【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备领域，具体涉及了一种薄膜沉积设备的漏液防护系统，以及一种薄膜沉积设备。
技术介绍
1、在现有技术中，采用半导体工艺设备实施的很多工艺都需要在高温环境下进行，设备的反应腔内部温度较高。很多半导体工艺设备，特别是薄膜沉积设备都包括喷淋板结构，例如原子薄膜沉积设备等。在半导体加工的工艺过程中，需要通入热的前驱气体和吹扫气体进入反应腔内部，目的是为了防止气体冷凝及管路系统中有微粒的产生，因此喷淋板的上顶盖部分也需要加热。一般来说，薄膜沉积设备中的喷淋板的上顶盖通常设有加热管路，用以加热其中的液体介质来实现上顶盖的加热。例如，液体介质可以是油液，对上顶盖通油后，将其加热到一百多摄氏度，甚至可以到两百摄氏度。当温度不够时，也可以通油循环来使喷淋板加热到所需温度，而且温度过高时，通油循环还能带走热量使之降温。
2、但是，对于需要通液体介质以加热的部件，比如通油的上顶盖，由于设备密封圈老化，结构设计缺陷等因素，往往存在一些安全隐患，通常高达一两百摄氏度高温的热油，如果发生泄漏，泄漏出的高温热油容易损坏薄膜沉积设备中的各种...
【技术保护点】
1.一种薄膜沉积设备的漏液防护系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的漏液防护系统，其特征在于，所述漏液检测传感器通过多通阀连接于所述喷淋板上顶盖的外侧，所述多通阀的第一连通口连接所述油流通道的倾斜向下的所述连接段，所述多通阀的第二连通口通过密封圈与所述漏液检测传感器密封连接。
3.如权利要求2所述的漏液防护系统，其特征在于，所述多通阀为三通阀，所述三通阀的第三连通口连接排油阀，所述排油阀的下方设有接油盘，在所述漏液检测传感器检测到泄漏的油液后，处于打开状态下的所述排油阀排出所述泄漏的油液到所述接油盘。
4.如权利要求3所述...
【技术特征摘要】
1.一种薄膜沉积设备的漏液防护系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的漏液防护系统，其特征在于，所述漏液检测传感器通过多通阀连接于所述喷淋板上顶盖的外侧，所述多通阀的第一连通口连接所述油流通道的倾斜向下的所述连接段，所述多通阀的第二连通口通过密封圈与所述漏液检测传感器密封连接。
3.如权利要求2所述的漏液防护系统，其特征在于，所述多通阀为三通阀，所述三通阀的第三连通口连接排油阀，所述排油阀的下方设有接油盘，在所述漏液检测传感器检测到泄漏的油液后，处于打开状态下的所述排油阀排出所述泄漏的油液到所述接油盘。
4.如权利要求3所述的漏液防护系统，其特征在于，所述排油阀的一侧设有排油阀手柄，用以手动开闭所述排油阀。
5.如权利要求1所述的漏液防护系统...
【专利技术属性】
技术研发人员：路希龙，何吉超，唐仁鹏，
申请(专利权)人：拓荆科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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