【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工，具体地涉及一种硅片导正机构。
技术介绍
1、在晶体硅的加工生产中，硅片通过传送带从一个工位运送至另一个工位时，当传送带运行中由于带速不同步发生晃动时，传送带上硅片的位置很容易发生左右偏移，导致硅片在进入下一工位时偏离预定位置，硅片容易与硅片接收机构碰撞，从而容易造成硅片的损坏，对此通常在传输过程中设置硅片导正机构硅片进行导正。
2、在现有技术中，硅片导正机构多为包括步进电机、同步轮、同步带、直线导轨、滑块和导正组件的模式，通过电机驱动同步轮，同步轮驱动同步带，同步带驱动滑块在直线导轨上往复运动，进而滑块上的导正组件运动进行归正动作，但这种结构存在机构复杂、占据空间大，成本高的问题，并且夹块没有进行限位，容易出现安装偏位，导致硅片导正整体偏位，导正效果误差较大。
技术实现思路
1、本技术提供了一种硅片导正机构，以解决现有技术中硅片导正机构存在机构复杂、占据空间大，成本高的问题
2、为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是提供一种硅片导正机构，包括第一导正组件、第二导正组件、驱动组件和限位连接组件，其中：
3、第一导正组件和第二导正组件沿第一方向相对间隔设置。第一导正组件包括沿第二方向设于顶部的第一随动轮组和设于底部的第一滑块。第二导正组件包括沿第二方向设于顶部的第二随动轮组和设于底部的第二滑块。第一随动轮组和第二随动轮组均沿第三方向延伸，沿第一方向，第一随动轮组和第二随动轮组之间形成导正空间，用于使得硅片通过，第一方向、第二方
4、驱动组件包括气缸和滑动轴杆组。滑动轴杆组沿第一方向延伸，并穿过第一滑块和第二滑块。气缸沿第一方向设于第一滑块和第二滑块之间。气缸包括活塞杆，活塞杆与第一滑块连接，用于驱动第一滑块沿滑动轴杆组在第一方向上移动。第二滑块通过限位连接组件与第一滑块连接，用于通过第一滑块带动第二滑块。
5、本技术提供的硅片导正机构，与现有技术中的方案相比较，通过成本较低的气缸代替电机对滑块进行驱动，通过限位连接组件取代了同步轮和同步带的同步带动功能，通过滑动轴杆组代替了直线导轨，从而简化了硅片导正机构的整体组成，减少了占地空间，并且可以降低生产成本。
6、硅片导正机构通过气缸的活塞杆的伸缩运动带动第一滑块进行移动，而第二滑块通过限位连接组件与第一滑块连接，从而能够与第一滑块同步运动，从而达到通过电机控制第一导正组件和第二导正组件在第一方向上进行相向或相背运动。当第一导正组件和第二导正组件进行相向运动时，第一随动轮组与第二随动轮组的间距变小，并与传输中的硅片接触，使其在导正空间内完成位置矫正；而当第一导正组件和第二导正组件进行相背运动时，第一随动轮组与第二随动轮组的间距变大，导正空间变大，为下一次的硅片位置矫正预留空间。
7、在一些实施方案中，限位连接组件包括安装板。安装板沿第一方向延伸，并设于第一滑块和第二滑块的底部。第一滑块沿第一方向的底部设有第一凸部，第二滑块沿第一方向的底部设有第二凸部。安装板分别设有与第一凸部和第二凸部位置对应的第一腰孔和第二腰孔。第一腰孔和第二腰孔均沿第一方向延伸。第一凸部设于第一腰孔内，第二凸部设于第二腰孔内。
8、采用上述技术方案，安装板用于支撑第一滑块和第二滑块，此外，第一凸部置于第一腰孔内，第一滑块能够在第一方向上沿第一腰孔进行移动，第二凸部置于第二腰孔内，第二滑块能够在第一方向上沿第二腰孔进行移动，从而能够使得安装板通过第一腰孔和第二腰孔对第一滑块和第二滑块的运动区间进行限定。
9、在一些实施方案中，限位连接组件包括曲柄、第一连杆和第二连杆；曲柄沿第二方向设于安装板的下方，曲柄包括轴承随动器，用于通过轴承随动器与安装板固定连接，使得曲柄能够沿周向转动，周向环绕第二方向；第一连杆沿第一方向的一端与第一凸部固定连接，另一端与曲柄连接；第二连杆沿第一方向的一端与第二凸部固定连接，另一端与曲柄连接。
10、采用上述技术方案，第一滑块通过曲柄、第一连杆和第二连杆与第二滑块间接连接，当第一滑块经驱动进行移动时，由于曲柄已通过轴承随动器固定于安装板底部，与第一滑块连接的第一连杆驱动曲柄进行转动，从而带动第二连杆，以及与之相连的第二滑块。
11、在一些实施方案中，滑动轴杆组包括第一滑杆、第二滑杆和多个直线轴承。第一滑杆和第二滑杆沿第三方向间隔设置，并均沿第一方向延伸穿过第一滑块和第二滑块。直线轴承分别设于第一滑杆与第一滑块和第二滑块连接处，以及第二滑杆与第一滑块和第二滑块连接处。
12、采用上述技术方案，滑动轴杆组由第一滑杆、第二滑杆和多个直线轴承组成，与直线导轨相比结构简单，成本更低。第一滑杆和第二滑杆穿设于第一滑块和第二滑块，为其运动进行辅助导向。此外，第一滑杆和第二滑杆与第一滑块和第二滑块的连接处皆设置有直线轴承，直线轴承具有摩擦小，比较稳定不随轴承速度而变化的特点，能够获得灵敏度高、精度高的平稳直线运动。
13、在一些实施方案中，第一导正组件还包括第一弯折钣金件和第二弯折钣金件。第一弯折钣金件包括第一固定端和第一弯折端，第二弯折钣金件包括第二固定端和第二弯折端。第一弯折端和第二固定端均沿第二方向延伸并固定连接。第一固定端沿第一方向的一端固定于第一滑块的顶端，另一端远离第二滑块设置，并与第一弯折端连接。第二弯折端沿第三方向延伸，并且沿第一方向远离第一滑块的一侧与第二固定端连接。第一随动轮组设于第二弯折端。
14、采用上述技术方案，钣金间具有重量轻、强度高和成本低的特点，可以减轻第一滑块和第二滑块的运动负担，并且在进行使用时有足够的强度避免出现损坏。第一弯折钣金件和第二弯折钣金件相互连接固定，第一滑块与第一弯折钣金件连接固定，第一随动轮组设于第二弯折端，通过第一滑块的移动来改变第一随动轮组的位置，从而控制其与硅片接触与分离。
15、在一些实施方案中，第二导正组件还包括第三弯折钣金件和第四弯折钣金件。第三弯折钣金件包括第三固定端和第三弯折端，第四弯折钣金件包括第四固定端和第四弯折端。第三弯折端和第四固定端均沿第二方向延伸并固定连接。第三固定端沿第一方向的一端固定于第二滑块的顶端，另一端远离第一滑块设置，并与第三弯折端连接。第四弯折端沿第三方向延伸，并且沿第一方向远离第二滑块的一侧与第四固定端连接。第二随动轮组设于第四弯折端。
16、采用上述技术方案，第一弯折钣金件和第二弯折钣金件相互连接固定，第一滑块与第一弯折钣金件连接固定，第一随动轮组设于第二弯折端，通过第一滑块的移动来改变第一随动轮组的位置，从而控制其与硅片接触与分离。
17、在一些实施方案中，第一随动轮组和第二随动轮组均包括多个包胶随动轮，多个包胶随动轮沿第三方向分别间隔设于第二弯折端和第四弯折端的顶部。包胶随动轮可沿周向转动。
18、采用上述技术方案，包胶随动轮与硅片接触，硅片被包胶随动轮推向导正通道的中轴线，从而对硅片进行导正。包胶随动轮与硅片二者接触时，硅本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硅片导正机构，其特征在于，包括第一导正组件、第二导正组件、驱动组件和限位连接组件，其中：
2.根据权利要求1所述的硅片导正机构，其特征在于，所述限位连接组件包括安装板；所述安装板沿所述第一方向延伸，并设于所述第一滑块和所述第二滑块的底部；所述第一滑块沿所述第一方向的底部设有第一凸部，所述第二滑块沿所述第一方向的底部设有第二凸部；所述安装板分别设有与所述第一凸部和第二凸部位置对应的第一腰孔和第二腰孔；所述第一腰孔和所述第二腰孔均沿所述第一方向延伸；所述第一凸部设于所述第一腰孔内，所述第二凸部设于所述第二腰孔内。
3.根据权利要求2所述的硅片导正机构，其特征在于，所述限位连接组件包括曲柄、第一连杆和第二连杆；所述曲柄沿所述第二方向设于所述安装板的下方，所述曲柄包括轴承随动器，用于通过所述轴承随动器与所述安装板固定连接，使得所述曲柄能够沿周向转动，所述周向环绕所述第二方向；所述第一连杆沿所述第一方向的一端与所述第一凸部固定连接，另一端与所述曲柄连接；所述第二连杆沿所述第一方向的一端与所述第二凸部固定连接，另一端与所述曲柄连接。
4.根据权利要
5.根据权利要求1所述的硅片导正机构，其特征在于，所述第一导正组件还包括第一弯折钣金件和第二弯折钣金件；所述第一弯折钣金件包括第一固定端和第一弯折端，所述第二弯折钣金件包括第二固定端和第二弯折端；所述第一弯折端和所述第二固定端均沿所述第二方向延伸并固定连接；所述第一固定端沿所述第一方向的一端固定于所述第一滑块的顶端，另一端远离所述第二滑块设置，并与所述第一弯折端连接；所述第二弯折端沿所述第三方向延伸，并且沿所述第一方向远离所述第一滑块的一侧与所述第二固定端连接；所述第一随动轮组设于所述第二弯折端。
6.根据权利要求5所述的硅片导正机构，其特征在于，所述第二导正组件还包括第三弯折钣金件和第四弯折钣金件；所述第三弯折钣金件包括第三固定端和第三弯折端，所述第四弯折钣金件包括第四固定端和第四弯折端；所述第三弯折端和所述第四固定端均沿所述第二方向延伸并固定连接；所述第三固定端沿所述第一方向的一端固定于所述第二滑块的顶端，另一端远离所述第一滑块设置，并与所述第三弯折端连接；所述第四弯折端沿所述第三方向延伸，并且沿所述第一方向远离所述第二滑块的一侧与所述第四固定端连接；所述第二随动轮组设于所述第四弯折端。
7.根据权利要求6所述的硅片导正机构，其特征在于，所述第一随动轮组和第二随动轮组均包括多个包胶随动轮，所述多个包胶随动轮沿所述第三方向分别间隔设于所述第二弯折端和所述第四弯折端的顶部；每个所述包胶随动轮可沿周向转动。
8.根据权利要求1所述的硅片导正机构，其特征在于，包括限位螺杆；所述限位螺杆沿所述第一方向延伸，并设于所述第一滑块和所述第二滑块之间；所述限位螺杆沿所述第一方向的一端固定于所述第一滑块，另一端悬设，用于与所述第二滑块抵接限位。
9.根据权利要求4所述的硅片导正机构，其特征在于，还包括第一支撑板、第二支撑板、底板、第一挡板和第二挡板；所述第一支撑板和所述第二支撑板均沿所述第二方向延伸，并沿所述第一方向设于所述安装板的两端，用于固定支撑所述第一滑杆和所述第二滑杆；所述底板与所述第一支撑板和所述第二支撑板底部固定连接；第一挡板和第二挡板沿所述第三方向分别设与所述底板的两侧，并分别与第一支撑板和所述第二支撑板固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片导正机构，其特征在于，包括第一导正组件、第二导正组件、驱动组件和限位连接组件，其中：
2.根据权利要求1所述的硅片导正机构，其特征在于，所述限位连接组件包括安装板；所述安装板沿所述第一方向延伸，并设于所述第一滑块和所述第二滑块的底部；所述第一滑块沿所述第一方向的底部设有第一凸部，所述第二滑块沿所述第一方向的底部设有第二凸部；所述安装板分别设有与所述第一凸部和第二凸部位置对应的第一腰孔和第二腰孔；所述第一腰孔和所述第二腰孔均沿所述第一方向延伸；所述第一凸部设于所述第一腰孔内，所述第二凸部设于所述第二腰孔内。
3.根据权利要求2所述的硅片导正机构，其特征在于，所述限位连接组件包括曲柄、第一连杆和第二连杆；所述曲柄沿所述第二方向设于所述安装板的下方，所述曲柄包括轴承随动器，用于通过所述轴承随动器与所述安装板固定连接，使得所述曲柄能够沿周向转动，所述周向环绕所述第二方向；所述第一连杆沿所述第一方向的一端与所述第一凸部固定连接，另一端与所述曲柄连接；所述第二连杆沿所述第一方向的一端与所述第二凸部固定连接，另一端与所述曲柄连接。
4.根据权利要求2所述的硅片导正机构，其特征在于，所述滑动轴杆组包括第一滑杆、第二滑杆和多个直线轴承；所述第一滑杆和所述第二滑杆沿所述第三方向间隔设置，并均沿所述第一方向延伸穿过所述第一滑块和所述第二滑块；所述直线轴承分别设于所述第一滑杆与所述第一滑块和所述第二滑块连接处，以及所述第二滑杆与所述第一滑块和所述第二滑块连接处。
5.根据权利要求1所述的硅片导正机构，其特征在于，所述第一导正组件还包括第一弯折钣金件和第二弯折钣金件；所述第一弯折钣金件包括第一固定端和第一弯折端，所述第二弯折钣金件包括第二固定端和第二弯折端；所述第一弯折端和所述第二固定端均沿所述第二方向延伸并固定连接；所述第一固定端沿所述第一方向...
【专利技术属性】
技术研发人员：浦孟菊，万知永，
申请(专利权)人：苏州怡合达自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。