一种碳碳复合材料及其制备方法和应用、碳碳复合材料PECVD承载框技术

本发明专利技术提供了一种碳碳复合材料及其制备方法和应用、碳碳复合材料PECVD承载框，涉及碳材料技术领域。本发明专利技术利用聚氮硅烷增强碳碳承载框层间的交联，能有效的防止材料层间开裂，并且聚氮硅烷在后续的碳化过程中转化成碳化硅，显著提高了材料的力学性能，经机加工制成的碳碳复合材料PECVD承载框力学性能优异，能适应PECVD复杂的工艺环境，不易受破坏，更换频率低，使用周期长。而且，本发明专利技术采用树脂、聚氮硅烷和沥青为碳布的浸渍材料，相对于其他类似的网胎针刺或Z向加强的板材，明显具有成本低和制备效率高的优势。本发明专利技术制备的碳碳复合材料经机加工制备的碳碳复合材料PECVD承载框具有密度低、强度高以及尺寸可以设计等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于碳材料，具体涉及一种碳碳复合材料及其制备方法和应用、碳碳复合材料pecvd承载框。

技术介绍

1、随着新能源的发展势头越来越强劲，光伏太阳能发电产业在许多国家被列为重点发展项目，太阳能电池组件系统也受到了越来越多的重视，而在单晶/多晶硅电池生产过程中，硅片上镀膜是很重要的工序，此工序能减少光的反射，提高光的利用率。目前，应用较多的氮化硅薄膜工艺是等离子增强化学气相沉积(pecvd)工艺。pecvd是借助微波或射频使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

2、鉴于pecvd复杂的工艺环境，一般采用的pecvd舟或舟板主要是由石墨制成，石墨制品具有杂质含量低，高纯高耐腐，热导率高，导电性适中，物理化学性质稳定等特点，但在实际应用中由于石墨的力学性能较差，导致石墨舟在镀膜及清洗过程中极易损坏，使用寿命较短。传统的石墨承载框(舟)是在整块石墨板材上进行机加工后辅以相关配件，研究人员主要对石墨承载框结构细节不断进行优化以提高承载能力，进而提高pecvd生产效率。例如，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳碳复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述碳布的参数包括：克重为300～420g/m2，纹路为平纹或斜纹，碳丝规格为12～48K；

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述聚氮硅烷溶液包括聚氮硅烷和溶剂；所述聚氮硅烷的数均分子量为8000～15000；所述溶剂包括苯乙烯；所述聚氮硅烷溶液的浓度为70～85wt％；

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一碳化为将浸胶模压板置于两块石墨板工装之间进行第一碳化；

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种碳碳复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述碳布的参数包括：克重为300～420g/m2，纹路为平纹或斜纹，碳丝规格为12～48k；

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述聚氮硅烷溶液包括聚氮硅烷和溶剂；所述聚氮硅烷的数均分子量为8000～15000；所述溶剂包括苯乙烯；所述聚氮硅烷溶液的浓度为70～85wt％；

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一碳化为将浸胶模压板置于两块石墨板工装之间进行第一碳化；

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述液相浸渍的工艺条件包括：温度为160～210℃，压力为...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵强，贾林涛，孙祝林，蒋婕，池泽敏，
申请(专利权)人：上海康碳复合材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：