,所述伸缩弹簧二的顶端固定安装有推挤板,所述推挤板的右端固定安装有若干个橡胶块,所述橡胶块为半圆形形状,所述放置槽一的内部放置有存放箱。

3、作为本技术的一种优选方案,存放箱的左端右侧开设有长形槽,所述存放箱的右端穿设有拉动杆。

4、作为本技术的一种优选方案,拉动杆的左端外表面套设有伸缩弹簧三,所述伸缩弹簧三的右端与长形槽的内壁右端相贴合。

5、作为本技术的一种优选方案,拉动杆的尾端固定安装有推挤块,所述推挤块为长方体形状,所述存放箱的左端铰接有柜门,所述柜门的右端固定安装有卡块一。

6、作为本技术的一种优选方案,卡块一的内部开设有卡槽一,所述卡块一与长形槽相卡合。

7、作为本技术的一种优选方案,存放箱的内部固定安装有固定块,所述固定块的上端固定安装有转轴。

8、作为本技术的一种优选方案,转轴的左侧铰接有盖板,所述盖板的左端固定安装有卡块二。

9、作为本技术的一种优选方案,固定块的内部开设有放置槽二,所述放置槽二的内壁右端固定安装有干燥剂储放箱,所述固定块的上端左侧开设有卡槽二。

10、作为本技术的一种优选方案,放置槽二的内部底端固定安装有伸缩弹簧四,所述伸缩弹簧四的上端固定安装有橡胶板。

11、本技术的有益效果是:

12、1.本技术通过固定底板一、固定杆、固定板二、方形槽、限位块、伸缩弹簧一、放置槽一、伸缩弹簧二、推挤板、橡胶块和存放箱的设置,将存放箱放置到放置槽一的内部时,将固定板二向上方做拉动时,可使固定板二受到伸缩弹簧一的伸缩力而向上方做移动,此时可使固定板二的底端与存放箱的顶端相贴合,当存放箱放置到放置槽一的内部时,伸缩弹簧二的伸缩力可使连接的推挤板和橡胶块对存放箱的前后两端做推挤的辅助固定,从而能够对存放箱做固定安装,防止外物坠落而对存放箱产生损坏,且结构简单,方便使用;

13、2.本技术通过长形槽、拉动杆、伸缩弹簧三、推挤块、柜门、卡块一、卡槽一、固定块、转轴、盖板、卡块二、放置槽二、干燥剂储放箱、橡胶板、伸缩弹簧四和卡槽二的设置,将晶圆放置到存放箱,将拉动杆向右侧进行拉动便可使伸缩弹簧三受力后对推挤块做右侧的拉动,此时可使卡块一内部开设的卡槽一失去的对推挤块的卡合,提高存放箱的密封效果,再将晶圆放置到放置槽二的内部后,伸缩弹簧四的伸缩力可使顶端的橡胶板对放置的晶圆做缓冲保护,且橡胶板的设置可防止有静电产生,再将干燥剂放置到干燥剂储放箱的内部后,此时再将盖板做闭合运动时可使卡块二与卡槽二相卡合,对放置槽二的内部起到密封的效果,且干燥剂储放箱的设置可防止放置槽二的内部受潮,进一步提高对晶圆的存放效果。

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【技术保护点】

1.一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,包括固定底板一(1),所述固定底板一(1)的上端四个角点分别固定安装有固定杆(2),所述固定杆(2)的顶端设置有限位块(5),所述固定杆(2)的外部穿设有固定板二(3),所述固定杆(2)穿设在固定板二(3)的内部,所述固定杆(2)的外表面套设有伸缩弹簧一(6),所述伸缩弹簧一(6)的顶端与限位块(5)的底端相贴合,所述固定板二(3)的内部底端开设有方形槽(4),所述固定底板一(1)的内部开设有放置槽一(7),所述放置槽一(7)的上下两端固定设置有伸缩弹簧二(8),所述伸缩弹簧二(8)的顶端固定安装有推挤板(9),所述推挤板(9)的右端固定安装有若干个橡胶块(10),所述橡胶块(10)为半圆形形状,所述放置槽一(7)的内部放置有存放箱(11)。

2.根据权利要求1所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述存放箱(11)的左端右侧开设有长形槽(12),所述存放箱(11)的右端穿设有拉动杆(13)。

3.根据权利要求2所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述拉动杆(13)的左端外表面套设有伸缩弹簧三(14),所述伸缩弹簧三(14)的右端与长形槽(12)的内壁右端相贴合。

4.根据权利要求2所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述拉动杆(13)的尾端固定安装有推挤块(15),所述推挤块(15)为长方体形状,所述存放箱(11)的左端铰接有柜门(16),所述柜门(16)的右端固定安装有卡块一(17)。

5.根据权利要求4所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述卡块一(17)的内部开设有卡槽一(18),所述卡块一(17)与长形槽(12)相卡合。

6.根据权利要求1所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述存放箱(11)的内部固定安装有固定块(19),所述固定块(19)的上端固定安装有转轴(20)。

7.根据权利要求6所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述转轴(20)的左侧铰接有盖板(21),所述盖板(21)的左端固定安装有卡块二(22)。

8.根据权利要求6所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述固定块(19)的内部开设有放置槽二(23),所述放置槽二(23)的内壁右端固定安装有干燥剂储放箱(24),所述固定块(19)的上端左侧开设有卡槽二(27)。

9.根据权利要求8所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述放置槽二(23)的内部底端固定安装有伸缩弹簧四(26),所述伸缩弹簧四(26)的上端固定安装有橡胶板(25)。

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【技术特征摘要】

1.一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,包括固定底板一(1),所述固定底板一(1)的上端四个角点分别固定安装有固定杆(2),所述固定杆(2)的顶端设置有限位块(5),所述固定杆(2)的外部穿设有固定板二(3),所述固定杆(2)穿设在固定板二(3)的内部,所述固定杆(2)的外表面套设有伸缩弹簧一(6),所述伸缩弹簧一(6)的顶端与限位块(5)的底端相贴合,所述固定板二(3)的内部底端开设有方形槽(4),所述固定底板一(1)的内部开设有放置槽一(7),所述放置槽一(7)的上下两端固定设置有伸缩弹簧二(8),所述伸缩弹簧二(8)的顶端固定安装有推挤板(9),所述推挤板(9)的右端固定安装有若干个橡胶块(10),所述橡胶块(10)为半圆形形状,所述放置槽一(7)的内部放置有存放箱(11)。

2.根据权利要求1所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述存放箱(11)的左端右侧开设有长形槽(12),所述存放箱(11)的右端穿设有拉动杆(13)。

3.根据权利要求2所述的一种wafer收纳盒的固定装置,其特征在于,所述拉动杆(13)的左端外表面套设有伸缩弹簧三(14),所述伸缩弹簧三(14)的右端与长形槽(12)的内壁右端相贴合。

4.根据权利要求2所述的一种wafer收纳盒的固定装置,...

【专利技术属性】
技术研发人员:常浩陈春刘增红
申请(专利权)人:矽佳半导体嘉兴有限公司
类型:新型
国别省市:

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