一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法技术

本发明专利技术涉及一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法，包括以下步骤：(1)将三氟化硼原料气送入分离系统，排出杂质馏分，得到高纯三氟化硼产品；(2)排出的杂质馏分中的至少一个进入络合系统，与络合剂反应生成络合物；(3)络合物进入裂解系统，裂解反应生成含三氟化硼的气体；(4)裂解得到的含三氟化硼的气体再返回送入分离系统。与现有技术相比，本发明专利技术的工艺简单，运行稳定，在高纯三氟化硼产品纯度达到99.999％的同时，综合回收率达到95％及以上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于三氟化硼纯化，涉及一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法。

技术介绍

1、天然硼具有两种稳定同位素硼-10和硼-11，丰度分别为19.8±0.2％和80.2％±0.2％，其中硼-10具有大的热中子吸收截面特性，而硼-11几乎不吸收中子。由于上述特性，高纯三氟化硼-11可以作为p型半导体的离子注入源，用于半导体芯片的制备中，其可有效提高芯片的稳定性和可靠性，增加设备运行寿命。高纯三氟化硼-10可以用于抗癌靶向药的合成与中子计数器的制造过程中。高纯三氟化硼的市场应用前景广阔，价格高昂。

2、由于三氟化硼的丰度富集使用的是化学交换法，额外引入了络合剂，因此经过丰度富集后的三氟化硼-11或三氟化硼-10气体纯度较低，需要进一步纯化后才可使用。

3、目前国内对三氟化硼的纯化工艺研究已取得了一定的进展，已有一家企业具备天然丰度高纯三氟化硼的生产能力，但暂无企业可以稳定工业化生产高纯三氟化硼-11或高纯三氟化硼-10气体。

4、中国专利cn113819715公开了一种高纯三氟化硼的低温精馏装置及方法，原料收集罐中的三氟化硼经本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法，其特征在于，所述三氟化硼原料气的纯度不低于90％，其所含三氟化硼为三氟化硼-10、三氟化硼-11或两者任意比例的混合。

3.根据权利要求1所述的一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法，其特征在于，所述三氟化硼原料气中含有的杂质馏分为氮气、氧气、氩气、氢气、一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、三氧化硫、四氟化硅、卤化氢、甲烷、氟代甲烷、苯甲醚、甲醚、乙醚、甲基苯甲醚、苯酚、甲基苯酚中的一种或任意几种的组合。

4.根据权利要求1所述的一种具...

【技术特征摘要】

1.一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法，其特征在于，所述三氟化硼原料气的纯度不低于90％，其所含三氟化硼为三氟化硼-10、三氟化硼-11或两者任意比例的混合。

3.根据权利要求1所述的一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法，其特征在于，所述三氟化硼原料气中含有的杂质馏分为氮气、氧气、氩气、氢气、一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、三氧化硫、四氟化硅、卤化氢、甲烷、氟代甲烷、苯甲醚、甲醚、乙醚、甲基苯甲醚、苯酚、甲基苯酚中的一种或任意几种的组合。

4.根据权利要求1所述的一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法，其特征在于，所述分离系统包括至少两个用于提供气液两相接触的分离装置，其中一个分离装置用于脱除轻组分，另一个用于脱除重组分。

5.根据权利要求4所述的一种具有高回收率的三氟化硼纯化方法，其特征在于，用于脱除轻组分的分离装置的操作压力为2.5～2.95mpag，操作温度为-3...

【专利技术属性】
技术研发人员：李瑜哲，吴高胜，艾波，许保云，包春凤，刘陈真，
申请(专利权)人：上海化工研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：